半导体测试系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种半导体测试系统，包括自动测试机台、测试电路及测试模块，自动测试机台根据测试电路的测试信号，通过自动测试机台的控制器发送测试信号至测试模块所连接的半导体装置进行测试，用于自动测试机台评估测试结果；测试信号是以测试电路发出的第一控制测试信号和第二控制测试信号，对半导体装置进行控制和测试；第一控制测试信号是对应第二控制测试信号，用于对半导体装置进行控制和测试。试。试。

【技术实现步骤摘要】
半导体测试系统


[0001]本技术涉及半导体测试，特别是涉及一种半导体测试系统。

技术介绍

[0002]半导体测试的过程会有测试工程师配合各系统的测试方式，要让测试系统(测试机台)能辨识测试信号或指令。也因此半导体制造过程中也常使用自动测试设备(Automatic Test Equipment，ATE)来测试半导体的功能与参数是否正常，且由于各类型半导体产品测试的方法大多有异，配合不同产品需求而改变测试的功能亦是常态，因此半导体测试便是一个相当繁重的工作。
[0003]现阶段的半导体测试还需要经过一连串验证、除错等繁复的流程，不但增加研发人员的负担，也大大的降低测试系统开发的效率。

技术实现思路

[0004]有鉴于现有技术所提出的问题，本技术公开一种半导体测试系统，用于解决测试系统的测试效率问题。
[0005]根据本技术的实施例，提出了一种半导体测试系统，其包括：自动测试机台，该自动测试机台设有编辑器、测试电路和控制器；以及测试模块，电性连接该自动测试机台，该自动测试机台控制该测试模块进行测试；其中该自动测试机台根据该编辑器对该测试电路产生的测试信号后，该自动测试机台对该测试模块连接的半导体装置进行测试，由该编辑器对该测试电路产生该测试信号后，通过该自动测试机台的该控制器发送给该测试模块所连接的该半导体装置上，该控制器接收该半导体装置响应该测试信号的反馈测试信号，用于执行测试，该自动测试机台用于测试该半导体装置的集成电路或内部电路；其中，该测试信号是以该编辑器对该测试电路产生而发出的第一控制测试信号和第二控制测试信号对该半导体装置进行控制和测试；其中，该第一控制测试信号和该第二控制测试信号为测试的电信号。
[0006]本技术的可能技术效果在于可以有效简化半导体测试流程，会直接依据编辑器对测试电路产生的测试信号，并以第一控制测试信号和第二控制测试信号的内容进行判断以提升测试效率。
[0007]为了能更进一步了解本技术为达成既定目的所采取的技术及功效，请参阅以下有关本技术的详细说明、图式，相信本技术的目的、特征与特点，当可由此得以深入且具体之了解，然而所附图式仅提供参考与说明用，并非用来对本技术加以限制。
附图说明
[0008]图1表示本技术实施例的半导体测试系统的方块结构示意图。
[0009]图2表示本技术实施例的半导体测试系统的编辑器对测试电路产生测试信号的方块结构示意图。
具体实施方式
[0010]以下是通过特定的具体实施例来说明本技术所公开有关“半导体测试系统”的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本技术的优点与效果。本技术可通过其它不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不背离本技术的构思下进行各种修改与变更。另外，本技术的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘，事先声明。以下的实施方式将进一步详细说明本技术的相关
技术实现思路
，但所公开的内容并非用以限制本技术的保护范围。
[0011]为了更清楚的说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域通常知识及普通技能技术人员来说，在不付出过多努力的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0012]本技术公开一种半导体测试系统，可以指一种自动化的技术及系统，而针对半导体进行快速测试，半导体或称半导体装置例如是半导体的封装件、电子零件/组件(例如二极管)、晶圆、单芯片、任何形式的集成电路或电路板/软性电路板上的半导体封装。
[0013]本技术半导体测试系统中使用的计算机系统可以是工业计算机或具有高速运算能力的计算机，可以通过插槽或接口连接测试平台或感测装置，将半导体的测试结果储存在计算机上。本技术半导体测试系统可能包括待测半导体的使用电源(装置电源供应器，device power supplies，DPS)、参数化量测装置(parametric measurement units，PMU)、任意波形产生器(arbitrary waveform generators，AWG)、模拟数字之间的转换装置以及数字输入输出。
[0014]本技术半导体测试系统可以针对待测半导体进行不同的测量，由工业计算机控制在适当的时机提供信号(或是电压、电流信号)或进行功能测量，并依照所要求的反应时间，也会考虑使用监测系统或模块来产生信号以及撷取信号。
[0015]根据本技术的实施例，请参阅图1以及图2，图1表示本技术实施例的半导体测试系统的方块结构示意图。图2表示本技术实施例的半导体测试系统的编辑器对测试电路产生测试信号的方块结构示意图。其中本技术提供一种半导体测试系统，其包括但不限于：自动测试机台1以及测试模块2。
[0016]自动测试机台1设有编辑器10、测试电路11和控制器12，而且测试模块2电性连接自动测试机台1，自动测试机台1控制测试模块2进行测试。
[0017]其中自动测试机台1根据编辑器10对测试电路11产生测试信号121后，自动测试机台1对测试模块2连接的半导体装置100进行测试。在一实施例中，通过自动测试机台1的控制器12发送给测试模块2所连接的半导体装置100上，控制器12接收半导体装置100响应测试信号121的反馈测试信号，用于执行测试，而且自动测试机台1评估测试结果，自动测试机台1用于测试半导体装置100的集成电路或内部电路。
[0018]其中测试信号是以编辑器10对测试电路11产生而发出的第一控制测试信号和第二控制测试信号，对半导体装置100进行控制和测试。
[0019]其中，第一控制测试信号是对应第二控制测试信号相关的测试信号，而且第一控制测试信号和第二控制测试信号为测试的电信号。
[0020]其中，编辑器10可以是半导体自动测试机台的测试指令编辑器，予以产生测试指令对应的测试信号121。而且第一控制测试信号例如是设定测试参数而得出的，另外第二控制测试信号是对应于第一控制测试信号设定对应参数的参数内容而得出，但都不以此为限制。
[0021]在一实施例中，自动测试机台1为ATE测试机台，测试电路11可以为产生一种、先后两种或同时多种测试信号的电路，但不以此为限制。
[0022]在一实施例中，编辑器10可以配合自动测试机台1来读取并解析第一控制测试信号和第二控制测试信号。因此编辑器10进一步用于读取并解析第一控制测试信号的内容，并储存第一控制测试信号对于半导体装置100的测试内容，且编辑器10也可进一步用于读取并解析第二控制测试信号的内容，并储存第二控制测试信号对于半导体装置100的测试内容。
[0023]在一实施例中，编辑器10可包含编码、译码信号的功能电路，以读取并解析测试信号121，编辑器10也可以是可程序逻辑控制编辑器(programmabl本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体测试系统，其特征在于，包括：自动测试机台，所述自动测试机台设有编辑器、测试电路和控制器；以及测试模块，电性连接所述自动测试机台，所述自动测试机台控制所述测试模块进行测试；其中所述自动测试机台根据所述编辑器对所述测试电路产生测试信号后，所述自动测试机台对所述测试模块连接的半导体装置进行测试，由所述编辑器对所述测试电路产生所述测试信号后，通过所述自动测试机台的所述控制器发送给所述测试模块所连接的所述半导体装置上，所述控制器接收所述半导体装置响应所述测试信号的反馈测试信号，用于执行测试，所述自动测试机台用于测试所述半导体装置的集成电路或内部电路；其中，所述测试信号是以所述编辑器对所述测试电路产生而发出的第一控制测试信号和第二控制测试信号对所述半导体装置进行控制和测试；其中，所述第一控制测试信号和所述第二控制测试信号为测试的电信号。2.根据权利要求1所述的半导体测试系统，其特征在于，所述编辑器还用于读取并解析所述第一控制测试信号的内容，并储存所述第一控制测试信号对于所述半导体装置的测试内容，且所述编辑器还用于读取并解析所述第二控制测试信号的内容，并储存所述第二控制测试信号对于所述半导体装置的测试内容。3.根据权利要求1所述的半导体测试系统，其特征在于，当所述自动测试机台...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪秉龙，刘春生，詹淳帆，李世强，
申请(专利权)人：久元电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：