传送式基板处理装置制造方法及图纸

即使在基板（１０）通过药液避开部（３０）的出口的阶段起，下游侧的药液处理部开始进行药液喷出操作的情况下，也可以防止上游侧接受部中的药液污染。为了实现它，使药液避开部（３０）的总长度（Ｌ１）比基板（１０）的长度（Ｌ２）大，并在药液避开部（３０）的基板入口和出口处设置快门（３４ａ、３４ｂ）。将药液避开部（３０）内部通过至少一个隔壁（３２ａ、３２ｂ）沿基板传送方向区分成多个室（３３ａ、３３ｂ、３３ｃ），除了药液避开部（３０）内最上游侧的室（３３ａ）以外，将至少一个室（３３ｂ）抽至负压。将药液避开部（３０）中的最上游侧的室（３３ａ）控制到常压或正压。设定隔壁位置，使得在基板（１０）的前端到达下游侧的药液处理部中的药液喷出开始位置时，基板（１０）的后端可拔出药液避开部（３０）中的最上游侧的室（３３ａ）。药液避开部（３０）中的最上游侧的室（３３ａ）被始终维持清洁的气氛，在与药液避开部（３０）的上游侧连接的部分形成始终清洁的区域。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及适用于液晶显示装置玻璃基板制造的传送式基板处理装置。
技术介绍
在液晶显示装置中使用的玻璃基板通过对作为原料的玻璃基板的表面重复实施腐蚀、剥离等化学处理来制造。该基板处理装置大致分为干式和湿式，湿式由分为分批式和片叶式。而且，片叶式还被细分为定位旋转式和基于滚轮传送式。在这些基板处理装置中，传送式的装置具有一边将基板沿水平方向传送一边向基板的表面供给处理液的基本构造，由于效率高，所以以前被用于腐蚀处理和剥离处理。在传送式基板处理装置中，基板依次通过接受部(装载部)、药液避开部、药液处理部、清洗部和药液断开部。在药液处理部中，从基板传送线的上方配置的喷嘴中喷射腐蚀液、剥离液等药液，通过使基板从该药液中通过，将药液供给基板的整个表面。通过该药液处理，使基板的表面被选择性地化学处理。但是，在药液处理部的上游侧、即药液处理部和接受部之间配置的药液避开部以防止下游侧的药液处理部使用的药液、以及药液处理部内的药液气氛侵入到配有复杂的接受机构的上游侧的接受部为目的，是所谓的缓冲装置(缓冲部)。为了实现该目的，不仅使药液避开部内被抽到负压，而且将药液避开部的总长度设定得大于基板的长本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传送式基板处理装置，将基板沿水平方向传送并通过多个处理部，用多个处理部的至少一个处理部进行药液处理，同时在药液处理部的上游侧设置药液避开部，其特征在于，设置排气机构，将所述药液避开部内部通过至少一个隔壁在基板传送方向上区分成多个室，除了所述药液避开部内的最上游侧的室内以外，将至少一个室内抽到负压。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种传送式基板处理装置，将基板沿水平方向传送并通过多个处理部，用多个处理部的至少一个处理部进行药液处理，同时在药液处理部的上游侧设置药液避开部，其特征在于，设置排气机构，将所述药液避开部内部通过至少一个隔壁在基板传送方向上区分成多个室，除了所述药液避开部内的最上游侧的室内以外，将至少一个室内抽到负压。2.如权利要求1所述的传送式基板处理装置，其中，按常压或正压来控制所述药液避开部中的最上游侧的室内。3.如权利要求1所述的传送式基板处理装置，其中，将所述药液避开部沿基板传送方向区分成三个以上的室，除了所述药液避开部中的最上游侧的室内和最下游侧的室内以外，将至少一个室内抽至负压。4.如权利要求1所述的传送式基板处理装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：田内仁，小泉晴彦，
申请(专利权)人：住友精密工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]