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一种导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统技术方案
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一种导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统,阴极座外面一侧设置控制台、PLC控制中心;导电玻璃磁控溅射镀膜生产线的成品出口端一侧设置高斯剂检测台、一对阴极磁强检测探头;磁铁座导向框口端设置为靶材背板、靶材;阴极座另一侧中心设置四个步进电机,步...
该专利属于孟州市康耀电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过孟州市康耀电子有限公司授权不得商用。
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