【技术实现步骤摘要】
本技术涉及导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统，尤其是一种导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统。
技术介绍
1、目前，磁控溅射镀膜技术工艺生产的导电玻璃及产品质量影响因素很多，导电玻璃磁控溅射镀膜技术生产的阴极磁强均匀性只能在检修时，通过遮挡板进行微调产品的阴极磁强，由于生产过程中靶材的消耗，从而导致产品质量会下降，调整工艺气分效果不佳，另外，由于磁控溅射镀膜生产过程中的阴极本身带电，调整时必须断电来操作，再恢复生产就要浪费很多时间，调整后生产磁控溅射镀膜的效果难以控制，鉴于上述的诸多原因，现提出一种导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了克服磁控溅射镀膜技术的生产过程中靶材的消耗，从而导致产品质量会下降，调整工艺气分效果不佳；磁控溅射镀膜生产过程中的阴极本身带电，调整时必须断电来操作，再恢复生产就要浪费很多时间，调整后生产磁控溅射镀膜的效果难以控制；现通过合理的设计，提供一种导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统；本技术的光学膜浸泡液涂布装置通过药液浸泡...
【技术保护点】
1.一种导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统，所述的导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统，是由阴极座（1）、磁铁座导向框（1-1）、磁铁座（2）、丝杠套（2-1）、靶材背板（3）、磁铁导销（3-1）、靶材（4）、磁铁（5）、步进电机（6）、电机座（6-1）、传动齿轮组（7）、传动箱（8）、丝杠（9）、绝缘法兰（10）、控制台（11）、PLC控制中心（12）、数据收集模块（12-1）、电机执行模块（12-2）、高斯剂检测台（13）、阴极磁强检测探头（14）构成；其特征在于：导电玻璃磁控溅射镀膜生产线的一面设置为阴极座（1），阴极座（1）外面一侧设置控制台（11），控制台...
【技术特征摘要】
1.一种导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统，所述的导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统，是由阴极座（1）、磁铁座导向框（1-1）、磁铁座（2）、丝杠套（2-1）、靶材背板（3）、磁铁导销（3-1）、靶材（4）、磁铁（5）、步进电机（6）、电机座（6-1）、传动齿轮组（7）、传动箱（8）、丝杠（9）、绝缘法兰（10）、控制台（11）、plc控制中心（12）、数据收集模块（12-1）、电机执行模块（12-2）、高斯剂检测台（13）、阴极磁强检测探头（14）构成；其特征在于：导电玻璃磁控溅射镀膜生产线的一面设置为阴极座（1），阴极座（1）外面一侧设置控制台（11），控制台（11）中设置plc控制中心（12）；导电玻璃磁控溅射镀膜生产线的成品出口端一侧设置高斯剂检测台（13），高斯剂检测台（13）中设置一对阴极磁强检测探头（14），高斯剂检测台（13）上方一侧分别设置为检测试剂口；阴极座（1）设置为矩形板块，阴极座（1）内侧中部周围设置为磁铁座导向框（1-1），磁铁座导向框（1-1）外侧边缘的板面上设置为绝缘法兰（10）；磁铁座导向框（1-1）口端设置为靶材背板（3），靶材背板（3）外侧设置为靶材（4），磁铁座导向框（1-1）两侧分别与阴极座（1）、靶材背板（3）设置为矩形腔体；磁铁座导向框（1-1）中设置磁铁座（2），磁铁座（2）一侧...
【专利技术属性】
技术研发人员：潘柳超，胡运芳，
申请(专利权)人：孟州市康耀电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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