一种水平横移式晶体生长装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种水平横移式晶体生长装置，包括：控制箱、电机、丝杆右端固定座、炉体、炉体支撑板、滑块、滑轨、丝杆、丝杆左端固定座、底板、横向支撑板、石英管固定座、石英管固定座支撑板、石英管。所述的电机通过螺栓固定在底板上，电机输出轴通过联轴器与丝杆同轴心配合连接，丝杆通过丝杆滑块与炉体支撑板间接接触，丝杆滑块与丝杆同轴心配合连接，丝杆滑块与炉体支撑板通过螺栓连接，炉体与炉体支撑板通过螺栓连接。电机根据程序要求进行慢速旋转，炉体内部具有高温的热反应场，与晶体反应物间接接触时会产生化学反应，会使晶体反应物不断反应、生长。本实用新型专利技术结构简单，稳定性好，其运行可靠，方便实用。方便实用。方便实用。

【技术实现步骤摘要】
一种水平横移式晶体生长装置


[0001]本技术涉及一种晶体生长装置，特别是涉及一种水平横移式晶体生长装置。

技术介绍

[0002]晶体材料在现代技术材料领域尤其是在新能源、光电技术以及微电子等领域都具有着至关重要的作用,而晶体的生长质量以及成本等已经成为其规模发展和应用的制约因素。目前的晶体生长装置有坩埚升降等方式实现晶体生长，传统的单晶生长炉仍存在以下不足之处:炉体设计和结构不易于安装和维护,使用不方便，炉体移动控制精度不高，晶体生长时受热不均。

技术实现思路

[0003]本技术提供了一种水平横移式晶体生长装置，稳定性好，其运行可靠，方便实用。
[0004]本技术解决技术问题提供如下方案：
[0005]一种水平横移式晶体生长装置，包括：控制箱、电机、丝杆右端固定座、炉体、炉体支撑板、滑块、滑轨、丝杆、丝杆左端固定座、底板、横向支撑板、石英管固定座、石英管固定座支撑板、石英管。
[0006]所述的电机通过螺栓固定在底板上，电机输出轴通过联轴器与丝杆同轴心配合连接。
[0007]所述的丝杆右端由丝杆右端固定座固定，丝杆左端由丝杆左端固定座固定，丝杆可在丝杆固定座内转动丝杆通过丝杆滑块与炉体支撑板间接接触，丝杆滑块与丝杆同轴心配合连接，丝杆滑块与炉体支撑板通过螺栓连接，炉体与炉体支撑板通过螺栓连接。
[0008]所述的炉体支撑板与滑块通过螺栓连接，滑块安装在滑轨上，滑块可在滑轨上移动，滑轨通过螺栓固定在底板上，横向支撑板通过螺栓固定在底板上，横向支撑板与石英管固定座支撑板通过螺栓连接，石英管固定座是通过螺栓固定在石英管固定座支撑板上的。
[0009]所述的石英管与两端石英管固定座固定连接，石英管与炉体加热孔同轴心配合，炉体左右移动时，石英管固定，石英管与炉体加热孔一直保证同轴心配合。
[0010]所述的电机根据程序要求进行慢速旋转，炉体内部具有高温的热反应场，与晶体反应物间接接触时会产生化学反应，会使晶体反应物不断反应、生长。
[0011]所述的炉体在移动过程中，滑块在滑轨上跟随着移动，滑块起到支承作用。
[0012]本技术结构简单，稳定性好，其运行可靠，方便实用。
附图说明
[0013]图1为本技术初始位置时的示意图。
[0014]图2为本技术工作状态时的示意图。
[0015]图中，1、控制箱；2、电机；3、丝杆右端固定座；4、炉体；5、炉体支撑板；6、滑块；7、滑
轨；8、丝杆；9、丝杆左端固定座；10、底板；11、横向支撑板；12、石英管固定座；13、石英管固定座支撑板；14、石英管。
具体实施方式
[0016]下面结合附图通过实施例对本技术作进一步说明：
[0017]参照图1所示，所述的控制箱1通过螺栓固定在底板10上，电机2通过螺栓固定在底板10上，电机2输出轴通过联轴器与丝杆8同轴心配合连接，丝杆8右端由丝杆右端固定座3固定，丝杆8左端由丝杆左端固定座9固定，丝杆8可在丝杆固定座内转动。丝杆8通过丝杆滑块与炉体支撑板5间接接触，丝杆滑块与丝杆8同轴心配合连接，丝杆滑块与炉体支撑板5通过螺栓连接，炉体4与炉体支撑板5通过螺栓连接。炉体支撑板5与滑块6通过螺栓连接，滑块6安装在滑轨7上，滑块6可在滑轨7上移动，滑轨7通过螺栓固定在底板10上，横向支撑板11通过螺栓固定在底板10上，横向支撑板11与石英管固定座支撑板13通过螺栓连接，石英管固定座12是通过螺栓固定在石英管固定座支撑板13上的。石英管14与两端石英管固定座12固定连接，石英管14与炉体4加热孔同轴心配合，炉体4左右移动时，石英管14固定，石英管14与炉体4加热孔一直保证同轴心配合。
[0018]根据实际情况，使用设备前向石英管14内部放入晶体反应物，将石英管14安装在石英管固定座12，石英管固定座12安装在石英管固定座支撑板13上。使用时按下控制箱1的控制按钮，电机2根据程序要求进行慢速旋转，炉体4内部具有高温的热反应场，与晶体反应物间接接触时会产生化学反应，会使晶体反应物不断反应、生长。电机2旋转带动丝杆8转动，丝杆8带动丝杆滑块进行移动，进而炉体支撑板5也会进行移动，炉体支撑板5上的炉体4也会移动，炉体4与石英管14内部晶体反应物间接接触时会产生化学反应，通过控制电机2转动速度来控制化学反应的稳定性。其中炉体4在移动过程中，滑块6在滑轨7上跟随着移动，滑块6起到支承作用。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种水平横移式晶体生长装置，包括：控制箱(1)、电机(2)、丝杆右端固定座(3)、炉体(4)、炉体支撑板(5)、滑块(6)、滑轨(7)、丝杆(8)、丝杆左端固定座(9)、底板(10)、横向支撑板(11)、石英管固定座(12)、石英管固定座支撑板(13)、石英管(14)，其特征在于：所述的电机(2)通过螺栓固定在底板(10)上，电机(2)输出轴通过联轴器与丝杆(8)同轴心配合连接，丝杆(8)右端由丝杆右端固定座(3)固定，丝杆(8)左端由丝杆左端固定座(9)固定，丝杆(8)可在丝杆固定座内转动，丝杆(8)通过丝杆滑块与炉体支撑板(5)间接接...

【专利技术属性】
技术研发人员：柯海森，田俊，陈荣威，程紫良，
申请(专利权)人：杭州量益科技有限公司，
类型：新型
国别省市：