电子数据收集系统和数据建模方法技术方案

本发明专利技术公开了一种电子数据收集系统包括：数据表分类管理模块，用于对数据建模所需的所有后台表单进行分类并将各后台表单的类型分成两类，第一类后台表单都为运行时间数据表，第二类所述后台表单都为建模数据表。数据导入模块，用于导入所有后台表单。数据加载模块，用于加载所有后台表单中的所有建模数据表。第一数据验证模块，用于对加载的建模数据表进行第一次验证。第二数据验证模块，用于对完成第一次验证的建模数据表进行第二次验证。数据导出模块，用于将完成第二次验证的各建模数据表输出。本发明专利技术还公开了一种电子数据收集系统的数据建模方法。本发明专利技术能减少数据建模时间，提升数据建模效率，同时还能降低建模作业过程中的风险。风险。风险。

【技术实现步骤摘要】
电子数据收集系统和数据建模方法


[0001]本专利技术涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及一种电子数据收集系统(electronic data capture，EDC)，本专利技术还涉及一种电子数据收集系统的数据建模方法。

技术介绍

[0002]在半导体集成电路制造工厂的生产线上，通常是采用制造执行系统(Manufacturing Execution System，MES)进行工艺流程控制。当生产的产品不同时，工艺流程也会不同。不同的产品，需要在MES中建立对应的工艺流程模型，在实际生产过程中，产品的实际工艺流程会通过所建立的模型进行控制。故当生产线上要上新产品时或者需要对已经存在的产品工艺流程进行修改时，则需要进行相应的建模。
[0003]MES系统的建模中所需要的数据通常采用EDC进行收集并进行数据建模，EDC数据建模完成后会将数据输出到MES系统中并存储在MES系统中供MES系统使用。
[0004]EDC的数据建模包括数据导入、数据加载和2次数据验证。
[0005]在半导体集成电路制造中，完整的工艺流程的数据收集本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子数据收集系统，其特征在于，包括：数据表分类管理模块，用于对数据建模所需的所有后台表单进行分类并将各所述后台表单的类型分成两类，第一类后台表单都为运行时间数据表，第二类所述后台表单都为建模数据表；数据导入模块，用于导入所有所述后台表单；数据加载模块，用于加载所有所述后台表单中的所有所述建模数据表；第一数据验证模块，用于对加载的所述建模数据表进行第一次验证；第二数据验证模块，用于对完成所述第一次验证的所述建模数据表进行第二次验证；所述数据导出模块，用于将完成所述第二次验证的各所述建模数据表输出。2.如权利要求1所述的电子数据收集系统，其特征在于：所述数据导出模块的将各所述建模数据表输出到半导体集成电路制造中的MES系统或者SPACE系统中。3.如权利要求2所述的电子数据收集系统，其特征在于：所述数据建模的所有后台表单为所述半导体集成电路制造中一个完整的工艺流程中的所有数据表。4.如权利要求3所述的电子数据收集系统，其特征在于：所述MES系统或者SPACE系统对输入的所述建模数据表进行存储并根据所述建模数据表进行所述工艺流程的建模。5.如权利要求3所述的电子数据收集系统，其特征在于：所述数据建模所需的所有所述后台表单的数量的最大值达数千。6.如权利要求5所述的电子数据收集系统，其特征在于：所述数据建模所需的所有所述后台表单中，所述运行时间数据表的数量大于所述建模数据表的数量。7.一种电子数据收集系统的...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱燕萍，邵雄，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：