一种保护加料器的法兰盘制造技术

本实用新型专利技术提出一种保护加料器的法兰盘,包括喉口法兰和喉口卡环，所述喉口法兰的内侧设有限位环，且限位环与喉口法兰存在间距，所述限位环的内侧设有候口卡环，所述候口卡环下方设有支撑环，且支撑环与喉口法兰连接，所述支撑环的上方在候口卡环上设有安装槽，且安装槽均匀设有多组，所述安装槽内安装有支撑组件，且支撑组件的下端面与限位环接触，所述支撑组件的下方设有限位组件，该种保护加料器的法兰盘通过在喉口法兰的内侧增设有喉口卡环，通过喉口卡环来增加喉口法兰的内径，继而使得加料器法兰盘能够落在喉口卡环上进行下料，从而避免了喉口法兰对加料器出现剐蹭的情况，使得其不会影响到后续晶棒的品质。得其不会影响到后续晶棒的品质。得其不会影响到后续晶棒的品质。

【技术实现步骤摘要】
一种保护加料器的法兰盘


[0001]本技术涉及法兰设备
，尤其涉及一种保护加料器的法兰盘。

技术介绍

[0002]单晶硅作为一种半导体材料，一般用于制造集成电路和其他电子元件，目前单晶硅的生长技术有两种，区熔法和直拉法，其中直拉法是目前普遍的采用的方法，在直拉法制造单晶硅时，要将多晶硅置于石英坩埚中，经过高温使其熔化，然后籽晶由顶部降至熔化的多晶硅中，其中，籽晶的降落过程需要用到加料器；
[0003]在加料的过程中，下落的加料器法兰盘正好落在喉口法兰平面上，继而使石英加料筒停止在该位置，随着中间金属提升杆继续下落，物料顺利加入坩埚中，在加料的过程中，喉口法兰主要起承固定作用；
[0004]但现有的喉口法兰，在其中的过程中，由于喉口法兰盘过大，很容易剐蹭到加料器四氟垫环，从而导致四氟碎屑进入料中，影响到后续晶棒成型的质量，同时，在加料的过程中，由于加料器受力不均，很容易出现加料器卡死或者是加料器下部出现磕碰，因此本技术提出一种保护加料器的法兰盘以解决现有技术中存在的问题。

技术实现思路

[0005]针对上述问题，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种保护加料器的法兰盘，包括喉口法兰(1)和喉口卡环(2)，其特征在于：所述喉口法兰(1)的内侧设有限位环(3)，且限位环(3)与喉口法兰(1)存在间距，所述限位环(3)的内侧设有喉口卡环(2)，所述喉口卡环(2)下方设有支撑环(4)，且支撑环(4)与喉口法兰(1)连接，所述支撑环(4)的上方在喉口卡环(2)上设有安装槽(5)，且安装槽(5)均匀设有多组，所述安装槽(5)内安装有支撑组件，且支撑组件的下端面与限位环(3)接触，所述支撑组件的下方设有限位组件。2.根据权利要求1所述的一种保护加料器的法兰盘，其特征在于：所述支撑组件包括上支撑板(6)、下支撑板(7)和支撑块(8)，所述上支撑板(6)和下支撑板(7)的截面均为L形，且上支撑板(6)的内侧安装有支撑块(8)，所述支撑块(8)的下方安装有下支撑板(7)，所述下支撑板(7)的两端分别与上支撑板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙彬，徐志群，雷瑶，刘勇，邰文星，
申请(专利权)人：青海高景太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：