一种HES-2型高效硅烷净化塔制造技术

技术编号:32073442 阅读:10 留言:0更新日期:2022-01-27 15:33
本实用新型专利技术公开了一种HES

【技术实现步骤摘要】
一种HES

2型高效硅烷净化塔


[0001]本技术涉及工业环保设备
,具体涉及一种HES

2型高效硅烷净化塔。

技术介绍

[0002]目前,多数太阳能电池生产企业采用PECVD(即等离子增强型化学气相沉积)设备制备减反射膜,此工艺过程中会产生硅烷废气,常用的硅烷废气处理设备为硅烷燃烧桶+洗涤塔。
[0003]目前采用的喷淋塔可以去除废气中的一部分SiO2粉末,同时SiO2粉末也容易附着在喷嘴上,堵塞喷嘴影响喷淋效果,检修、更换不方便;塔内化境恶劣,进入塔内更换喷嘴困难较大,同时附着在塔壁上的SiO2粉末不易清理。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中的缺陷,本技术提供一种HES

2型高效硅烷净化塔,用于光伏、半导体等行业中的硅烷尾气燃烧后的粉尘净化,解决
技术介绍
中所提出的技术问题。
[0005]一种HES

2型高效硅烷净化塔,包括塔体,所述塔体侧壁下部设置进风口、顶部开设出风口,所述塔体内从下到上间隔设置有第一净化层和第二净化层,所述第一净化层包括除尘填料层和设置在所述除尘填料层上方的喷淋层,所述第二净化层包括除雾填料层和设置在所述除雾填料层上方的喷淋层,所述喷淋层包括多根水平、并排设置的喷淋管,所述喷淋管上设置有多个沿轴向间隔分布的喷嘴,所述喷嘴朝下设置;
[0006]所述喷淋管的一端从所述塔体内水平穿出,通过接头与供水管连接,所述喷淋管可拆卸地安装在所述塔体上;
[0007]所述供水管与喷淋管之间设置有一一对应的阀门。
[0008]进一步,所述塔体侧壁上安装有固定框,所述喷淋管上固定设置有固定板,所述喷淋管从所述固定框内穿入所述塔体内,所述固定板通过螺栓固定安装在所述固定框上。
[0009]进一步,所述固定框为方形框,所述固定板为与所述固定框匹配的方形板。
[0010]进一步,所述塔体底部设置有呈倒V型的导淤板,所述塔体底部于所述导淤板两侧均设置有排污口。
[0011]进一步,所述塔体底部还设置有冲洗口,所述冲洗口位于所述导淤板和除尘填料层之间设置。
[0012]进一步,所述塔体上还设置有具有观察功能的检修口。
[0013]本技术的有益效果体现在:
[0014]废气由HES

2高效硅烷净化塔在运行过程中,废气由进气口进入,再由顶部出气口排出,废气中的粉尘附着在喷淋管的喷嘴上后影响喷嘴的效率,此时关闭对应的阀门,将对应的喷淋管上的固定板从固定框上拆下,将喷淋管的接头与供水管断开,然后将喷淋管水平取出进行检修维护,检修完成后将其重新安装即可。此过程净化塔无需停机,并可同时对一个或多个喷淋管道进行检修维护,不需要检修的喷淋管可正常运行。
[0015]喷淋层冲洗下来的粉尘随冲洗水一起降落到塔的底部,并在塔底沉积,倒V型的导淤板可使淤泥集中在排污口附近,使淤泥更容易排除干净。
[0016]日常运行中,通过有视窗功能的检修口观察喷淋管路运行情况及检修喷淋系统,并能观察塔体下部粉末的堆积情况,酌情进行处理,当粉末堆积较多时,可以通过冲洗口清理塔底的粉尘污泥和冲洗塔内壁,并从排污口排除。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中,类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中,各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
[0018]图1为本技术实施例提供的一种HES

2型高效硅烷净化塔的结构示意图一;
[0019]图2为本技术实施例提供的一种HES

2型高效硅烷净化塔的结构示意图二。
具体实施方式
[0020]下面将结合附图对本技术技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案,因此只作为示例,而不能以此来限制本技术的保护范围。
[0021]需要注意的是,除非另有说明,本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域技术人员所理解的通常意义。
[0022]如图1

图2所示,本技术提供的一种HES

2型高效硅烷净化塔,包括塔体1,塔体1侧壁下部设置进风口2、顶部开设出风口3,塔体1内从下到上间隔设置有第一净化层和第二净化层,第一净化层包括除尘填料层4和设置在除尘填料层4上方的喷淋层,第二净化层包括除雾填料层6和设置在除雾填料层6上方的喷淋层,喷淋层包括多根水平、并排设置的喷淋管5,喷淋管5上设置有多个沿轴向间隔分布的喷嘴7,喷嘴7朝下设置。喷淋管5的一端从塔体1内水平穿出,通过接头8与供水管9连接,喷淋管5可拆卸地安装在塔体1上。供水管9与喷淋管5之间设置有一一对应的阀门。
[0023]具体的,塔体1侧壁上安装有固定框10,喷淋管5上固定设置有固定板11,喷淋管5从固定框10内穿入塔体1内,固定板11通过螺栓固定安装在固定框10上。为方便将喷淋管5取出,固定框10设计为方形框,固定板11为与固定框10匹配的方形板,固定板11通过螺栓固定在固定框10的四周边沿上。
[0024]进一步,塔体1底部设置有呈倒V型的导淤板12,塔体1底部于导淤板12两侧均设置有排污口13。喷淋层冲洗下来的粉尘随冲洗水一起降落到塔的底部,并在塔底沉积,倒V型的导淤板12可使淤泥集中在排污口13附近,使淤泥更容易排除干净。
[0025]进一步,塔体1底部还设置有冲洗口14,冲洗口14位于导淤板12和除尘填料层4之间设置。塔体1上还设置有具有观察功能的检修口15。日常运行中,通过有视窗功能的检修口15观察喷淋管路运行情况及检修喷淋系统,并能观察塔体下部粉末的堆积情况,酌情进行处理,当粉末堆积较多时,可以通过冲洗口14清理塔底的粉尘污泥和冲洗塔内壁,并从排污口13排除。
[0026]最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本技术进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的范围,其均应涵盖在本技术的权利要求和说明书的范围当中。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种HES

2型高效硅烷净化塔,包括塔体(1),所述塔体(1)侧壁下部设置进风口(2)、顶部开设出风口(3),所述塔体(1)内从下到上间隔设置有第一净化层和第二净化层,所述第一净化层包括除尘填料层(4)和设置在所述除尘填料层(4)上方的喷淋层,所述第二净化层包括除雾填料层(6)和设置在所述除雾填料层(6)上方的喷淋层,其特征在于:所述喷淋层包括多根水平、并排设置的喷淋管(5),所述喷淋管(5)上设置有多个沿轴向间隔分布的喷嘴(7),所述喷嘴(7)朝下设置;所述喷淋管(5)的一端从所述塔体(1)内水平穿出,通过接头(8)与供水管(9)连接,所述喷淋管(5)可拆卸地安装在所述塔体(1)上;所述供水管(9)与喷淋管(5)之间设置有一一对应的阀门。2.根据权利要求1所述的一种HES

2型高效硅烷净化塔,其特征在于:所述塔体(1)侧壁上安装有固定框(10),所述喷淋管(5)上固定设置有固定板(11),所述喷淋...

【专利技术属性】
技术研发人员:宁丹马洪斌胡海涛
申请(专利权)人:北京万义节能环保科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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