【技术实现步骤摘要】
本专利技术是关于一种平面显示器制程所用的基板载具,特别是关于一种基板支承用槽棒及使用该槽棒的基板载具。
技术介绍
平面显示器制程中,玻璃基板的运送与搬移需要特殊的载具。该载具一般具有多个槽体结构,以支承多个玻璃基板,使其可以同时运送。一种现有技术的基板载具揭露于1996年3月4日公告的日本特公平08-021612号,其所揭示的基板载具包括如图1与图2所示的槽板2,该槽板2包括一板体21与多个自该板体21伸出的支承板22。该多个支承板22又包括向该基板载具内突伸的支承板22X与向该基板载具外突伸的支承板22Y。其中,该支承板22X的上表面末端具有突出部23,该突出部23的最高部位是平滑曲面。该突出部23用以托持玻璃基板B,而且可减少基板B边缘与该槽板2摩擦所产生的粉屑。但是,该槽板2的设计无法解决静电累积问题,而且因为该槽板2是一板体结构,在结构设计上造成材料的浪费。另一种现有技术的基板载具揭露于1995年10月21日公告的台湾专利第260822号,其所揭示的基板载具包括如图3所示的侧板3,该侧板3包括一背壁部31与多个自该背壁部31突出的棚架片32。该侧板3以金 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基板支承用槽棒,其特征在于该槽棒包括一树脂体与一金属棒,该树脂体包括一具有轴向贯穿孔的柱状本体与自该本体一侧以间隔平行突出的多个支承板,该金属棒插设在该本体的贯穿孔内,该支承板的末端具有突出部,该突出部用以托持基板。2.根据权利要求1所述的基板支承用槽棒,其特征在于该树脂体内掺杂有导电性物质。3.根据权利要求2所述的基板支承用槽棒,其特征在于该导电性物质是碳纤维或碳粉末。4.根据权利要求1所述的基板支承用槽棒,其特征在于该支承板是具有一定厚度的方形板,该突出部是直径大于支承板厚度的圆柱体。5.根据权利要求1所述的基板支承用槽棒,其特征在于该突出部的最高部位是平滑曲面。6.根据权利要求1所述的基板支承用槽棒,其特征在于该支...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄俊凯,田维正,
申请(专利权)人:鸿富锦精密工业深圳有限公司,沛鑫半导体工业股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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