物料传送盒的清洁设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种物料传送盒的清洁设备，建构于一清洁加工区站中，包括一机械手臂、一前盖清洁腔室、一盒体清洗腔室、一盒体除液腔室及一盒体真空干燥腔室，凭借该机械手臂撷取并分离物料传送盒成为一前盖及一盒体，且能载运该前盖及盒体在不同腔室中依序进行湿清洗、除液及真空干燥的工序；其中，特别的是，该盒体能在单一的盒体除液腔室内能被带动自转，并且接受多个能在相异轴向提供呈面状分布的线性风力的风刀的喷吹，对于内部构造相对复杂的盒体而言，能提升其湿清洗后的除液效果。能提升其湿清洗后的除液效果。能提升其湿清洗后的除液效果。

【技术实现步骤摘要】
物料传送盒的清洁设备


[0001]本技术涉及在不同加工区站之间装填及移载物料用的传送盒，特别有关一种物料传送盒的清洁设备。

技术介绍

[0002]现有技术中，最接近本技术物料传送盒的，是一种用于载运半导体晶元的前开式晶元传送盒(Front Opening Unified Pod,FOUP，以下简称晶元传送盒)。
[0003]半导体晶元在产制过程中，特别是在各个加工区站内，以及在各个加工区站之间载运晶元的过程中，对于洁净度的要求甚高，特别是避免环境中出现落尘微粒，而影响晶元的产制合格率。
[0004]且知，半导体晶元的载运，常见使用上述晶元传送盒，通过自动化搬运系统的运作，使多个晶元传送盒能分别在各个加工区站中撷取、容置晶元，并且能在各个加工区站之间移送晶元，而后在到达目标地的加工区站时卸载晶元。
[0005]晶元传送盒是由一可开启式的前盖和一盒体相互组扣而成，该盒体内部的双侧壁面上具有凸伸成梳状的肋片，用于支撑容置于内的晶元，使得每一晶元传送盒内都可容置多数片晶元。
[0006]基于洁净度的高标准要求，晶元传送盒本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种物料传送盒的清洁设备，建构于一清洁加工区站中，其特征在于，该清洁设备包括：一机械手臂，立置于该清洁加工区站中，能撷取并分离该物料传送盒成为一前盖及一盒体，该盒体具有一开口，该清洁加工区站的四周安装有：至少一前盖清洁腔室，该机械手臂能撷取该前盖并置入至少一所述前盖清洁腔室内，进行前盖的湿清洗、除液及真空干燥；至少一盒体清洗腔室，内置多个喷液嘴，该机械手臂撷取该盒体，使该开口罩设于至少一所述盒体清洗腔室内，多个所述喷液嘴能邻近地分布于该盒体的外表面及内表面的四周喷撒清洗液，而对该盒体进行湿清洗；至少一盒体除液腔室，内置一转台及多个能在相异轴向提供呈面状分布的线性风力的风刀，该机械手臂撷取至少一所述盒体清洗腔室内的该盒体，使该开口罩设于该转台上，该转台能驱动该盒体自转而接受多个所述风刀在相异轴向提供线性风力的喷吹，而对该盒体进行除液；及至少一盒体真空干燥腔室，设置包含一排气孔及多个热能元件，该排气孔用以撷取所述盒体真空干燥腔室内的空气并生成负压，该机械手臂撷取至少一所述盒体除液腔室内的该盒体，使该开口能罩设于所述盒体真空干燥腔室的底部；多个所述热能元件能邻近地分布于该盒体的外表面及内表面的四周生成热辐射，而对该盒体进行真空干燥。2.如权利要求1所述物料传送盒的清洁设备，其特征在于：该转台由中空格状框体制成，并且坐落于所述盒体除液腔室靠近底部的位置。3.如权利要求1所述物料传送盒的清洁设备，其特征在于：多个所述风刀包含一底部风刀及一侧向风刀，该底部风刀横跨于该转台的底部，该侧向风刀以垂立方式设置于所述盒体除液腔室的内壁的一侧，且该底部风刀提供的线性风力能经由该开口而喷吹该盒体的内表面，该侧向风刀提供的线性风力能喷吹该盒体的外表面。4.如权利要求1所述物料传送盒的清洁设备，其特征在于：多个所述热能元件包含多个垂立式电热板，所述多个垂立式电热板系立置于所述盒体真空干燥腔室进而能植入该盒体的容置腔内，并且邻近地生成热辐射加热该盒体的内表面。5.如权利要求4所述物料传送盒的清洁设备，其特征在于：该盒体的一底部凸伸有至少一悬状支撑杆，该盒体的内表面包含该悬状支撑杆的四周表面，所述多个垂立式电热板植入双侧肋片和悬状支撑杆之间的间隙。6....

【专利技术属性】
技术研发人员：叶步章，游立达，
申请(专利权)人：科峤工业股份有限公司，
类型：新型
国别省市：