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能够不对系统文件的数据带来影响地执行搭载于半导体制造装置的软件的版本更新。提供一种技术，为一种系统，具备主控制器和分别控制多个模块的多个副控制器，主控制器具有存储部，该存储部具备保存当前对多个模块设定的系统文件的第1保存部、和将系统文件相对...
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