一种高频感应单晶炉上料系统技术方案

技术编号:31194922 阅读:28 留言:0更新日期:2021-12-04 16:55
本实用新型专利技术涉及一种高频感应单晶炉上料系统,包括底座,所述底座上方一侧设有立柱,所述立柱上方与支撑板固定连接,所述支撑板上方一侧设有第一电机,所述第一电机输出端固定连接有丝杆,所述丝杆外部套接有移动座,所述移动座一侧设有第二电机,所述第二电机下方连接有传动轴,所述传动轴下方固定连接有转动座,所述转动座外部设有研磨头,所述研磨头下方与上料箱连接。本实用新型专利技术通过设置研磨头将原料粉碎,增加原料在受热融化时的受热面积,从而加速原料融化,并且,集料箱下方设有电子秤,上料时可以根据电子秤的数值计算原料添加的数量,提高上料数量的精确度,可以根据生产需要进行调整,从而节约生产成本。从而节约生产成本。从而节约生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种高频感应单晶炉上料系统


[0001]本技术涉及一种高频感应单晶炉上料系统,属于单晶炉


技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。目前,世界上用于硅单晶体生长的主流方法主要有两种:一种是区熔法,另一种是直拉法,其中直拉法具有生长单晶质量大、直径大、成本低廉、生产效率高等优点。
[0003]在使用单晶炉进行生产时需要不断向坩埚内添加原料,但是原料晶体有时大小不一,在加工融化的时间较长,影响生产效率,并且在添加原料时,往往是人工根据经验添加,添加的原料数量不易计算,因此,需要一种高频感应单晶炉上料系统。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种高频感应单晶炉上料系统,通过设置研磨头将原料粉碎,增加原料在受热融化时的受热面积,从而加速原料融化,并且,集料箱下方设有电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高频感应单晶炉上料系统,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)上方一侧设有立柱(2),所述立柱(2)上方与支撑板(3)固定连接,所述支撑板(3)上方一侧设有第一电机(4),所述第一电机(4)输出端固定连接有丝杆(5),所述丝杆(5)外部套接有移动座(6),所述移动座(6)一侧设有第二电机(7),所述第二电机(7)下方连接有传动轴(8),所述传动轴(8)下方固定连接有转动座(9),所述转动座(9)外部设有研磨头(10),所述研磨头(10)下方与上料箱(11)连接,所述上料箱(11)下方一侧开设有导料口(12),所述导料口(12)下方与导料管(13)连通,所述导料管(13)下方延伸至筒体(14)内部,所述筒体(14)内部设有集料箱(15),所述集料箱(15)内部一侧设有推板(16),所述推板(16)一侧与气缸(17)输出端固定连接,所述气缸(17)设于所述底座(1)上方一侧,所述集料箱(15)下方设有电子秤(18)。2.根据权利要求1所述的一种高频感应单晶炉上料系统,其特征在于:所述移动座(6)内部一侧设有与所述丝杆(5)螺纹相匹配的螺纹槽,所述移动座(6)与所述丝杆(5)通过螺纹连接,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:王晓龙
申请(专利权)人:蔻晶上海科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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