液晶显示装置及其制造方法制造方法及图纸

一种ＬＣＤ装置，包括：基板；以一个方向设置在基板上的栅极线并且具有有角度地向内弯曲的预定部分；从栅极线伸出的栅极；设置在基板上的栅极绝缘层；重叠在栅极线的部分弯曲部分上的数据线，数据线与栅极线垂直从而 限定一个像素区域；从数据线伸出的源极；漏极，位于栅极绝缘层上并且与源极间隔固定的间隔；位于数据线、源极和漏极下面的有源层；和位于该像素区域中的像素电极。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种液晶显示(LCD)装置，并且更具体地，涉及一种LCD装置及其制造方法，其中栅极和栅极线的结构分别防止数据线和漏极在重叠有栅极线和栅极的交叉区域(台阶差)上断开。
技术介绍
近来，随着信息社会的快速发展，对多种显示装置的需求增加。因此，已经花费了许多努力来研制和开发多种平板显示装置，例如液晶显示(LCD)、等离子体显示面板(PDP)、电致发光显示(ELD)和真空荧光显示(VFD)，并且一些类型的平板显示装置已经应用到各种设备的显示器中。在各种类型的平板显示装置中，由于具有厚度薄、重量轻和功耗低等优点特征，液晶显示(LCD)装置应用非常广泛，因此LCD装置代替了阴极射线管(CRT)。除了例如笔记本电脑的显示器等可移动式的LCD装置之外，已经开发了用于计算机监视器以及用于接收和显示无线电广播信号的电视机LCD装置。尽管LCD技术在不同领域的应用已经有了各种技术进步，但是与LCD装置的其他特征和优点相比，在某些程度上还是缺乏对改善LCD装置的图像质量的研究。为了将LCD装置在不同领域中作为通用显示器使用，开发LCD装置的关键在于LCD装置是否能够以大尺寸屏幕显示高质量图像，例如，具有高分辨率和高亮度，与此同时仍然保持重量轻、尺寸最小化和功耗低。LCD装置包括用于显示图像的LCD面板和用于向LCD面板提供驱动信号的驱动部分。LCD面板包括第一和第二玻璃基板，彼此以预定的间隔粘接在一起，和注入到第一和第二玻璃基板之间的液晶层。第一玻璃基板(TFT阵列基板)包括多个栅极线和数据线、多个像素电极和多个薄膜晶体管。多个栅极线在一个方向中以固定的间隔形成在第一玻璃基板上，和多个数据线以固定的间隔在垂直于多个栅极线的方向中形成。然后，以矩阵形式设置的多个像素电极分别形成在通过彼此交叉的多个栅极线和数据线而限定出来的多个像素区域中。多个薄膜晶体管根据栅极线的信号进行开关用来将数据线的信号传送给相应的像素电极。第二玻璃基板(滤色片基板)包括黑矩阵层，用于排除第一基板的像素区域以外的区域的光；R/G/B滤色片层，用于显示各种颜色；和公共电极，用于显示该图片图像。接下来，通过衬垫料保持位于第一和第二玻璃基板之间的预定间隔，并且第一和第二基板通过密封剂彼此粘接。然后，液晶层注入到密封剂的内部空间中。当制造具有前面提到的结构的LCD装置时，同时，由于考虑到LCD面板和基板的尺寸，多个LCD面板形成在一个大的基板上。更具体地，下面将描述根据现有技术的LCD装置。图1是表示根据现有技术的LCD装置的单元像素区域的放大的平面图。如图1中所示，栅极线1以固定的间隔在第一方向中形成在下基板(图中没有示出)上，而栅极1a在一个方向上从栅极线1伸出。此时，存储电容的下存储电极和前面提到的栅极线1成为一体。也就是说，前面的栅极线1用来作为下存储电极。然后，栅极绝缘层(图中没有示出)形成在包括栅极线1和栅极1a的下基板上，而数据线2形成在栅极绝缘层上，并与栅极线1垂直，从而限定一个像素区域。随后，源极2a从数据线2伸出，而与源极2a以固定的间隔形成漏极2b。此时，源极2a形成‘’形空心，而漏极2b与源极2a以固定的间隔分别形成在‘’形空心内，从而在源极2a和漏极2b之间限定一个‘’形沟道区域。接下来，在栅极绝缘层上加工出具有预定形状的有源层3。在这种状态中，有源层3形成在数据线2、源极2a和漏极2b的下面，从而具有足以重叠数据线2、源极2a和漏极2b的尺寸。也就是说，有源层3的尺寸大于包括数据线2、源极2a和漏极2b的尺寸。通过依次沉积非晶硅层和n+非晶硅层形成有源层3。然后，上存储电极2c形成在用来作为下存储电极的前述栅极线1的一部分上。以后，钝化层(图中没有示出)形成在下基板的整个表面上，钝化层具有位于漏极2b的一部分上的第一接触孔4a，和位于上存储电极2c的一部分上的第二接触孔4b。然后，像素电极5形成在像素区域中，该像素区域通过第一接触孔4a与漏极2b接触并且通过第二接触孔4b与上存储电极2c接触。接下来，导电层沉积在栅极绝缘层上，并且然后对其执行湿法蚀刻处理，从而形成数据线2、源极2a和漏极2b。但是，根据现有技术的LCD装置及其制造方法具有以下缺点。当栅极1a偏移时，栅极线1与数据线2之间重叠的交叉面改变，从而可能由于电容Cgd的变化而产生信号失真。同样地，如图1中的“A”区域中所示，当通过湿法蚀刻处理形成数据线、源极和漏极的图案时，栅极线1和数据线2之间的交叉区域(台阶差)具有很窄的宽度(箭头)。结果，交叉面中的数据线2受到蚀刻剂的腐蚀，从而导致数据线断开。另外，如图1中的“B”区域中所示，由于栅极1a和漏极2b之间的重叠区域(台阶差)具有很窄的宽度(箭头)，交叉区域中的漏极2b受到蚀刻剂的腐蚀，从而产生断开。
技术实现思路
因此，本专利技术的实施例包括一种，其基本上克服了由于现有技术的局限和缺点而存在的一个或多个问题。本专利技术的实施例提供一种，其中栅极和栅极线的结构分别防止数据线和漏极在重叠有栅极线和栅极的交叉区域(台阶差)上断开。这些实施例还提供一种，通过使栅极-漏极电容Cgd的变化最小来防止信号失真。下面的说明书中将会提出本专利技术的其他特征和优点并且一部分会在本说明书中清楚，或者可以通过本专利技术的实践学习到。通过在书面的说明书、权利要求书以及所附附图中具体指出的结构将会实现和获得本专利技术的目的和其他优点。为了实现这些和其它优点，如具体表达和概括描述的，在一个实施例中，一种LCD装置包括一基板；一栅极线，以一个方向设置在基板上并且具有一有角度地向内弯曲的预定部分；从栅极线伸出的一栅极；设置在基板上的一栅极绝缘层；重叠在部分栅极线的弯曲部分上的一数据线，数据线与栅极线垂直从而限定一个像素区域；从数据线伸出的一源极；一漏极，位于栅极绝缘层上，并且与源极具有固定的间隔；位于数据线、源极和漏极下面的一有源层；和位于该像素区域中的一像素电极。至少一个栅极线的弯曲部分的截面可以是曲面。LCD有源层可以重叠栅极的上侧以及源极和漏极的预定区域。数据线可以包括具有铬Cr、钼Mo、钛Ti和钽Ta至少之一的金属，和包含MoW、MoTa或MoNd的钼Mo合金。像素电极可以包括铟-锡氧化物ITO、铟-锌氧化物IZO或铟-锡-锌氧化物ITZO。LCD装置还包括形成在基板的整个表面上的钝化层，该钝化层具有位于漏极的一部分中的第一接触孔。钝化层包括无机绝缘材料和有机绝缘材料中的至少一种。在另一个实施例中，一种LCD装置包括基板；以一个方向设置在基板上的栅极线，该栅极线具有有角度地向内弯曲的预定部分；从栅极线伸出的栅极，该栅极具有有角度地向内弯曲的预定部分；设置在基板的表面上的栅极绝缘层；与栅极线的部分弯曲部分重叠的数据线，数据线设置成与栅极线垂直从而限定一个像素区域；从数据线伸出的源极；与源极间隔固定的漏极，该漏极与栅极的弯曲部分重叠；位于数据线、源极和漏极下面的有源层；和位于该像素区域中的像素电极。至少一个栅极线的弯曲部分的截面可以是曲面的，和/或至少一个栅极的弯曲部分的截面可以是曲面的。在另一个实施例中，一种用于制造LCD装置的方法，包括在基板上形成以一个方向设置的栅极线，该栅极线具有有角度地向内弯曲的预定部分；形成从栅极线伸出的栅极；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种LCD装置，包括基板；以一个方向设置在基板上的栅极线并且具有有角度地向内弯曲的预定部分；从栅极线伸出的栅极；设置在基板上的栅极绝缘层；重叠在栅极线的部分弯曲部分上的数据线，数据线与栅极线垂直从而限定一个像素区域；从数据线伸出的源极；漏极，位于栅极绝缘层上并且与源极间隔固定的间隔；位于数据线、源极和漏极下面的有源层；和位于该像素区域中的像素电极。2.根据权利要求1的LCD装置，其特征在于，至少一个栅极线的弯曲部分的截面可以是曲面。3.根据权利要求1的LCD装置，其特征在于，有源层可以重叠栅极的顶侧以及源极和漏极的预定区域。4.根据权利要求1的LCD装置，其特征在于，数据线可以包括具有铬Cr、钼Mo、钛Ti和钽Ta至少之一的金属，和包含MoW、MoTa或MoNd的钼Mo合金。5.根据权利要求1的LCD装置，其特征在于，像素电极包括铟-锡氧化物ITO、铟-锌氧化物IZO或铟-锡-锌氧化物ITZO。6.根据权利要求1的LCD装置，其特征在于，还包括形成在基板的整个表面上的钝化层，该钝化层具有位于漏极的一部分中的第一接触孔。7.根据权利要求6的LCD装置，其特征在于，钝化层包括无机绝缘材料和有机绝缘材料中的至少一种。8.一种LCD装置，包括基板；以一个方向设置在基板上的栅极线，该栅极线具有有角度地向内弯曲的预定部分；从栅极线伸出的栅极，该栅极具有有角度地向内弯曲的预定部分；设置在基板的表面上的栅极绝缘层；与栅极线的部分弯曲部分重叠的数据线，数据线设置成与栅极线垂直从而限定一个像素区域；从数据线伸出的源极；与源极间隔固定的漏极，该漏极与栅极的弯曲部分重叠；位于数据线、源极和漏极下面的有源层；和位于该像素区域中的像素电极。9.根据权利要求8的LCD装置，其特征在于，至少一个栅极线的弯曲部分的截面是曲面。10.根据权利要求8的LCD装置，其特征在于，栅极的弯曲部分的至少一个截面是曲面。11.一种用于制造LCD装置的方法，包括在基板上形成以一个方向设置的栅极线，该栅极线具有有角度地向内弯曲的预定部分；形成从栅极线伸出的栅极；在包括栅极线的基板上依次沉积栅极绝缘层、半导体层和导电层；蚀刻该导电层来形成重叠在栅极线的部分弯曲部分上的数据线，从而限定一个像素区域，数据线垂直于栅极线；形成从数据线伸出的源极；在栅极绝缘层上形成与源极间隔固定的漏极；通过以数据线、源极和漏极为掩模蚀刻半导体层来形成有源层；和形成位于该像素区域中的像素电极。12.根据权利要求11的方法，其特征在于，栅极的预定区域可以有角度地向内弯曲。13.根据权利要求11的方法，其特征在于，漏极上重叠有栅极的部分弯曲部分。14.根据权利要求11的方法，其特征在于，至少一个栅极线的弯曲部分的截面是曲面。15.根据权利要求12的方法，其特征在于，至少一个栅极的弯曲部分的截面是曲面。16.根据权利要求12的方法，其特征在于，漏极上重叠有栅极的部分弯曲部分。17.一种LCD装置，包括基板；以一个方向设置在基板上的栅极线；从栅极线的第...

【专利技术属性】
技术研发人员：南荣秀，郑在纹，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：