一种坩埚保护装置制造方法及图纸

技术编号:31956421 阅读:10 留言:0更新日期:2022-01-19 21:57
本说明书实施例提供一种坩埚保护装置,该坩埚保护装置包括套筒,其中,所述套筒包括至少两个轴对称的侧筒块,所述侧筒块包括筒壁和筒底;缓冲层,所述缓冲层设置于所述侧筒块的所述筒壁和/或筒底的内侧,其中,设置有所述缓冲层的所述至少两个侧筒块拼接于坩埚外壁,以使所述缓冲层包裹所述坩埚外壁。使所述缓冲层包裹所述坩埚外壁。使所述缓冲层包裹所述坩埚外壁。

【技术实现步骤摘要】
一种坩埚保护装置


[0001]本说明书涉及晶体制备
,特别涉及一种坩埚保护装置。

技术介绍

[0002]在晶体生长过程中,通常使用坩埚(例如,金属坩埚)盛装熔融原料,在高温以及熔融原料重力的作用下,坩埚的底部和侧壁容易软化而变形,甚至可能因严重变形造成坩埚开裂。因此,有必要提供一种坩埚保护装置,以在晶体生长过程中保护坩埚,避免坩埚变形或开裂。

技术实现思路

[0003]本说明书实施例之一提供一种坩埚保护装置。所述坩埚保护装置包括:套筒,其中,所述套筒包括至少两个轴对称的侧筒块,所述侧筒块包括筒壁和筒底;缓冲层,所述缓冲层设置于所述侧筒块的所述筒壁和/或筒底的内侧,其中,设置有所述缓冲层的所述至少两个侧筒块拼接于坩埚外壁,以使所述缓冲层包裹所述坩埚外壁。
[0004]在一些实施例中,所述缓冲层的厚度在1mm~10mm范围内。
[0005]在一些实施例中,所述坩埚保护装置还包括粘接物,所述粘接物将所述缓冲层粘接于所述侧筒块的所述筒壁和/或所述筒底内侧。
[0006]在一些实施例中,所述粘接物的分解温度低于预设温度阈值。
[0007]在一些实施例中,所述粘接物包括粘胶。
[0008]在一些实施例中,所述侧筒块的所述筒壁和/或所述筒底内侧设置凸起,通过所述凸起将所述缓冲层固定在所述侧筒块的所述筒壁和/或所述筒底内侧。
[0009]在一些实施例中,所述侧筒块的所述筒壁外侧设置至少两个连接部;所述坩埚保护装置还包括连接件,所述连接件与所述至少两个连接部连接,以将所述至少两个侧筒块固定拼接于所述坩埚外壁。
[0010]在一些实施例中,所述套筒外壁设置凸环。
[0011]在一些实施例中,所述套筒外壁设置至少两个轴对称的凸块。
附图说明
[0012]本说明书将以示例性实施例的方式进一步说明,这些示例性实施例将通过附图进行详细描述。这些实施例并非限制性的,在这些实施例中,相同的编号表示相同的结构,其中:
[0013]图1是根据本说明书一些实施例所示的坩埚保护装置的示例性结构示意图;
[0014]图2是根据本说明书一些实施例所示的缓冲层和侧筒块的示例性结构示意图;
[0015]图3是根据本说明书一些实施例所示的连接件的示例性结构示意图。
[0016]图中,100为坩埚保护装置,110为侧筒块,111为筒壁,112为筒底,113为连接部,114为凸环,120为缓冲层,130为连接件,131为内沿,132为外沿,133为顶壁,以及134为凹
槽。
具体实施方式
[0017]为了更清楚地说明本说明书实施例的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本说明书的一些示例或实施例,对于本领域的普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图将本说明书应用于其它类似情景。除非从语言环境中显而易见或另做说明,图中相同标号代表相同结构或操作。
[0018]应当理解,本文使用的“系统”、“装置”、“单元”和/或“模块”是用于区分不同级别的不同组件、元件、部件、部分或装配的一种方法。然而,如果其他词语可实现相同的目的,则可通过其他表达来替换所述词语。
[0019]如本说明书和权利要求书中所示,除非上下文明确提示例外情形,“一”、“一个”、“一种”和/或“该”等词并非特指单数,也可包括复数。一般说来,术语“包括”与“包含”仅提示包括已明确标识的步骤和元素,而这些步骤和元素不构成一个排它性的罗列,方法或者设备也可能包含其它的步骤或元素。
[0020]本说明书中使用了流程图用来说明根据本说明书的实施例的系统所执行的操作。应当理解的是,前面或后面操作不一定按照顺序来精确地执行。相反,可以按照倒序或同时处理各个步骤。同时,也可以将其他操作添加到这些过程中,或从这些过程移除某一步或数步操作。
[0021]本说明书实施例提供了一种坩埚保护装置,通过至少两个侧筒块拼接于坩埚外壁,以在晶体生长过程中保护坩埚,避免坩埚变形或开裂。另外,在侧筒块的筒壁和/或筒底设置缓冲层,可以在晶体生长过程中起到缓冲作用。进一步地,设置合适厚度的缓冲层,可以在起到缓冲作用的同时避免套筒内壁可能存在的不平整凸点或凹坑导致坩埚外壁的变形。此外,采用凸起或可分解的粘接物(例如,粘胶)将缓冲层固定在侧筒块的筒壁和/或筒底内侧,不会影响晶体的生长,并且便于拆卸清洗和替换。进一步地,采用连接件和连接部将至少两个侧筒块固定拼接于坩埚外壁,拆装便捷、稳定牢固。另外,通过在套筒外壁设置凸环或凸块,可以实现坩埚保护装置对坩埚保护的同时便于将坩埚放置在晶体生长炉中和从晶体生长炉中取出,操作便捷。
[0022]图1是根据本说明书一些实施例所示的套筒的示例性结构示意图;图2是根据本说明书一些实施例所示的缓冲层和侧筒块的示例性结构示意图;图3是根据本说明书一些实施例所示的连接件的示例性结构示意图。以下将结合图1

3对本说明书实施例所涉及的坩埚保护装置进行详细说明。值得注意的是,以下实施例仅仅用以解释本说明书,并不构成对本说明书的限定。
[0023]在一些实施例中,坩埚保护装置100可以用于保护坩埚,避免坩埚变形或开裂。在一些实施例中,坩埚可以包括石墨坩埚、粘土坩埚、金属坩埚等。
[0024]在一些实施例中,如图1所示,坩埚保护装置100可以包括套筒。在一些实施例中,套筒可以包括至少两个(例如,两个、三个、四个、多个)轴对称的侧筒块110。例如,如图1所示,套筒可以包括两个轴对称的侧筒块110。在一些实施例中,侧筒块110可以包括筒壁111和筒底112。
[0025]在一些实施例中,如图1所示,坩埚保护装置100还可以包括缓冲层120。在一些实施例中,缓冲层120可以设置于侧筒块110的筒壁111和/或筒底112的内侧。
[0026]在一些实施例中,设置有缓冲层120的至少两个侧筒块110可以拼接于坩埚外壁,以使缓冲层120包裹坩埚外壁。通过将设置有缓冲层120的至少两个侧筒块110拼接于坩埚外壁,既能够在晶体生长过程中保护坩埚,避免坩埚变形或开裂,又方便部件的拆装和替换。
[0027]在一些实施例中,套筒的中空空腔的形状可以为圆柱体、正方体、长方体、多棱柱体等。在一些实施例中,为了对不同形状的坩埚起到保护作用,可以根据坩埚的外壁形状确定套筒的中空空腔的形状。在一些实施例中,套筒的中空空腔的形状可以与坩埚的外壁形状相匹配,以使套筒包裹坩埚外壁。在一些实施例中,“相匹配”可以指套筒的中空空腔的形状与坩埚外壁的形状相同或相似且套筒的中空空腔的横截面与坩埚外壁的横截面的差值在预设阈值范围(如,1mm

10mm)内。例如,坩埚外壁的形状为圆柱形,套筒的中空空腔的形状也为圆柱形,且套筒的中空空腔的横截面尺寸(例如,直径或面积)稍大于坩埚外壁的横截面尺寸(例如,直径或面积),使得在套筒可以包裹坩埚外壁,此外还可以在套筒的中空空腔与本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坩埚保护装置,其特征在于,所述坩埚保护装置包括:套筒,其中,所述套筒包括至少两个轴对称的侧筒块,所述侧筒块包括筒壁和筒底;缓冲层,所述缓冲层设置于所述侧筒块的所述筒壁和/或筒底的内侧,其中,设置有所述缓冲层的所述至少两个侧筒块拼接于坩埚外壁,以使所述缓冲层包裹所述坩埚外壁。2.如权利要求1所述的坩埚保护装置,其特征在于,所述缓冲层的厚度在0.1mm~10mm范围内。3.如权利要求1所述的坩埚保护装置,其特征在于,所述坩埚保护装置还包括粘接物,所述粘接物将所述缓冲层粘接于所述侧筒块的所述筒壁和/或所述筒底内侧。4.如权利要求3所述的坩埚保护装置,其特征在于,所述粘接物的分解温度低于预设温度阈值。...

【专利技术属性】
技术研发人员:王宇顾鹏梁振兴
申请(专利权)人:眉山博雅新材料股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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