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一种基板支承用槽棒,其特征在于:该槽棒包括一树脂体与一金属棒,该树脂体包括一具有轴向贯穿孔的柱状本体与自该本体一侧以间隔平行突出的多个支承板,该金属棒插设在该本体的贯穿孔内,该支承板的末端具有突出部,该突出部用以托持基板。...该专利属于鸿富锦精密工业(深圳)有限公司、沛鑫半导体工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过鸿富锦精密工业(深圳)有限公司、沛鑫半导体工业股份有限公司授权不得商用。