一种单晶炉用气体过滤罐制造技术

本实用新型专利技术提供一种单晶炉用气体过滤罐，包括：上封头，所述上封头顶端设有可打开/关闭的出气口；罐体，所述罐体连接于所述上封头的下端且所述罐体外部侧面设有可打开/关闭的保养门，所述罐体内部用于容纳过滤袋；延伸部，所述延伸部连接于所述罐体下端；下封头，所述下封头连接于所述延伸部的底端且所述下封头外部侧面设有可打开/关闭的进气口。根据本实用新型专利技术实施例的一种单晶炉用加长过滤罐，在罐体连接处增加延伸部，使得过滤罐高度增加，从而能够容纳更多的滤袋数量，增大了底部挥发物的放置空间，提升了过滤罐的过滤性能。提升了过滤罐的过滤性能。提升了过滤罐的过滤性能。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉用气体过滤罐


[0001]本技术涉及直拉单晶领域，具体涉及一种单晶炉用气体过滤罐。

技术介绍

[0002]在用直拉法生产单晶硅的过程中，单晶炉内采用负压氩气流动带走挥发物的方式保证主室的洁净，循环的氩气需经过滤罐净化回收。目前，过滤罐普遍采用下进上出的接入方式，现在随着装料量的增加，导致过滤罐底部空间不足，使得单个石英坩埚不能拉制更多的硅单晶棒，从而不得不停炉清理过滤罐。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术提供一种单晶炉用气体过滤罐，其能够解决过滤罐过滤性能下降，挥发物增多过滤罐底部放置空间不足的问题，从而提升过滤效果。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0005]根据本技术实施例的单晶炉用气体过滤罐，包括：
[0006]上封头，所述上封头顶端设有可打开/关闭的出气口；
[0007]罐体，所述罐体连接于所述上封头的下端且所述罐体外部侧面设有可打开/关闭的保养门，所述罐体内部用于容纳过滤袋；
[0008]延伸部，所述延伸部连接于所述罐体下端；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用气体过滤罐，其特征在于，包括：上封头，所述上封头顶端设有可打开/关闭的出气口；罐体，所述罐体连接于所述上封头的下端且所述罐体外部侧面设有可打开/关闭的保养门，所述罐体内部用于容纳过滤袋；延伸部，所述延伸部连接于所述罐体下端；下封头，所述下封头连接于所述延伸部的底端且所述下封头外部侧面设有可打开/关闭的进气口。2.根据权利要求1所述的单晶炉用气体过滤罐，其特征在于，所述罐体内部顶端固定有悬挂梁，所述悬挂梁的下端悬挂有用于连接所述过滤袋的弹簧卡扣。3.根据权利要求2所述的单晶炉用气体过滤罐，其特征在于，所述延伸部内还设有连接件，用于连接所述过滤袋的底端。4.根据权利要求2或3所述的单晶炉用气体过滤罐，其特征在于，还包括：振动气缸，所述振动气缸固定在所述上封头外部；活塞杆，所述活塞杆顶部穿过所述上封头连接所述振动气缸且底部连接所述悬挂梁，用于带动所述悬挂梁振动；电...

【专利技术属性】
技术研发人员：武绚丽，董朝海，颜玉峰，
申请(专利权)人：曲靖晶龙电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：