下载一种带水冷外壳的主动射流快速降温的加热炉体的技术资料

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本实用新型公开了一种带水冷外壳的主动射流快速降温的加热炉体,涉及半导体加工技术领域。包括加热炉本体,加热炉本体的两端设置有环形的进风保温层,进风保温层上设置有进风道,进风道的顶部设置有延伸至加热炉本体上方的进风管,加热炉本体的两端设置有位于...
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