一种阴极电弧涂层靶材装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种阴极电弧涂层靶材装置，依次互相贴合设置有导电组件、第一绝缘组件、靶材板框、绝缘板、冷却板、导热板和涂层靶材；导电组件与冷却板之间设有电连接组件，导电组件连接外部电极，并通过电连接组件、冷却板和导热板与涂层靶材电连接；导电组件和冷却板分别通过第一绝缘组件和绝缘板与靶材板框绝缘；冷却板、导热板和涂层靶材的周侧设有用于与靶材板框绝缘的第二绝缘组件；冷却板靠近导热板的一表面上设有流槽，流槽与导热板之间形成流体通道，靶材板框和冷却板上设有连通外部和流体通道的进液通道和出液通道；该靶材装置具有靶材利用率高、涂层沉积效率高、冷却效果好、涂层成分均匀及涂层色泽度好的特点。涂层成分均匀及涂层色泽度好的特点。涂层成分均匀及涂层色泽度好的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种阴极电弧涂层靶材装置


[0001]本技术属于物理气相沉积涂层
，尤其涉及一种阴极电弧涂层靶材装置。

技术介绍

[0002]物理气相沉积(physical vapor deposition，简称PVD)是在高真空条件下，通过物理方法使原材料蒸发、电离，然后在电场、磁场的作用下，粒子运动到工模具表面堆积形成具有某种特殊功能涂层材料的技术。利用该技术不但可以制备金属、化合物、陶瓷涂层，而且可以制备半导体和超导体涂层。采用PVD技术制备的涂层不仅具备超高硬度、厚度薄、摩擦系数低等特点，而且耐高温、抗氧化、防腐蚀、耐磨损及自润滑，极其适用于工模具表面作为防护层，以改善工模具的加工特性，延长其使用寿命。PVD技术无污染、几乎零排放，是现代表面工程技术中最具发展前途和应用价值的一种技术，已成为工模具表面改性的主流方法之一。PVD技术早在20世纪初就已有应用，但其在最近30年凭借其技术的优势而得到了迅速发展。现如今，PVD涂层技术的应用领域涉及刀具加工、模具成型、航空航天、医疗器械、汽车、新能源、电子及光学等领域，也应用范围日益广泛。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阴极电弧涂层靶材装置，其特征在于，依次互相贴合设置有导电组件、第一绝缘组件、靶材板框、绝缘板、冷却板、导热板和涂层靶材；所述导电组件、所述冷却板和所述导热板均为导电材质，所述导电组件与所述冷却板之间设有电连接组件，所述导电组件连接外部电极，并通过所述电连接组件、所述冷却板和所述导热板与所述涂层靶材电连接；所述导电组件和所述冷却板分别通过所述第一绝缘组件和所述绝缘板与所述靶材板框绝缘；所述冷却板、所述导热板和所述涂层靶材的周侧设有用于与所述靶材板框绝缘的第二绝缘组件；所述冷却板靠近所述导热板的一表面上设有流槽，所述流槽与所述导热板之间形成流体通道，所述靶材板框和所述冷却板上设有连通外部和所述流体通道的进液通道和出液通道；工作时，冷却液经所述进液通道进入所述流体通道，所述涂层靶材产生的热量经所述导热板传导给进入所述流体通道的所述冷却液，最后所述冷却液携带热量从所述出液通道流出。2.根据权利要求1所述的阴极电弧涂层靶材装置，其特征在于，所述电连接组件穿过所述第一绝缘组件、所述靶材板框和所述绝缘板与所述冷却板连接，且所述电连接组件与所述靶材板框之间设有用于绝缘的第三绝缘组件。3.根据权利要求2所述的阴极电弧涂层靶材装置，其特征在于，所述电连接组件包括若干导电螺栓，所述导电螺栓将所述导电组件和所述第一绝缘组件固定于所述冷却板，并使所述导电组件和所述冷却板电连接，所述第三绝缘组件包括若干穿设于所述靶材板框的第一绝缘环扣，所述导电螺栓穿设于所述第一绝缘环扣。4.根据权利要求1所述的阴极电弧涂层靶材装置，其特征在于，所述导电组件包括两个导电铜体...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈强，张而耕，周琼，黄彪，梁丹丹，张帆，孙思叡，孙国庆，李朝明，
申请(专利权)人：上海应用技术大学，
类型：新型
国别省市：