系统、基板处理装置及程序制造方法及图纸

能够不对系统文件的数据带来影响地执行搭载于半导体制造装置的软件的版本更新。提供一种技术，为一种系统，具备主控制器和分别控制多个模块的多个副控制器，主控制器具有存储部，该存储部具备保存当前对多个模块设定的系统文件的第1保存部、和将系统文件相对于多个模块的上传或下载的历史保存为历史信息的第2保存部，该系统中，主控制器在与多个副控制器之间收发了系统文件时，根据收发的系统文件与第1保存部中保存的系统文件的比较结果，将收发的系统文件保存到第1保存部，并且将系统文件的历史信息保存到第2保存部。件的历史信息保存到第2保存部。件的历史信息保存到第2保存部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】系统、基板处理装置及程序


[0001]本公开涉及系统、基板处理装置及程序。

技术介绍

[0002]作为对基板实施规定处理的基板处理装置之一的半导体制造装置，通过控制作为流量控制器(流量控制部)的质量流量控制器(MFC)和顺序控制器等各种模块来进行针对基板的规定处理。在使用半导体制造装置进行处理的情况下，有时因各种模块的设定数据的组合不同而处理结果大幅变化。
[0003]在专利文献1中，公开了如下技术，具备：对基板进行处理的工艺模块；根据第1参数文件对工艺模块内的温度、压力、气体流量进行控制的处理控制器；根据第2参数文件对用于搬送基板的机构进行控制的搬送控制器；和对处理控制器及搬送控制器进行用于执行基板处理的控制指示的操作控制器，操作单元确认第1参数文件及第2参数文件与操作控制器所保持的第3参数文件的匹配性，在有匹配性的情况下，进行控制指示。
[0004]在此，将用于成膜的设定数据和表文件称为系统文件。另外，在半导体制造装置等中，为了保存系统文件的组合而具有被称为备份的功能。另外，为了将该组合复原(下载)而具有还原这一功能。并且，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种系统，具有：多个副控制器，其分别控制多个模块；以及主控制器，其具有存储部，该存储部具备保存当前对所述多个模块设定的系统文件的第1保存部、和将系统文件相对于所述多个模块的上传或下载的历史保存为历史信息的第2保存部，所述系统的特征在于，所述主控制器在与所述多个副控制器之间收发了系统文件时，根据所收发的系统文件与所述第1保存部中保存的系统文件的比较结果，将所收发的系统文件保存到所述第1保存部，并且将所述系统文件的历史信息保存到所述第2保存部。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述主控制器构成为在所述第2保存部中保存可知在所述多个模块中使用的系统文件的变更历史的历史信息。3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述主控制器构成为将以所述多个模块为对象上传或下载了的系统文件保存到所述第2保存部，与此同时保存到所述第1保存部。4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述主控制器构成为，在上传以所述多个模块为对象的系统文件、且上传了的系统文件与所述第1保存部中保存的系统文件不同时，或者，在向所述多个模块下载系统文件、且下载了的系统文件与所述第1保存部中保存的系统文件不同时，将上传或下载了的系统文件保存到所述第1保存部，并且将所述系统文件的历史信息保存到所述第2保存部。5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述主控制器构成为，在与所述多个模块连接时，发出以与所连接的模块为对象的所述系统文件的上传要求。6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述主控制器构成为，将以所述多个模块为对象上传或下载了的系统文件保存到所述第2保存部的、以对所述系统文件进行上传或下载的日期为文件夹名的文件夹中。7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述主控制器构成为，对所述文件夹名附加将向所述第2保存部保存的编号依次加1得到的序列编号和对所述系统文件进行上传或下载的时刻。8.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述主控制器在新连接了模块的情况下，以新连接的模块为对象的系统文件被上传，对所述第1保存部中保存的系统文件与以新连接的模块为对象的系统文件进行比较，在没有不同的情况什么都不做。9.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述主控制器构成为，基于所指定的日期对所述第2保存部进行检索，在所述文件夹中仅保留一个与比所指定的日期靠前的模块相关的最新的系统文件。10.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，所述主控制器构成为，删掉与比所指定的日期靠前的模块相关的最新的系统文件的过去的所述模块所相关的系统文件。

【专利技术属性】
技术研发人员：森真一朗，
申请(专利权)人：株式会社国际电气，
类型：发明
国别省市：