显示装置制造方法及显示装置制造方法及图纸

一显示装置制造方法，无须经高温处理且能使用具高性能与挠性的基板。具有二维排列的多个显示元件的主动矩阵型显示装置的制造方法中，主动元件材料（ＳＲ０～ＳＲ４）无须直接成膜于构成显示元件的基板（ＰＬ１）上，使用半导体等材料另外形成的，并将其分布于基板上，以形成主动元件。又，对于分布在非所要位置的主动元件材料，去除其导电性，避免发生非必要的导通。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及信息机器或家电制品所使用的2维显示装置，具体的讲是以液晶显示元件、电致变色显示元件等构成的2维显示装置及其制造方法。
技术介绍
作为2维显示装置的液晶显示器或电致变色显示器，是由2维排列的显示元件(像素)所构成。各显示元件的显示亮度等的控制可分为单纯矩阵式与主动矩阵式，从显示影像的对比等画质角度来看，主动矩阵式较佳，在大画面及高精细的2维显示装置中，以主动矩阵式为主流。主动矩阵方式必须对各显示元件分别形成薄膜晶体管或薄膜二极管等控制元件，以控制显示亮度等。各像素分别应显示的亮度等信息透过平行于显示元件的2维排列方向中的一个方向的多条信号线之一，传达至对应前述各像素的控制元件，进而传达至各像素之一。又，在使用薄膜晶体管的情形，亦在大致正交于前述信号线的方向上形成多条选择线。薄膜晶体管配置在前述信号线与选择线的各交点附近，各显示元件也配置在薄膜晶体管附近，即前述信号线与前述选择线的各交点附近。沿信号线之一透过薄膜晶体管(控制元件)而配置多数个显示元件。另一方面，各控制元件，透过与信号线正交而配置的选择线控制其导通或非导通，藉由选择线与控制元件的作用，于既定时间存在的信号线上的电气信号，仅能传达至一个显示元件。依既定时间依序变更选择的信号线，并与既定时间同步来变更各信号线上的明暗等显示信息使2维排列的各显示元件依序以既定的明暗显示。另一方面，未被选择线选取的控制元件呈非导通，仍维持储存在显示元件中的电气信号，并维持前述既定的明暗状态的显示。前述控制元件的薄膜晶体管在待形成显示元件的基板上，形成非晶质硅或多晶硅的薄膜，将非晶质硅或多晶硅一部分加工为薄膜晶体管。就控制元件而言，为取代现有的成膜于基板上的硅等半导体材料，而使用预形成的既定棒状的单晶等半导体材料。是将棒状的半导体材料配置在制造过程中的显示装置上，加工形成晶体管，以发挥前述控制元件的功能。如前述，在基板上形成多晶硅或非晶质硅薄膜，对多晶硅或非晶质硅薄膜一部分加工成薄膜晶体管以形成主动矩阵型的显示装置，该方法中，前述多晶硅或非晶质硅的成膜步骤必须具有热处理，能用于显示装置的基板材料仅局限于耐热性较佳的材料。用于显示装置的基板，至少用于表面的基板须为透明。因此，对基板既要求透明又要具耐热性，因而多采用高价的玻璃基板。此外，最近提出的使用前述棒状的半导体材料的方法中，已无须在半导体基板上直接形成多晶硅或非晶质硅薄膜，大幅缓和了对基板的耐热性要求。然而，尚难以将微细的棒状半导体材料正确配置于多个显示元件中的各个既定位置。因此，也可考虑如下方法在形成有多个显示像素或显示像素用的像素电极、及信号线的基板上，以随机撒布另外形成的数个棒状半导体材料等，仅将偶然排列在所要位置的棒状半导体材料加工成具备晶体管等的功能，以作为前述控制元件。通过前述方法，无须对基板施以高温处理即可在基板上形成高品质的半导体材料，以降低基板或整个工艺所耗成本。然而上述方法中，未配置在所要位置的棒状半导体材料在形成于基板上的多条信号线或多个像素电极中，会使原本彼此间不应导通的地方发生导通(短路)，难以制造无像素缺陷的显示装置。
技术实现思路
有鉴于上述现有技术中的问题，本专利技术的一专利技术目在于提供一显示装置的制造方法，以低成本制造无须对基板施以高温处理、且无像素缺陷的显示装置。本专利技术的另一专利技术目的在于，使用上述制造方法提供廉价的显示装置。以下内容中，附于本专利技术各要件的带括号符号，系对应于后述的本专利技术实施例的构成。然而，各符号仅是单纯表示各要件的示例，并未将各要件局限于该实施例的构成。本专利技术的显示装置制造方法，该显示装置系具有2维排列的复数个显示元件LC13、DC13，前述显示装置制造方法包含以下步骤(1)在构成该多个显示元件的至少一个基板PL1上形成多个像素电极C13等，像素电极可分别连接至多个显示元件；(2)在基板上形成多条信号线A03等，信号线A03将显示信息传达至多个显示元件；(3)使多个主动元件材料SR0、SR1、SR2、SR3等分布于基板上；(4)在主动元件材料中，将跨设于多条信号线中的既定信号线与多个像素电极中的既定像素电极而分布的主动元件材料SR0、SR1的至少一部分作成控制元件，其可控制该既定信号线与既定像素电极间的导电性；(5)对于该所要主动元件材料外的主动元件材料、亦即非所要主动元件材料的至少一部分，将其非所要导电性的至少一部分予以实质去除，该非所要导电性，系包含该复数条信号线彼此间的导电性、该复数条信号线与复数个像素电极间的导电性、或者是该复数个像素电极彼此间的导电性。依本专利技术，可将待传达至分别与基板(构成该显示装置)上所形成的复数个显示元件连接的复数个像素电极的信号，以有别于该基板而另外形成的主动元件材料所构成的控制元件来控制。亦即，无须在该基板上进行主动元件材料本身的成膜等，故而，随该成膜而对基板的高温处理可因此省略。因此，可采用耐热性较低的廉价基板，而谋求显示装置的低成本化。又，本专利技术的显示装置制造方法，由于亦包含以下步骤，亦即对于主动元件材料中，前述所要主动元件材料以外的非所要主动元件材料中至少一部分，将其非所要导电性的至少一部分予以实质去除，该非所要导电性，系包含该复数条信号线彼此间的导电性、该复数条信号线与复数个像素电极间的导电性、或是该复数个像素电极彼此间的导电性；故对于显示装置在设计上不欲导通的处，能避免非必要的导通(短路)状态，可防止发生显示像素的缺陷。因此，能制造无像素缺陷的显示装置。又，本专利技术中，前述复数个主动元件材料的分布步骤，可包含将该复数个主动元件材料随机分布于该基板上的步骤。又，本专利技术中，前述信号线，系以该像素电极的全周长1/4以上的长度配置成近接且围绕该像素电极。又，本专利技术的显示装置制造方法中，实质去除前述非所要主动元件材料的非所要导电性的步骤，包含去除该非所要主动元件材料的至少一部分的步骤。藉此，对于该基板上所形成的该复数个信号线彼此间的导电性、该复数个信号线与复数个像素电极间的导电性、或是该复数个像素电极彼此间的导电性，即非必要的导通能够予以防止，可防止发生显示像素缺陷。又，前述主动元件材料可包含棒状的半导体物质(SR0)。该棒状的半导体物质的一例可为硅。又，该棒状的半导体物质，可在其表面被覆绝缘膜(OX)。又，该棒状的半导体物质可为硅，其表面可被覆氧化硅以作为绝缘膜。再者，该棒状的半导体物质可使用n型或p型半导体。又，本专利技术的显示装置制造方法中，构成显示装置的基板上所形成的显示元件，可为透过型的显示元件(透过型元件)(LC13)。藉此，可制造透过型的显示装置。或者，本专利技术的显示装置制造方法中，构成显示装置的基板上所形成的显示元件，可为反射型的显示元件(反射型元件)(EC13)。藉此，可制造反射型的显示装置。又，前述的显示元件，举例而言，可为液晶显示元件、电泳型显示元件、电解析出型显示元件、或电致变色显示元件。又，本专利技术的显示装置制造方法中，以前述所要主动元件材料作成控制元件的步骤，可包含以该所要主动元件材料作为场效晶体管的步骤。藉此，可将待传达至分别与基板(构成该显示装置)上所形成的复数个显示元件连接的复数个像素电极的信号，藉由该场效晶体管所构成的控制元件来控制，而使该显示装置具高品质的显示效果。又，本专利技术的显示装本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示装置制造方法，显示装置具有二维排列的多个显示元件，其特征在于，包含以下步骤：在构成所述的多个显示元件的至少一个基板上形成多个像素电极，像素电极分别连接至所述的多个显示元件；在所述的基板上形成多条信号线，所述多条信号线将显示信息传达至所述的多个显示元件；使多个主动元件材料分布于所述的基板上；在所述的主动元件材料中，将所要主动元件材料（跨设于多条信号线中的既定信号线与多个像素电极中的既定像素电极而分布）的至少一部分作成控制元件，控制元件控制既定信号线与既定像素电极间的导电性；及对于所要主动元件材料外的主动元件材料、亦即非所要主动元件材料的至少一部分，将其非所要导电性的的至少一部分予以实质去除，非所要导电性包含多条信号线彼此间的导电性、多条信号线与多个像素电极间的导电性、或者是多个像素电极间的导电性。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2003-11-18 388457/2003;JP 2003-11-19 389385/2001.一种显示装置制造方法，显示装置具有二维排列的多个显示元件，其特征在于，包含以下步骤在构成所述的多个显示元件的至少一个基板上形成多个像素电极，像素电极分别连接至所述的多个显示元件；在所述的基板上形成多条信号线，所述多条信号线将显示信息传达至所述的多个显示元件；使多个主动元件材料分布于所述的基板上；在所述的主动元件材料中，将所要主动元件材料(跨设于多条信号线中的既定信号线与多个像素电极中的既定像素电极而分布)的至少一部分作成控制元件，控制元件控制既定信号线与既定像素电极间的导电性；及对于所要主动元件材料外的主动元件材料、亦即非所要主动元件材料的至少一部分，将其非所要导电性的的至少一部分予以实质去除，非所要导电性包含多条信号线彼此间的导电性、多条信号线与多个像素电极间的导电性、或者是多个像素电极间的导电性。2.如权利要求1所述的显示装置制造方法，其特征在于，多个主动元件材料的分布步骤包含将多个主动元件材料随机分布于基板上。3.如权利要求1所述的显示装置制造方法，其特征在于，信号线以像素电极的全周长1/4以上的长度配置成接近且围绕像素电极。4.如权利要求1所述的显示装置制造方法，其特征在于，信号线以像素电极的全周长1/4以上长度配置成近接且围绕像素电极，并且，在多个主动元件材料的分布步骤中，包含将多个主动元件材料随机分布于基板上。5.如权利要求1所述的显示装置制造方法，其特征在于，实质去除非所要主动元件材料的非所要导电性的步骤包含去除非所要主动元件材料的至少一部分。6.如权利要求1-5中任意一项权利要求所述的显示装置制造方法，其特征在于，主动元件材料为包含棒状的半导体物质。7.如权利要求6所述的显示装置制造方法，其特征在于，棒状半导体物质为硅。8.如权利要求6所述的显示装置制造方法，其特征在于，棒状半导体物质为硅，并且表面以氧化硅被覆。9.如权利要求1-5中任意一项权利要求所述的显示装置制造方法，其特征在于，显示元件为透过型元件。10.如权利要求1-5中任意一项权利要求所述的显示装置制造方法，其特征在于，显示元件为反射型元件。11.如权利要求1-5中任意一项权利要求所述的显示装置制造方法，其特征在于，显示元件为液晶显示元件。12.如权利要求1-5中任意一项权利要求所述的显示装置制造方法，其特征在于，显示元件为电泳型显示元件。13.如权利要求1-5中任意一项权利要求所述的显示装置制造方法，其特征在于，显示元件为电解析出型显示元件。14.如权利要求1-5中任意一项权利要求所述的显示装置制造方法，其特征在于，显示元件为电致变色显示元件。15.如权利要求1所述的显示装置制造方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：龟山雅臣，白石直正，
申请(专利权)人：尼康股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]