【技术实现步骤摘要】
本技术涉及导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统，尤其是一种导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统。
技术介绍
1、目前，磁控溅射镀膜技术工艺生产的导电玻璃及产品质量影响因素很多，导电玻璃磁控溅射镀膜技术生产的阴极磁强均匀性只能在检修时，通过遮挡板进行微调产品的阴极磁强，由于生产过程中靶材的消耗，从而导致产品质量会下降，调整工艺气分效果不佳，另外，由于磁控溅射镀膜生产过程中的阴极本身带电，调整时必须断电来操作，再恢复生产就要浪费很多时间，调整后生产磁控溅射镀膜的效果难以控制，鉴于上述的诸多原因，现提出一种导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了克服磁控溅射镀膜技术的生产过程中靶材的消耗，从而导致产品质量会下降，调整工艺气分效果不佳；磁控溅射镀膜生产过程中的阴极本身带电，调整时必须断电来操作，再恢复生产就要浪费很多时间，调整后生产磁控溅射镀膜的效果难以控制；现通过合理的设计，提供一种导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统；本技术的光学膜浸泡液涂布装置通过药液浸泡的方式对导电膜玻璃的表面进行涂层，通过操作台的plc控制中心设置生产编程自动控制生产，并通过控制中心中的程序来控制相关工艺参数控制玻璃坯进入光学增透材料液中浸泡后取出，光学增透材料液均匀附着玻璃坯表面后为减反增透光学膜，能够提高玻璃的减反增透光学效果；本技术的导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强为在线调整系统，阴极磁强在线调整系统通过plc控制中心设置阴极磁强数据、控制导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强的在线调
2、本技术为了实现上述目的，采用如下技术方案，一种导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统，所述的导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统，是由阴极座、磁铁座导向框、磁铁座、丝杠套、靶材背板、磁铁导销、靶材、磁铁、步进电机、电机座、传动齿轮组、传动箱、丝杠、绝缘法兰、控制台、plc控制中心、数据收集模块、电机执行模块、高斯剂检测台、阴极磁强检测探头构成；导电玻璃磁控溅射镀膜生产线的一面设置为阴极座，阴极座外面一侧设置控制台，控制台中设置plc控制中心；导电玻璃磁控溅射镀膜生产线的成品出口端一侧设置高斯剂检测台，高斯剂检测台中设置一对阴极磁强检测探头；阴极座设置为矩形板块，阴极座内侧中部周围设置为磁铁座导向框，磁铁座导向框外侧边缘的板面上设置为绝缘法兰；磁铁座导向框口端设置为靶材背板，靶材背板外侧设置为靶材，磁铁座导向框两侧分别与阴极座、靶材背板设置为矩形腔体；磁铁座导向框中设置磁铁座，磁铁座一侧设置磁铁，靶材背板对应磁铁的一侧均布设置磁铁导销，磁铁上面分别对应磁铁导销预留导销孔，导销孔中分别设置磁铁导销；
3、阴极座另一侧中心设置四个步进电机，四个步进电机对应磁铁座导向框两端与中部的位置分别设置；四个步进电机分别与阴极座之间分别设置电机座，步进电机输出端设置传动箱，传动箱中设置为传动齿轮组，步进电机的输出轴对穿阴极座、电机座设置，步进电机的输出轴端设置为传动齿轮组；传动齿轮组的输出端设置为丝杠；磁铁座另一侧分别对应丝杠设置丝杠套，丝杠套中分别设置丝杠；
4、plc控制中心下方一侧分别设置两个数据收集模块，两个数据收集模块分别与一对阴极磁强检测探头之间设置数据信号线，plc控制中心下方另一侧分别设置四个电机执行模块，四个电机执行模块分别与四个步进电机之间设置执行线路。
5、操作流程：导电玻璃生产之前，人工通过控制台的plc控制中心设置阴极磁强数据，导电玻璃生产过程中，导电玻璃成品通过导电玻璃磁控溅射镀膜生产线出口后、进入高斯剂检测台时，高斯剂检测台通过阴极磁强检测探头检测导电玻璃成品的阴极磁强数据，阴极磁强检测探头检测导电玻璃成品的阴极磁强数据实时通过数据收集模块发送至plc控制中心， plc控制中心接收到的阴极磁强数据后，plc控制中心实时对照阴极磁强数据，阴极磁强数据为范围内时，导电玻璃磁控溅射镀膜生产线为正常运行、生产导电玻璃。
6、阴极磁强检测探头检测导电玻璃成品的阴极磁强数据，当plc控制中心接收到阴极磁强检测探头检测导电玻璃成品的阴极磁强数据小于设置的范围或不均匀时，plc控制中心自动启动四个电机执行模块，四个电机执行模块分别控制四个步进电机自动运行，四个步进电机分别带动丝杠旋转，四个步进电机分别带动丝杠旋转推动磁铁向靶材方向运行，磁铁与靶材之间的距离缩小时，磁铁的磁场强度近距离对靶材、导电玻璃进行磁控溅射镀膜阴极磁强加工；
7、阴极磁强检测探头检测过程中，当阴极磁强检测探头检测导电玻璃成品磁控溅射镀膜的阴极磁强为范围内时，plc控制中心自动控制四个步进电机停止运行，完成导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强在线调整操作；当阴极磁强检测探头再次自动检测导电玻璃成品的阴极磁强数据小于设置的范围或不均匀时，重复以上的导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强在线自动调整操作。
8、有益效果：本技术的导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强为在线调整系统，阴极磁强在线调整系统通过plc控制中心设置阴极磁强数据、控制导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强的在线调整，plc控制中心通过检测探头实时自动检测导电玻璃成品区域的阴极磁强变化数据对照设置的阴极磁强数据， plc控制中心根据设置的数据实时自动对照，对照导电玻璃成品阴极磁强数据小于设置范围时，plc控制中心自动控制步进电机调整缩小磁铁与靶材表面的距离，生产线无需停机能够在线调整靶材表面的磁场强度，生产线能够带电调整磁铁与靶材的距离，优化了导电玻璃磁控溅射镀膜生产线的运行，提高了生产和产品的质量。
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1.一种导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统，所述的导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统，是由阴极座（1）、磁铁座导向框（1-1）、磁铁座（2）、丝杠套（2-1）、靶材背板（3）、磁铁导销（3-1）、靶材（4）、磁铁（5）、步进电机（6）、电机座（6-1）、传动齿轮组（7）、传动箱（8）、丝杠（9）、绝缘法兰（10）、控制台（11）、PLC控制中心（12）、数据收集模块（12-1）、电机执行模块（12-2）、高斯剂检测台（13）、阴极磁强检测探头（14）构成；其特征在于：导电玻璃磁控溅射镀膜生产线的一面设置为阴极座（1），阴极座（1）外面一侧设置控制台（11），控制台（11）中设置PLC控制中心（12）；导电玻璃磁控溅射镀膜生产线的成品出口端一侧设置高斯剂检测台（13），高斯剂检测台（13）中设置一对阴极磁强检测探头（14），高斯剂检测台（13）上方一侧分别设置为检测试剂口；阴极座（1）设置为矩形板块，阴极座（1）内侧中部周围设置为磁铁座导向框（1-1），磁铁座导向框（1-1）外侧边缘的板面上设置为绝缘法兰（10）；磁铁座导向框（1-1）口端设置为靶材背板（3），靶材背板（3）外
2.根据权利要求1所述的一种导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统，其特征在于：阴极座（1）另一侧中心设置四个步进电机（6），四个步进电机（6）对应磁铁座导向框（1-1）两端与中部的位置分别设置；四个步进电机（6）分别与阴极座（1）之间分别设置电机座（6-1），步进电机（6）输出端设置传动箱（8），传动箱（8）中设置为传动齿轮组（7），步进电机（6）的输出轴对穿阴极座（1）、电机座（6-1）设置，步进电机（6）的输出轴端设置为传动齿轮组（7）；传动齿轮组（7）的输出端设置为丝杠（9）；磁铁座（2）另一侧分别对应丝杠（9）设置丝杠套（2-1），丝杠套（2-1）中分别设置丝杠（9）。
3.根据权利要求1所述的一种导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统，其特征在于：PLC控制中心（12）下方一侧分别设置两个数据收集模块（12-1），两个数据收集模块（12-1）分别与一对阴极磁强检测探头（14）之间设置数据信号线，PLC控制中心（12）下方另一侧分别设置四个电机执行模块（12-2），四个电机执行模块（12-2）分别与四个步进电机（6）之间设置执行线路。
...【技术特征摘要】
1.一种导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统，所述的导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统，是由阴极座（1）、磁铁座导向框（1-1）、磁铁座（2）、丝杠套（2-1）、靶材背板（3）、磁铁导销（3-1）、靶材（4）、磁铁（5）、步进电机（6）、电机座（6-1）、传动齿轮组（7）、传动箱（8）、丝杠（9）、绝缘法兰（10）、控制台（11）、plc控制中心（12）、数据收集模块（12-1）、电机执行模块（12-2）、高斯剂检测台（13）、阴极磁强检测探头（14）构成；其特征在于：导电玻璃磁控溅射镀膜生产线的一面设置为阴极座（1），阴极座（1）外面一侧设置控制台（11），控制台（11）中设置plc控制中心（12）；导电玻璃磁控溅射镀膜生产线的成品出口端一侧设置高斯剂检测台（13），高斯剂检测台（13）中设置一对阴极磁强检测探头（14），高斯剂检测台（13）上方一侧分别设置为检测试剂口；阴极座（1）设置为矩形板块，阴极座（1）内侧中部周围设置为磁铁座导向框（1-1），磁铁座导向框（1-1）外侧边缘的板面上设置为绝缘法兰（10）；磁铁座导向框（1-1）口端设置为靶材背板（3），靶材背板（3）外侧设置为靶材（4），磁铁座导向框（1-1）两侧分别与阴极座（1）、靶材背板（3）设置为矩形腔体；磁铁座导向框（1-1）中设置磁铁座（2），磁铁座（2）一侧...
【专利技术属性】
技术研发人员：潘柳超，胡运芳，
申请(专利权)人：孟州市康耀电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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