一种带水冷外壳的主动射流快速降温的加热炉体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种带水冷外壳的主动射流快速降温的加热炉体，涉及半导体加工技术领域。包括加热炉本体，加热炉本体的两端设置有环形的进风保温层，进风保温层上设置有进风道，进风道的顶部设置有延伸至加热炉本体上方的进风管，加热炉本体的两端设置有位于进风保温层一侧的环形的出风保温层，出风保温层上设置有出风道，加热炉本体的金属外壳由夹层水冷结构组成，加热炉本体加热结构设置有加热丝。该带水冷外壳的主动射流快速降温的加热炉体，通过设置射流口、石英管以及环形区域，在对晶圆进行加工过程中获得较快的降温速率，从而缩短工艺时间，并且保证晶圆表面薄膜成型的质量，降低了生产成本。降低了生产成本。降低了生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种带水冷外壳的主动射流快速降温的加热炉体


[0001]本技术涉及半导体加工
，具体为一种带水冷外壳的主动射流快速降温的加热炉体。

技术介绍

[0002]许多产品在生产制造中需要在加热炉中进行热处理工艺，例如在半导体晶圆制造，光伏电池片的镀膜、扩散、氧化，金属材料的退火等工艺，在半导体晶圆生产中，必须要能非常精确的控制温度，细微的温度变化都会直接影响产品的质量，进行生产工艺时需要让温度维持在特定的温度并持续一段时间，并且在工艺时温度需要快速稳定之后才能进行下一步工艺，因此，对热场温度的精确控制在热处理过程中尤为关键。
[0003]在进行大批量循环生产过程中，可以使用主动射流冷却来减少工艺过程中的冷却时间，在加热场的工艺腔体内部，通过温度调节介质与热场内部强制循环，以快速调节内部热场的温度，现有的系统为单向流动方法，温度调节介质由热场内部的一个端面进入，在另一个端面流出，因此流入端的温度较低，而流出端的温度较高，导致整个热场中存在较大的的温差梯度，影响热场内部热量平衡，增加恒温时间。

技术实现思路

[0004]本技术提供本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带水冷外壳的主动射流快速降温的加热炉体，包括加热炉本体(17)和出风夹层(10)，其特征在于：所述加热炉本体(17)的两端设置有环形的进风保温层(1)，所述进风保温层(1)上设置有进风道(6)，所述进风道(6)的顶部设置有延伸至加热炉本体(17)上方的进风管(7)，所述加热炉本体(17)的两端设置有位于进风保温层(1)一侧的环形的出风保温层(2)，所述出风保温层(2)上设置有出风道(15)，所述加热炉本体(17)的金属外壳由夹层水冷结构(14)组成，所述加热炉本体(17)加热结构设置有加热丝(5)，所述加热丝(5)与夹层水冷结构(14)之间设有主体保温层(3)，所述加热炉本体(17)的顶部设置有冷却水进出口(9)；所述主体保温层(3)的中间设置有主体保温层进风道(12)，所述主体保温层进风道(12)与进风保温层(1)的进风道(6)连接，所述主体保温层进风道(12)中开设有射流口(13)，所述出风夹层(10)的下方设置有出风道(15)，所述出风道(15)的下方设置有石英管(16)，所述石英管(16)与主体保温层(3)之间设置有环形区域(4)。2.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：季斌，郭鑫斌，赵东，
申请(专利权)人：江苏昌耐能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：