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本发明公开了一种宽带热电子光探测器件及其制备方法，该光探测器件包括衬底，其特征在于：所述衬底表面依次设置有布拉格光栅、氮化钛薄膜层、金属氧化物层、透明电极和减反射层；其制备方法包括以上各层的制备步骤。本发明的宽带热电子光探测器件及其制备方法...
该专利属于广东石油化工学院所有，仅供学习研究参考，未经过广东石油化工学院授权不得商用。

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