一种蒸镀设备及其挡板组件制造技术

本实用新型专利技术属于蒸镀设备技术领域，具体涉及一种蒸镀设备及其挡板组件，包括底座、坩埚、挡板组件和电子束发生装置，底座上开设有阶梯槽，底座于阶梯槽内一体成型有柱体，坩埚的中部开设有通孔，坩埚上开设有多个第一容纳槽，多个第一容纳槽内均固定安装有衬埚，挡板组件包括安装架，安装架上设有多个支架，支架上安装有挡板座，挡板座的下方固定安装有挡板，安装架的下方设有第一电机，柱体的顶部开设有安装槽，电子束发生装置固定安装于底座顶面，电子束发生装置与坩埚之间设有磁极。解决现有技术中多种金属废屑均被单个挡板收集，不便于回收利用；且混合的金属废屑容易掉落到金属源内，导致金属源被污染的问题。导致金属源被污染的问题。导致金属源被污染的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀设备及其挡板组件


[0001]本技术属于蒸镀设备
，尤其涉及一种蒸镀设备及其挡板组件。

技术介绍

[0002]目前市面上绝大多数E
‑
beam蒸镀设备都设置有挡板，通过挡板对熔源、预熔时所蒸发的金属分子进行收集，避免熔源、预熔时所蒸发的金属分子提前对晶片覆盖，影响晶片的质量。
[0003]但目前大多仅配置了单个挡板，在晶片需要蒸镀多种金属镀层的情况下，多种金属熔源、预熔时所蒸发的金属分子均被挡板收集，金属分子被挡板收集形成金属废屑，且挡板上收集的金属废屑为多种金属混合废屑，不便于回收利用；当挡板上收集的金属较多时，混合状态的金属废屑相对于纯金属废屑，混合状态的金属废屑容易从挡板上掉落，导致下方的金属源被污染。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术的目的是提供一种蒸镀设备及其挡板组件，解决现有技术中多种金属废屑均被单个挡板收集，不便于回收利用；且混合的金属废屑容易掉落到金属源内，导致金属源被污染的问题。
[0005]本技术通过以下技术手段解决上述技术问题：
[0006]一种蒸镀设备及其挡板组件，包括底座、坩埚、挡板组件和电子束发生装置，所述底座上开设有阶梯槽，所述底座于阶梯槽内一体成型有柱体，所述坩埚的中部开设有通孔，所述柱体插设于通孔内，所述坩埚转动安装于阶梯槽内，所述坩埚上开设有多个第一容纳槽，多个所述第一容纳槽内均固定安装有衬埚，所述挡板组件安装于坩埚上方，所述挡板组件包括安装架，所述安装架上设有多个支架，所述支架的数量与衬埚的数量相同，所述支架上安装有挡板座，所述挡板座的下方固定安装有挡板，所述安装架的下方设有第一电机，所述第一电机的输出轴与安装架固定连接，所述柱体的顶部开设有安装槽，所述第一电机固定安装于安装槽内，所述电子束发生装置固定安装于底座顶面，且所述电子束发生装置位于坩埚一侧，所述电子束发生装置与坩埚之间设有磁极。
[0007]进一步，所述挡板座于支架的一端设有连接盘，所述连接盘通过扭簧与支架转动连接，所述柱体顶部固定连接有调节盘，所述调节盘位于电子束发生装置的一侧，所述调节盘上一体成型有第一弧块和第二弧块，所述连接盘的底部一体成型有限位块，所述第一弧块位于限位块的内端，所述第二弧块位于限位块的外端。
[0008]进一步，所述底座的一侧开设有驱动槽，所述驱动槽内开设有槽口，所述安装槽通过槽口与阶梯槽连通，所述驱动槽内安装有第二电机，所述坩埚的底部固定连接有齿环，所述齿环位于阶梯槽内，所述第二电机的输出轴上固定连接有驱动齿，所述驱动齿与齿环啮合。
[0009]进一步，所述挡板座上开设有固定孔，所述挡板上一体成型有固定螺栓，所述固定
螺栓穿设于固定孔内，所述固定螺栓的末端螺纹连接有固定螺母。
[0010]进一步，所述底座的底部开设有第二容纳槽，所述第二容纳槽内安装有冷却水箱。
[0011]进一步，所述底座与驱动槽处设有检修盖。
[0012]本技术的有益效果：
[0013]1、本技术的一种蒸镀设备及其挡板组件，通过第一电机、安装架、挡板座和挡板，多块挡板与衬埚一一对应，当进行熔源、预熔时，每个挡板收集一种金属废屑，便于回收金属废屑，而且每个挡板上的金属废屑纯度高、量少，无需担心掉落在下发的金属源内，出现金属源被污染的情况。
[0014]2、通过连接盘上的限位块，以及调节盘上的第一弧块和第二弧块，当第一电机控制挡板旋离衬埚时，使得挡板座以连接盘的轴心线为旋转轴旋转30
°
，且将要旋转至衬埚上方的挡板，将会被第二弧块阻挡，使挡板座以连接盘的轴心线为旋转轴旋转
‑
30
°
，使旋离衬埚正上方和旋入衬埚正上方的挡板均向两侧展开，便于衬埚内蒸发的金属分子通过。
附图说明
[0015]图1是本技术一种蒸镀设备及其挡板组件的结构示意图；
[0016]图2是本技术一种蒸镀设备及其挡板组件坩埚剖面结构示意图；
[0017]图3是本技术一种蒸镀设备及其挡板组件中底座的结构示意图；
[0018]图4是本技术一种蒸镀设备及其挡板组件中底座的剖面结构示意图；
[0019]图5是本技术一种蒸镀设备及其挡板组件中挡板组件的结构示意图；
[0020]图6是本技术一种蒸镀设备及其挡板组件蒸镀时衬埚正上方挡板的结构示意图。
[0021]其中，底座1，阶梯槽11，柱体12，安装槽121，调节盘122，第一弧块123，第二弧块124，驱动槽13，槽口131，检修盖132，第二电机14，驱动齿141，第二容纳槽15，冷却水箱151，坩埚2，通孔21，第一容纳槽22，齿环23，挡板组件3，安装架31，支架311，第一电机32，电子束发生装置4，磁极41，衬埚5，挡板座6，连接盘61，限位块611，挡板7，固定螺栓71，固定螺母72。
具体实施方式
[0022]以下将结合附图和具体实施例对本技术进行详细说明：
[0023]如图1
‑
图6所示，本技术的一种蒸镀设备及其挡板组件3，包括底座1、坩埚2、挡板组件3和电子束发生装置4，底座1上开设有阶梯槽11，底座1于阶梯槽11内一体成型有柱体12，坩埚2的中部开设有通孔21，柱体12插设于通孔21内，坩埚2转动安装于阶梯槽11内，坩埚2上开设有多个第一容纳槽22，多个第一容纳槽22内均固定安装有衬埚5，衬埚5用于装填待蒸镀的金属源，不同衬埚5内放入不同的带蒸镀金属。电子束发生装置4固定安装于底座1顶面，且电子束发生装置4位于坩埚2一侧，电子束发生装置4与坩埚2之间设有磁极41。工作时，电子束发生装置4发出电子束，电子束通过磁极41偏转后打在衬埚5内，对衬埚5内的金属源进行熔源、预熔。转动坩埚2，使电子束发生装置4对不同衬埚5内的金属源进行蒸镀。挡板组件3安装于坩埚2上方，用于对熔源、预熔时所蒸发的金属分子进行收集。
[0024]挡板组件3包括安装架31，安装架31上设有多个支架311，支架311的数量与衬埚5
的数量相同，支架311上安装有挡板座6，挡板座6的下方固定安装有挡板7，本实施例中，安装架31、支架311和挡板座6均采用钨钢、钛钢等，具备良好的硬度和耐高温能力；本实施例中，挡板7为铝板，因为铝相对于其他金属来说，熔点更低，易于与其他金属分离，可以保证铝板上金属废屑的回收效果。
[0025]当进行预熔时，衬埚5内蒸发的金属分子被挡板7收集，并形成金属废屑。通过设置多个挡板7，每个挡板7对应一个衬埚5，使每个挡板7收集一种金属废屑。便于回收金属废屑，而且每个挡板7上的金属废屑纯度高、量少，无需担心掉落在下发的金属源内，出现金属源被污染的情况。
[0026]安装架31的下方设有第一电机32，第一电机32的输出轴与安装架31固定连接，柱体12的顶部开设有安装槽121，第一电机32固定安装于安装槽121内。第一电机32转动时，带动安装架31转动，从而对本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀设备及其挡板组件，其特征在于：包括底座、坩埚、挡板组件和电子束发生装置，所述底座上开设有阶梯槽，所述底座于阶梯槽内一体成型有柱体，所述坩埚的中部开设有通孔，所述柱体插设于通孔内，所述坩埚转动安装于阶梯槽内，所述坩埚上开设有多个第一容纳槽，多个所述第一容纳槽内均固定安装有衬埚，所述挡板组件安装于坩埚上方，所述挡板组件包括安装架，所述安装架上设有多个支架，所述支架的数量与衬埚的数量相同，所述支架上安装有挡板座，所述挡板座的下方固定安装有挡板，所述安装架的下方设有第一电机，所述第一电机的输出轴与安装架固定连接，所述柱体的顶部开设有安装槽，所述第一电机固定安装于安装槽内，所述电子束发生装置固定安装于底座顶面，且所述电子束发生装置位于坩埚一侧，所述电子束发生装置与坩埚之间设有磁极。2.根据权利要求1所述的一种蒸镀设备及其挡板组件，其特征在于：所述挡板座于支架的一端设有连接盘，所述连接盘通过扭簧与支架转动连接，所述柱体顶部固定连接有调节盘，所述调节盘位...

【专利技术属性】
技术研发人员：马晋渝，吴奇鸿，成飞，
申请(专利权)人：威科赛乐微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：