本实用新型专利技术公开了一种用于射频磁控溅射仪的升降装置，包括固定底座，所述固定底座的上端设置有竖板，所述竖板的下端设置有用于与固定底座之间进行连接的连接机构，所述竖板的侧壁上固定连接有固定块，所述固定块的一端侧壁上开设有凹槽，所述固定底座的上端固定连接有真空箱，所述凹槽内设置有内螺纹管，所述内螺纹管穿过凹槽的侧壁并与其滑动连接，所述内螺纹管的下端穿过真空箱的上端并与其密封滑动连接。本实用新型专利技术结构合理，通过设置升降机构以及限位机构，实现对靶头进行大幅度升降，避免靶头的升降幅度较小，导致测量不便的现象，同时在限位杆以及套管的作用下，提高内螺纹管以及靶头移动的稳定性。纹管以及靶头移动的稳定性。纹管以及靶头移动的稳定性。
【技术实现步骤摘要】
一种用于射频磁控溅射仪的升降装置
[0001]本技术涉及溅射仪
，尤其涉及一种用于射频磁控溅射仪的升降装置。
技术介绍
[0002]磁控溅射是一个磁控运行模式的二级溅射，磁控溅射必须在真空环境下进行。
[0003]现有技术中，传统的射频磁控溅射仪的靶头大多直接固定与真空箱内，其真空箱内的载物台大多为固定不动的，同时磁控靶可调节的距离非常有限，因此有限的靶基距测量非常不便，因此本技术公开了一种用于射频磁控溅射仪的升降装置，来解决现有装置存在的缺陷。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于射频磁控溅射仪的升降装置，通过设置升降机构以及限位机构，实现对靶头进行大幅度升降，避免靶头的升降幅度较小，导致测量不便的现象，同时在限位杆以及套管的作用下，提高内螺纹管以及靶头移动的稳定性，通过设置连接机构，实现对竖板的位置进行固定，提高竖板使用时的稳定性。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种用于射频磁控溅射仪的升降装置，包括固定底座，所述固定底座的上端设置有竖板，所述竖板的下端设置有用于与固定底座之间进行连接的连接机构，所述竖板的侧壁上固定连接有固定块，所述固定块的一端侧壁上开设有凹槽，所述固定底座的上端固定连接有真空箱，所述凹槽内设置有内螺纹管，所述内螺纹管穿过凹槽的侧壁并与其滑动连接，所述内螺纹管的下端穿过真空箱的上端并与其密封滑动连接，所述内螺纹管位于真空箱内的一端固定连接有靶头，所述固定块的上端设置有用于对内螺纹管进行升降的升降机构，所述凹槽内设置有用于对升降过程中的内螺纹管进行限位的限位机构。
[0007]优选地，所述连接机构包括贯穿固定板的两个螺栓，所述固定底座的内部开设有两个腔体，两个所述腔体内均设置有与螺栓相配合的螺母，两个所述螺栓分别穿过同侧的腔体的上端并与内部的螺母螺纹连接。
[0008]优选地，所述升降机构包括固定连接在固定块上端的动力电机，所述动力电机的输出轴末端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆插设在内螺纹管内并与其螺纹连接。
[0009]优选地，所述限位机构包括固定连接在凹槽的两侧壁之间的限位杆，所述限位杆上滑动套接有套管，所述套管与内螺纹管之间共同固定连接有横杆。
[0010]优选地，所述套管的下端与凹槽的一端侧壁之间通过弹簧弹性连接，所述弹簧为压力弹簧。
[0011]优选地，所述真空箱的内底部固定连接有载物台，所述载物台的材质为石英石。
[0012]本技术与现有技术相比，其有益效果为：
[0013]1、通过设置升降机构以及限位机构，驱动动力电机的输出轴转动，带动螺纹杆转动，从而使得与其螺纹连接的内螺纹管移动，从而带动靶头移动，实现对靶头进行大幅度升降，避免靶头的升降幅度较小，导致测量不便的现象，同时在限位杆以及套管的作用下，提高内螺纹管以及靶头移动的稳定性。
[0014]2、通过设置连接机构，将两个螺栓插入适当位置的腔体内，转动两个螺栓使其螺纹连接到腔体内的螺母内，即可实现对竖板的位置进行固定，提高竖板使用时的稳定性。
附图说明
[0015]图1为本技术提出的一种用于射频磁控溅射仪的升降装置的结构示意图；
[0016]图2为图1中的A处结构放大图；
[0017]图3为本技术提出的一种用于射频磁控溅射仪的升降装置的内螺纹管剖面图。
[0018]图中：1固定底座、2真空箱、3载物台、4竖板、5靶头、6内螺纹管、7限位杆、8套管、9横杆、10螺纹杆、11动力电机、12固定块、13固定板、14螺栓、15腔体、16螺母。
具体实施方式
[0019]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施的限制。
[0020]需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
[0021]参照图1
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3，一种用于射频磁控溅射仪的升降装置，包括固定底座1，固定底座1的上端设置有竖板4，竖板4的下端设置有用于与固定底座1之间进行连接的连接机构，连接机构包括贯穿固定板13的两个螺栓14，固定底座1的内部开设有两个腔体15，两个腔体15内均设置有与螺栓14相配合的螺母16，两个螺栓14分别穿过同侧的腔体15的上端并与内部的螺母16螺纹连接，通过设置连接机构，实现对竖板4的位置进行固定，提高竖板4使用时的稳定性。
[0022]竖板4的侧壁上固定连接有固定块12，固定块12的一端侧壁上开设有凹槽，固定底座1的上端固定连接有真空箱2，真空箱2的内底部固定连接有载物台3，载物台3的材质为石英石，凹槽内设置有内螺纹管6，内螺纹管6穿过凹槽的侧壁并与其滑动连接，内螺纹管6的下端穿过真空箱2的上端并与其密封滑动连接，内螺纹管6位于真空箱2内的一端固定连接有靶头5，固定块12的上端设置有用于对内螺纹管6进行升降的升降机构，升降机构包括固定连接在固定块12上端的动力电机11，动力电机11的输出轴末端固定连接有螺纹杆10，螺纹杆10插设在内螺纹管6内并与其螺纹连接。
[0023]凹槽内设置有用于对升降过程中的内螺纹管6进行限位的限位机构，限位机构包
括固定连接在凹槽的两侧壁之间的限位杆7，限位杆7上滑动套接有套管8，套管8的下端与凹槽的一端侧壁之间通过弹簧弹性连接，弹簧为压力弹簧，套管8与内螺纹管6之间共同固定连接有横杆9，通过设置升降机构以及限位机构，实现对靶头5进行大幅度升降，避免靶头5的升降幅度较小，导致测量不便的现象，同时在限位杆7以及套管8的作用下，提高内螺纹管6以及靶头5移动的稳定性。
[0024]本技术使用时，将两个螺栓14插入适当位置的腔体15内，转动两个螺栓14使其螺纹连接到腔体15内的螺母16内，即可实现对竖板4的位置进行固定，提高竖板4使用时的稳定性，安装完成后，需要使用溅射仪时，驱动动力电机11的输出轴转动，带动螺纹杆10转动，从而使得与其螺纹连接的内螺纹管6移动，从而带动靶头5移动，实现对靶头5进行大幅度升降，避免靶头5的升降幅度较小，导致测量不便的现象，同时在限位杆7以及套管8的作用下，提高内螺纹管6以及靶头5移动的稳定性。
[0025]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于射频磁控溅射仪的升降装置，包括固定底座(1)，其特征在于，所述固定底座(1)的上端设置有竖板(4)，所述竖板(4)的下端设置有用于与固定底座(1)之间进行连接的连接机构，所述竖板(4)的侧壁上固定连接有固定块(12)，所述固定块(12)的一端侧壁上开设有凹槽，所述固定底座(1)的上端固定连接有真空箱(2)，所述凹槽内设置有内螺纹管(6)，所述内螺纹管(6)穿过凹槽的侧壁并与其滑动连接，所述内螺纹管(6)的下端穿过真空箱(2)的上端并与其密封滑动连接，所述内螺纹管(6)位于真空箱(2)内的一端固定连接有靶头(5)，所述固定块(12)的上端设置有用于对内螺纹管(6)进行升降的升降机构，所述凹槽内设置有用于对升降过程中的内螺纹管(6)进行限位的限位机构。2.根据权利要求1所述的一种用于射频磁控溅射仪的升降装置，其特征在于，所述连接机构包括贯穿固定板(13)的两个螺栓(14)，所述固定底座(1)的内部开设有两个腔体(15)，两个所述腔体(15)内均设置有与螺栓(14)相配...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘宇亮，
申请(专利权)人：深圳市矢量科学仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：
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