一种能够快速降温的磁控溅射镀膜机制造技术

本发明专利技术公开了一种能够快速降温的磁控溅射镀膜机，包括磁控溅射镀膜机壳体，所述磁控溅射镀膜机壳体内设有螺纹柱，所述螺纹柱的顶端与磁控溅射镀膜机壳体的顶部内壁通过轴承连接，所述螺纹柱的外部套设有螺纹环，所述螺纹环与螺纹柱的连接方式为螺纹连接，所述螺纹柱的外部套设有连接环，所述连接环位于螺纹环的下方，所述连接环上设有若干第一连接板。本发明专利技术所述的一种能够快速降温的磁控溅射镀膜机，属于镀膜设备技术领域，便于对多个加工件进行固定，同时减少加工件的夹持面积，便于进行散热降温，通过驱动螺纹柱转动，进而可以改变加工件的位置，不需要溅射器移动，能够有效避免发生镀膜不均匀的问题，生产效率更高。生产效率更高。生产效率更高。

【技术实现步骤摘要】
一种能够快速降温的磁控溅射镀膜机


[0001]本专利技术涉及镀膜设备
，特别涉及一种能够快速降温的磁控溅射镀膜机。

技术介绍

[0002]真空磁控溅射镀膜方式作为真空镀膜领域一种重要的方式，具有非常广泛的应用范围，镀膜基材包括金属、玻璃、陶瓷、塑料薄膜等，根据工艺条件，可制备多种薄膜，例如：光学薄膜、装饰薄膜、保护膜、电磁屏蔽薄膜等功能性薄膜，由于溅射器所涉及设备体量较大，移动不便，容易造成镀膜厚度不均匀。

技术实现思路

[0003]本专利技术的主要目的在于提供一种能够快速降温的磁控溅射镀膜机，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为：
[0005]一种能够快速降温的磁控溅射镀膜机，包括磁控溅射镀膜机壳体，所述磁控溅射镀膜机壳体内设有螺纹柱，所述螺纹柱的顶端与磁控溅射镀膜机壳体的顶部内壁通过轴承连接，所述螺纹柱的外部套设有螺纹环，所述螺纹环与螺纹柱的连接方式为螺纹连接，所述螺纹柱的外部套设有连接环，所述连接环位于螺纹环的下方，所述连接环上设有若干第一连接板，所述第一连接板的一端与连接环固定连接，所述第一连接板的另一端固定连接有第一U形夹板，所述第一U形夹板的下方设有第二U形夹板，所述第二U形夹板与螺纹柱通过连接架连接，所述第一U形夹板和第二U形夹板之间设有加工件，所述第一连接板和螺纹柱通过拉扯机构连接，所述连接环和螺纹环通过定位机构连接，所述螺纹柱的底部固定连接有固定盘，所述固定盘和磁控溅射镀膜机壳体通过旋转驱动组件连接。
[0006]优选的，所述旋转驱动组件包括设置于固定盘底部的定位盘，所述定位盘的下方设有驱动电机，所述驱动电机的输出端设有驱动轴，所述驱动轴的顶部与定位盘的底部固定连接，所述驱动电机的底部固定连接有电机座，所述电机座和磁控溅射镀膜机壳体通过若干螺栓连接，所述驱动轴的外部套设有第一活动环，所述第一活动环的顶部固定连接有两个定位板，所述第一活动环和定位盘通过若干第一拉伸弹簧连接，所述定位盘的顶部开设有两个第一通孔，所述固定盘的顶部开设有两个定位孔。
[0007]优选的，所述定位板贯穿第一通孔，且所述定位板的顶端位于定位孔内。
[0008]优选的，所述拉扯机构包括套设于螺纹柱外部的固定环，所述固定环位于螺纹环的上方，所述固定环与螺纹柱固定连接，所述第一连接板的上方设有第一定位柱，所述第一定位柱贯穿第一连接板，所述第一定位柱的顶端与固定环的底部固定连接，所述第一定位柱的外部套设有第二拉伸弹簧，且所述第二拉伸弹簧的两端分别与第一连接板和固定环连接。
[0009]优选的，所述定位机构包括套设于螺纹柱外部的第二活动环，所述第二活动环位于连接环的下方，所述第二活动环的顶部固定连接有两个第二定位柱，所述连接环的顶部
开设有两个第二通孔，所述螺纹环的底部开设有若干限位槽，所述第二活动环的顶部与连接环的底部通过两个第三拉伸弹簧连接，且所述第三拉伸弹簧套设于第二定位柱的外部。
[0010]优选的，所述第二定位柱贯穿第二通孔，且所述第二定位柱的顶端位于相对应的一个限位槽内，所述螺纹环上设有两个把手。
[0011]优选的，其中一个所述第一连接板的底部开设有滑槽，所述滑槽内设有滑块，所述滑块的底部固定连接有第二连接板，所述第二连接板的一侧固定连接有挡板。
[0012]优选的，所述滑槽和滑块的横截面均为T形结构。
[0013]与现有技术相比，本专利技术具有如下有益效果：
[0014]1、通过设置的螺纹柱、轴承、螺纹环、连接环、第一连接板、第一U形夹板、第二U形夹板、加工件、连接架和拉扯机构，通过驱动螺纹环转动，使得螺纹环驱动连接环下移，且第二拉伸弹簧处于拉伸状态，进而连接环驱动第一连接板和第一U形夹板下移，使得加工件被夹持在第一U形夹板和第二U形夹板之间，便于对多个加工件进行固定，同时减少加工件的夹持面积，便于进行散热降温；
[0015]2、通过设置的螺纹环、连接环和定位机构，驱动螺纹环转动前，驱动第二活动环下移，使得第二定位柱的顶端脱离限位槽，解除螺纹环和连接环之间的固定关系，第三拉伸弹簧处于拉伸状态，进而可以转动螺纹环，当螺纹环转动结束后，松开第二活动环，进而第三拉伸弹簧驱动第二活动环上移，使得第二定位柱上移，进而使得第二定位柱插入相对应的限位槽内，使得螺纹环和连接环固定，避免螺纹环相对螺纹柱转动，进而减少螺纹环因非人为因素转动的可能，通过设置的把手，便于驱动螺纹环转动；
[0016]3、通过设置的第一连接板、滑槽、滑块、第二连接板和挡板，当第二活动环相对连接环下移时，通过驱动第二连接板和挡板移动，使得挡板移动至第二活动环的顶部，进而通过挡板限位第二活动环的位置，避免第三拉伸弹簧驱动第二活动环上移，不需要一直拉着第二活动环，方便实际操作；
[0017]4、通过设置的螺纹柱、固定盘和旋转驱动组件，启动驱动电机，进而驱动轴驱动定位盘转动，通过固定盘驱动螺纹柱转动，进而可以改变加工件的位置，不需要溅射器移动，能够有效避免发生镀膜不均匀的问题，生产效率更高，通过驱动螺栓转动，使得螺栓脱离磁控溅射镀膜机壳体和电机座，解除对驱动电机底端的固定，通过驱动第一活动环下移，使得定位板的顶端脱离定位孔，解除对定位盘位置的限定，进而驱动定位盘和驱动电机移动，使得定位盘不再位于固定盘的底部，即可完成驱动电机的拆除，便于后期的更换检修。
附图说明
[0018]图1为本专利技术的磁控溅射镀膜机壳体内部结构示意图；
[0019]图2为本专利技术的定位机构结构示意图；
[0020]图3为本专利技术的拉扯机构结构示意图；
[0021]图4为本专利技术的旋转驱动组件结构示意图；
[0022]图5为本专利技术的滑块结构示意图；
[0023]图6为本专利技术的螺纹环结构示意图。
[0024]图中：1、磁控溅射镀膜机壳体；2、螺纹柱；3、轴承；4、螺纹环；5、连接环；6、第一连接板；7、第一U形夹板；8、第二U形夹板；9、加工件；10、连接架；11、固定盘；12、定位盘；13、驱
动电机；14、驱动轴；15、电机座；16、螺栓；17、第一活动环；18、定位板；19、第一通孔；20、定位孔；21、第一拉伸弹簧；22、第一定位柱；23、第二拉伸弹簧；24、固定环；25、第二活动环；26、第二定位柱；27、第二通孔；28、限位槽；29、第三拉伸弹簧；30、把手；31、滑槽；32、滑块；33、第二连接板；34、挡板。
具体实施方式
[0025]为使本专利技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本专利技术。
[0026]如图1
‑
6所示，一种能够快速降温的磁控溅射镀膜机，包括磁控溅射镀膜机壳体1，磁控溅射镀膜机壳体1内设有螺纹柱2，螺纹柱2的顶端与磁控溅射镀膜机壳体1的顶部内壁通过轴承3连接，螺纹柱2的外部套设有螺纹环4，螺纹环4与螺纹柱2的连接方式为螺纹连接，螺纹柱2的外部套设有连接环5，连接环5位于螺纹环4本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种能够快速降温的磁控溅射镀膜机，包括磁控溅射镀膜机壳体(1)，其特征在于：所述磁控溅射镀膜机壳体(1)内设有螺纹柱(2)，所述螺纹柱(2)的顶端与磁控溅射镀膜机壳体(1)的顶部内壁通过轴承(3)连接，所述螺纹柱(2)的外部套设有螺纹环(4)，所述螺纹环(4)与螺纹柱(2)的连接方式为螺纹连接，所述螺纹柱(2)的外部套设有连接环(5)，所述连接环(5)位于螺纹环(4)的下方，所述连接环(5)上设有若干第一连接板(6)，所述第一连接板(6)的一端与连接环(5)固定连接，所述第一连接板(6)的另一端固定连接有第一U形夹板(7)，所述第一U形夹板(7)的下方设有第二U形夹板(8)，所述第二U形夹板(8)与螺纹柱(2)通过连接架(10)连接，所述第一U形夹板(7)和第二U形夹板(8)之间设有加工件(9)，所述第一连接板(6)和螺纹柱(2)通过拉扯机构连接，所述连接环(5)和螺纹环(4)通过定位机构连接，所述螺纹柱(2)的底部固定连接有固定盘(11)，所述固定盘(11)和磁控溅射镀膜机壳体(1)通过旋转驱动组件连接。2.根据权利要求1所述的一种能够快速降温的磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述旋转驱动组件包括设置于固定盘(11)底部的定位盘(12)，所述定位盘(12)的下方设有驱动电机(13)，所述驱动电机(13)的输出端设有驱动轴(14)，所述驱动轴(14)的顶部与定位盘(12)的底部固定连接，所述驱动电机(13)的底部固定连接有电机座(15)，所述电机座(15)和磁控溅射镀膜机壳体(1)通过若干螺栓(16)连接，所述驱动轴(14)的外部套设有第一活动环(17)，所述第一活动环(17)的顶部固定连接有两个定位板(18)，所述第一活动环(17)和定位盘(12)通过若干第一拉伸弹簧(21)连接，所述定位盘(12)的顶部开设有两个第一通孔(19)，所述固定盘(11)的顶部开设有两个定位孔(20)。3.根据权利要求2所述的一种能够快速降温的磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述定...

【专利技术属性】
技术研发人员：王刚，
申请(专利权)人：苏州联鑫新材料技术有限公司，
类型：发明
国别省市：