一种宽带热电子光探测器件及其制备方法技术

技术编号:31978981 阅读:33 留言:0更新日期:2022-01-20 01:33
本发明专利技术公开了一种宽带热电子光探测器件及其制备方法,该光探测器件包括衬底,其特征在于:所述衬底表面依次设置有布拉格光栅、氮化钛薄膜层、金属氧化物层、透明电极和减反射层;其制备方法包括以上各层的制备步骤。本发明专利技术的宽带热电子光探测器件及其制备方法具有响应度高、入射光损耗低、工艺简单和普适性强的特点。的特点。的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种宽带热电子光探测器件及其制备方法


[0001]本专利技术涉及管探测器件
,具体是指一种宽带热电子光探测器件。

技术介绍

[0002]热电子光探测器件是一种利用内光电效应产生的热电子来实现亚禁带(尤其是近红外)响应的新型光探测技术,具有探测波长突破半导体禁带宽度限制、有效避免能量弛豫损耗、光电响应速度快、室温工作、光偏振态探测等诸多优点。制约热电子光探测器件大规模应用的主要因素是光电转换效率(响应度)低,这是目前迫切需要解决的问题。
[0003]通过采用表面等离激元、光栅等离激元、塔姆等离激元、超表面和微腔效应等光学结构增强金属薄膜的光吸收效率,进而提升器件的响应度是一种常用策略。常见的金属薄膜/布拉格光栅塔姆等离激元结构制备成本低廉、容易实现大规模生产,通过对布拉格光栅结构参数的调节,也可以实现高效的探测波长的调制。该结构提供了有效增强光吸收效率、提升器件响应度的实现途径,然而相应器件往往表现出窄带响应的特性。开发具有宽带响应特点的热电子光探测器件有利于拓宽其在光通信、光催化、太阳电池、光分解水等领域的应用就宽带热电子光探测器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种宽带热电子光探测器件,包括衬底,其特征在于:所述衬底表面依次设置有布拉格光栅、氮化钛薄膜层、金属氧化物层、透明电极和减反射层。2. 根据权利要求1所述的宽带热电子光探测器件,其特征在于:所述金属氧化物层为二氧化钛薄膜、氧化锌薄膜或氧化锡薄膜;所述金属氧化物层厚度为5

50 nm。3. 根据权利要求2所述的宽带热电子光探测器件,其特征在于:所述透明电极为铟锡氧化物、掺铝氧化锌或掺氟氧化锡;所述透明电极厚度为20

100 nm。4. 根据权利要求3所述的宽带热电子光探测器件,其特征在于:所述减反射层为氟化镁、氟化锂或氮化硅;所述减反射层厚度为50

300 nm。5. 根据权利要求4所述的宽带热电子光探测器件,其特征在于:所述布拉格光栅周期为3

8;所述布拉格光栅中心波长为900
...

【专利技术属性】
技术研发人员:罗国平陈星源胡素梅朱伟玲
申请(专利权)人:广东石油化工学院
类型:发明
国别省市:

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