化学液体供应设备及其脱气方法技术

本发明专利技术涉及一种化学液体供应设备和脱气方法。泵（１１）排出容纳在液体罐（４６）中的液体。过滤器（４１）通过一个泵出口流路（４２）连接在泵（１１）上，所述泵出口流路设有用于打开和关闭流路的泵排出侧阀（Ｖ２）。分配喷嘴（液体排出部分）（５０）通过一个液体排出流路（４８）连接在过滤器（４１）上，所述液体排出流路（４８）设有用于打开和关闭流路的排出阀（Ｖ４）。一个真空源（８）通过一个排气流路（５１）与过滤器（４１）连通，所述排气流路设有用于打开和关闭流路的脱气阀（Ｖ３）。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于排出预定量液体比如化学液体的化学液体供应设备，例如一种，它们适用于在半导体晶片的表面上涂敷光致抗蚀液体(photoresist liquid)。
技术介绍
在各
的每一制造工艺中，比如半导体晶片制造技术、液晶显示器制造技术、磁盘制造技术和多层印刷电路板制造技术，已经使用了化学液体，比如，光致抗蚀液、旋压(spin-on)玻璃液、聚酰亚胺树脂液、纯水、显影剂、蚀刻剂、清洗液或有机溶剂，并使用化学液体供应设备涂敷这些化学液体。例如，已经研制出美国专利US5061156中公开的化学液体供应设备。例如，在为半导体晶片涂敷光致抗蚀液体的情况下，在半导体晶片于水平面内旋转时，光致抗蚀液体从分配喷嘴滴落在半导体晶片的表面上。在这种化学液体供应设备中，设有过滤器，用于去除光致抗蚀液体中包含的杂质。如果在分配化学液体比如光致抗蚀液体的过程中设备中混有气泡，那么气泡吸收挤压化学液体的压力，使化学液体的分配量变得不稳定，从而其分配精度下降。所以，高质量、高产量地制造在半导体晶片上形成的集成电路需要去除气泡。在通过泵的排出压力来分配化学液体的化学液体供应设备的情况下，汇集在泵体中的气泡通常通过打开脱气阀排出到化学液体供应设备外，其中该脱气阀连接在与过滤器的排气口连接的排气流路上。这样，可以将汇集在过滤器内的气泡去除，直到一定的程度。
技术实现思路
然而，在这种常规的化学液体供应设备中，显然由于过滤膜的流体阻力和化学液体的渗透压力，不能完全去除汇集在过滤器的过滤膜上的气泡。只要不能完全将气泡从过滤器的过滤膜内去除，就难以稳定地分配化学液体和提高分配精度。因此，不能期望产品的生产量提高。本专利技术的一个目的是稳定从化学液体供应设备中分配的化学液体量，并明显提高分配精度。本专利技术的另一个目的是高质量、高产量地制造半导体集成电路。本专利技术的化学液体供应设备包含排出容纳在液体罐内的液体的泵；通过泵出口流路连接于所述泵的过滤器，其中该泵出口流路设有用于打开/关闭该流路的泵排出侧阀；通过液体排出流路连接于所述过滤器的液体排出部分，其中该液体排出流路设有用于打开/关闭该流路的排出阀；通过排气流路与所述过滤器连通的真空源，其中该排气流路设有用于打开/关闭该流路的脱气阀。本专利技术的化学液体供应设备还包含用于在所述真空源工作时，关闭所述泵排出侧阀和所述排出阀，并打开所述脱气阀的控制装置。而且，所述排气流路连接于所述过滤器处形成的任何一个排气口，或所述过滤器的初级或次级侧。另外，本专利技术的化学液体供应设备的脱气方法，所述设备具有用于排出容纳在液体罐内的液体的泵，通过泵出口流路连接于所述泵的过滤器，其中该泵出口流路设有用于打开/关闭该流路的泵排出侧阀；通过液体排出流路连接于所述过滤器的液体排出部分，其中该液体排出流路设有用于打开/关闭该流路的排出阀，且从所述液体分配部分分配容纳在所述液体罐内的液体，包含在这种通过排气流路连接于所述过滤器的真空源运行的状态下，打开为所述排气流路提供的脱气阀并关闭所述泵排出侧阀和所述排出阀，而将所述过滤器内的气体排出到所述排气流路的脱气步骤。本专利技术的化学液体供应设备的另一种脱气方法，所述设备具有通过液体引入流路与容纳在液体罐内的液体连通的泵，其中该液体引入流路设有用于打开/关闭该流路的泵入口侧阀，所述泵排出液体，通过泵出口流路连接于所述泵的过滤器，其中该泵出口流路设有用于打开/关闭该流路的泵排出侧阀，以及通过液体排出流路连接于所述过滤器的液体排出部分，其中该液体排出流路设有用于打开/关闭该流路的排出阀，且从所述液体分配部分分配所述液体罐内的液体，包含过程在用于与所述过滤器的入口侧连通的排气流路的脱气阀、所述泵入口侧阀和所述排出阀关闭，且所述泵排出侧阀打开的状态下，进行所述泵的抽吸操作；在所述脱气阀和所述泵排出侧阀打开，且所述泵入口侧阀和所述排出阀关闭的状态下，进行所述泵的排出操作。附图简要说明附图说明图1是示意地示出了本专利技术一实施例的化学液体供应设备的液路图。图2A是示出了通过所述化学液体供应设备分配液体时的基本操作的工艺图，且示出了抽吸操作。图2B示出了通过所述化学液体供应设备分配液体时的基本操作的工艺图，且示出了排出操作。图3是本专利技术的化学液体供应设备的脱气方法的说明图。图4是示意地示出了本专利技术另一实施例的化学液体供应设备的液路图。图5是示意地示出了本专利技术另一实施例的化学液体供应设备的液路图。图6是示意地示出了本专利技术另一实施例的化学液体供应设备的液路图。图7是示意地示出了本专利技术另一实施例的化学液体供应设备的液路图。图8是示意地示出了本专利技术另一实施例的化学液体供应设备的液路图。图9是示意地示出了本专利技术另一实施例的化学液体供应设备的液路图。图10A是如图9所示的化学液体供应设备的脱气方法的说明图，且示出了抽吸操作。图10B是如图9所示的化学液体供应设备的脱气方法的说明图，且示出了排气操作。具体实施例方式在下文中，将根据附图详细描述本专利技术的实施例。图1是示意地示出了本专利技术一实施例的化学液体供应设备的液路图。如图1所示，所述化学液体供应设备包含用于排出容纳在液体罐46内的液体的泵11；通过泵出口流路42连接于所述泵11的过滤器41，其中该泵出口流路设有用于打开/关闭该流路的泵排出侧阀V2；通过液体排出流路48连接于所述过滤器41的分配喷嘴(液体排出部分)50，其中该液体排出流路设有用于打开/关闭该流路的排出阀V4；通过排气流路51与所述过滤器41连通的真空源8，其中该排气流路设有用于打开/关闭该流路的脱气阀V3。所述化学液体供应设备的结构及其部件，比如泵11，过滤器41等，基本上类似于本专利技术人专利技术的日本专利公报No.10-61558中公开的内容。泵11具有膨胀/收缩式泵室17，泵入口15a，和泵出口16a。在液体引入流路45中，设有用于打开/关闭该流路的泵入口侧阀V1，且使其一端连接于泵11的泵入口15a，另一端位于容纳光致抗蚀液体的液体罐46内。因此，泵11和液体罐46通过液体引入流路45互相连接。当泵室17膨胀时，泵11吸取容纳在液体罐46中的液体，通过液体引入流路45从泵的入口15a到达泵室17内，且当泵室17收缩时，从泵的出口16a排出液体。因为所供应的化学液体是光致抗蚀液体，所以泵11由树脂材料制成，比如四氟乙烯全氟烷基乙烯基醚(tetrafluoroethyleneperfluoroalkylvinyl-ether)(PFA)，即氟树脂，从而不会与所述化学液体起反应。然而，所述树脂材料不限于PFA，也可以使用其它树脂材料，只要它们是弹性变形的。而且，至于泵11的类型，可以使用隔膜式泵，只要它是一种往复式泵。过滤器41具有连接于所述泵入口流路42的过滤器入口41a；连接于所述泵出口流路48的过滤器出口41b；连接于排气流路51的排气口41c。至于过滤器41，可以使用由中空纤维膜形成的过滤器或薄片形薄膜，但不限于此，只要它能够过滤化学液体。在图1所示的实施例中，在液体排出流路48的末端设有分配喷嘴(液体分配部分)50。至于真空源8，可以使用往复式或叶片式真空泵、喷射器等。在液体排出流路48上，设有用于打开/关闭该流路的回流阀V5。应注意的是，作为从泵入口侧V1到回流阀V5的阀，可以使用电信号本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学液体供应设备，包含：排出容纳在液体罐中的液体的泵；通过泵出口流路连接于所述泵的过滤器，其中该泵出口流路设有用于打开／关闭该流路的泵排出侧阀；通过泵排出流路连接于所述过滤器的液体排出部分，其中该泵排出流路设有用 于打开／关闭该流路的排出阀；通过排气流路与所述过滤器连通的真空源，其中该排气流路设有用于打开／关闭该流路的脱气阀。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：宇田川诚一郎，
申请(专利权)人：株式会社小金井，
类型：发明
国别省市：JP[日本]