混合维度范德华异质结室温双色红外探测器及制备方法技术

本发明专利技术公开了一种混合维度范德华异质结室温双色红外探测器及制备方法。器件的制备步骤是利用一定比例的氢氟酸和氟化铵制备的缓冲氧化物刻蚀液刻蚀双面抛光的Si/SiO2，形成Si窗口。利用聚碳酸亚丙酯薄膜无损转移的二维范德华材料异质结至Si窗口形成PNP(NPN)异质结构。利用光电三极管能带结构实现双波段红外信号探测，同时利用Si材料高吸光率作为近红外光敏材料和长波通滤波片来降低串扰，提升器件双波段红外响应。本发明专利技术的特点是将三维薄膜材料与二维范德华材料相结合，实现近红外/中红外室温探测，制作成本低、工艺简单易制备、探测率高、工作温度高。工作温度高。工作温度高。

【技术实现步骤摘要】
混合维度范德华异质结室温双色红外探测器及制备方法


[0001]本专利技术涉及一种混合维度范德华异质结室温双色红外探测器，实现近红外/中红外双波段红外信号探测。同时利用Si材料高吸光率作为近红外光敏材料和长波通滤波片来降低串扰，提升器件双波段红外响应。具体是指利用二维范德华材料与Si形成异质结，实现双波段红外信号同时探测。从而大大提高红外探测器对于红外热源温度分辨能力的敏感性，提高器件的响应度和响应速度，降低信号串扰。

技术介绍

[0002]未来战争是以信息为主导、网络为中心、体系为支撑的智能化战争，将表现为“智能化、高速化、无人化”等特征。随着信息化对抗程度的加剧，传统单波段红外探测手段已逐渐无法适应现代化战争的需求，如舰艇及飞机中使用的抗反射涂层、导弹的红外诱饵等复杂场景对红外探测提出了更高的要求，因此需要发展具有多谱段、自适应、智能化的成像探测系统，提升对目标的自主探测识别能力。此外，在信息化战争中，人员的损耗将逐渐演变为军事装备的损耗，因此低成本的小型化设备是未来军事装备的另一大发展趋势。这要求了未来红外光电成像装备具有
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种混合维度范德华异质结室温双色红外探测器，其特征在于：在三维薄膜光敏材料衬底(1)上是二氧化硅绝缘层(2)、在二氧化硅绝缘层(2)上转移有第一种二维范德华材料(3)，第一种二维范德华材料上转移有第二种二维范德华材料(4)，在第一种二维范德华材料(3)和第二种二维范德华材料(4)分别由源或漏电极(5)，并保证每个电极有部分裸露在外；所述的三维薄膜光敏材料衬底(1)是P型Si衬底；所述的二氧化硅绝缘氧化层(2)厚度是260nm；所述的第一种二维范德华材料(3)为n型二硫化钼；所述的第二种二维范德华材料(4)为p型黑磷；所述的源或漏电极(5)是金属铬Cr和金Au复合电极，厚度分别是5
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【专利技术属性】
技术研发人员：胡伟达，吴培松，王鹏，李庆，张莉丽，王芳，谢润章，苗金水，王振，贺婷，付晓，陈效双，陆卫，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：