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本实用新型公开了一种阴极电弧涂层靶材装置，依次互相贴合设置有导电组件、第一绝缘组件、靶材板框、绝缘板、冷却板、导热板和涂层靶材；导电组件与冷却板之间设有电连接组件，导电组件连接外部电极，并通过电连接组件、冷却板和导热板与涂层靶材电连接；导电...
该专利属于上海应用技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海应用技术大学授权不得商用。

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