本发明专利技术能以低成本且容易的构成检测出致使基板（２０）损伤的异物（１５）的混入，从而将基板（２０）的损伤防患于未然。基板吸附装置（１）包括：具有用于保持基板（２０）的吸附面（１２）的工作台（１１）；设置在工作台（１１）的吸附面（１２）上的多个吸附口（１３）；以及通过排气通路（１７）与吸附口（１３）连接的真空泵（１４）。并且，包括检测排气通路（１７）内的压力的压力传感器（１８），在工作台（１１）的除设置吸附口（１３）的位置以外的区域形成有在工作台（１１）的吸附面（１２）和工作台（１１）的侧面都开放的多个泄漏槽（３０）。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种具有吸附保持基板的工作台的基板吸附装置及基板贴合装置，尤其是涉及用于防止因混入工作台和基板之间的异物而产生不良状况的措施。
技术介绍
一直以来，已知有相对平板状的工作台对作为处理对象的基板进行吸附、保持的基板吸附装置(例如参照专利文献1及专利文献2)。图12是概略表示基板吸附装置100的主要部分的立体图，图13是概略表示由一对基板吸附装置100相对配置而构成的基板贴合装置120的侧视图。如图12及图13所示，基板吸附装置100具有利用吸附面102吸附保持基板110的工作台101。在工作台101上形成有开设在吸附面102上的多个吸附口103。吸附口103例如分别设置在工作台101的四个角部上。另外，吸附口103通过排气通路107与真空泵104连接。这样，在工作台101的吸附面102上承载有基板110的状态下，驱动真空泵104，可吸附保持上述基板110。但是，若作为处理对象的基板110没有可靠地固定在工作台101上而产生移动的话，则不能高精度地对该基板110进行处理。因此，要求上述基板吸附装置100能可靠地吸附保持基板110。针对这种要求，在上述专利文献1中，在连接吸附口103和真空泵104的排气通路107上设置有压力计118。并且，在压力计118检测出的排气通路107内的压力比规定值大时，判断为基板110没有被可靠地吸附。另外，在上述专利文献2中虽省略图示，但在工作台的表面上形成多个吸附槽，且在各吸附槽的底部形成吸附口。并且，使各吸附槽内以时间差顺次产生真空力，从而抑制伴随吸附产生的基板的翘曲，防止真空力的泄漏。上述基板吸附装置100例如也可作为使一对基板贴合来制造液晶显示面板的基板贴合装置120使用。液晶显示面板一般包括设置有TFT等多个开关元件的TFT基板、设置有滤色镜等的对置基板、以及夹设在TFT基板和对置基板之间的液晶层。如图13所示，上述TFT基板及对置基板包括玻璃基板110、以及均匀地设置在玻璃基板110上的定向膜111。定向膜111用于规定上述液晶层的液晶分子的初始取向。并且，在分别吸附玻璃基板110的状态下，驱动上述各基板吸附装置100的工作台101彼此间靠近地加压，从而使TFT基板和对置基板贴合。此时，例如在TFT基板的定向膜111的表面上散布大量的衬垫112。衬垫112由球状粒子构成，用于使TFT基板和对置基板之间维持规定的间隔。但是，若在上述工作台101的吸附面102和玻璃基板110之间混入有废物或金属粒子等异物105，则如图14中的侧向剖视图所示，由于该异物105而使玻璃基板110局部变形为凸面状。结果是，玻璃基板110有可能被异物105损伤而造成产品不良。另外，若在夹着异物105的状态下使上述TFT基板和对置基板贴合，则如图15中的侧视图所示，会在夹着异物105的部分产生压力集中，存在定向膜111和玻璃基板110自身产生损伤的问题。因此，已知有使与玻璃基板中央区域(即显示区域)对应的工作台区域凹陷成凹状的技术(例如参照专利文献3)。即，如图16中的侧向剖视图所示，在工作台101的中央形成凹部101a。上述凹部101a的周围构成吸附面102，在该吸附面102上形成多个吸附口103。由此，如图16所示，即使在凹部101a内混入有异物105，也由于在凹部101a的底部和玻璃基板110之间存在规定的间隙，从而可避免异物105与玻璃基板110接触。专利文献1日本专利特开平11-288957号公报专利文献2日本专利特开平9-80404号公报专利文献3日本专利特开平10-268325号公报专利技术的公开专利技术所要解决的技术问题但是，在上述专利文献3的基板吸附装置中，若想针对大小不同的多个基板都能分别可靠地吸附，则必须根据各基板的大小改变凹部的大小。结果是，需要对应每一基板大小更换工作台，存在装置成本上升、且工作台的更换费事的问题。该问题对于以近年来面板尺寸扩大、变化增大的液晶显示面板为保持对象的基板吸附装置来说尤其显著。另外，在上述专利文献3中，当混入比凹部深度大的异物时，因为异物与基板接触，故也存在不能起到任何效果的问题。鉴于上述问题，本专利技术的目的在于提供一种能以低成本且容易的构成检测出致使基板损伤的异物的混入从而将基板的损伤防患于未然的吸附保持基板的基板吸附装置以及具有该基板吸附装置的基板贴合装置。用于解决技术问题的技术方案为了实现上述目的，在本专利技术中，设置有在工作台的吸附面和工作台的侧面都开放的多个泄漏槽。具体而言，本专利技术的基板吸附装置，包括具有用于保持基板的吸附面的工作台；设置在所述工作台的吸附面上的多个吸附口；以及通过排气通路与所述吸附口连接的减压单元，并且，包括检测所述排气通路的压力的压力检测单元，在所述工作台的除设置所述吸附口的位置以外的区域形成有在所述工作台的吸附面和该工作台的侧面都开放的多个泄漏槽。也可在所述排气通路上与所述多个吸附口对应地设置所述压力检测单元。也可在所述排气通路上与所述多个吸附口对应地设置所述压力检测单元、以及根据该压力检测单元检测出的压力状态对所述吸附口进行开闭的开闭机构。所述开闭机构最好构成为在所述压力检测单元没有检测出真空状态时将设置有该开闭机构的所述吸附口关闭。所述多个泄漏槽最好以格子状形成在工作台的吸附面上。所述吸附口最好配置在由形成为格子状的多个泄漏槽围住的各区域的中央位置。所述多个泄漏槽也能以条纹状形成在工作台的吸附面上。另外，本专利技术的基板贴合装置，具有两个上述基板吸附装置，所述基板吸附装置以工作台的吸附面彼此相对的形态配置，所述各工作台在分别吸附保持基板的状态下互相接近从而使所述各基板彼此间贴合。(作用)下面对本专利技术的作用进行说明。在由基板吸附装置吸附保持基板时，首先将基板承载在工作台的吸附面上。然后，驱动减压单元，将基板和吸附面之间的空气从吸附口通过排气通路排出。即，使基板和吸附面之间产生真空力。由此，基板吸附装置将基板吸附保持在工作台上的规定位置上。当在基板和吸附面之间混入有异物时，吸附在吸附面上的基板因上述异物而局部变形成凸面状。即，在异物周围的基板和吸附面之间产生规定的间隙。因为在上述间隙中吸附口和泄漏槽连通，因此间隙内的空气从吸附口排出，且从泄漏槽导入。结果是，在混入有异物时，由压力检测单元检测出的排气通路内的压力比没有混入异物时大。即，可根据压力检测单元检测出的压力大小来判别成为问题的异物是否混入在基板和吸附面之间。另外，在现有基板吸附装置中，如图14所示，即使混入有异物，基板也因弹性变形将吸附口气密性盖住，故即使设置压力检测单元，由压力检测单元检测出的压力也为一定值而与基板和吸附面之间有无异物无关，从而不能利用压力检测单元检测出异物的混入。因为对应排气通路的各吸附口地设置压力检测单元，可检测出从各吸附口排出的排气压力，故在异物混入在基板和吸附面之间时，可确定该异物的位置。另外，由于将开闭机构与上述压力检测单元一起对应排气通路的各吸附口地设置，故可根据压力状态对各吸附口进行开闭。尤其是在利用开闭机构将压力检测单元没有检测出真空状态的吸附口关闭时，该吸附口的泄漏停止。结果是，可利用检测出真空状态的其他吸附口可靠地保持基板。再者，由于将泄漏槽形成为格子状或条纹状，故可在吸附面上均等地检测出异物的混入。在本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种基板吸附装置，包括：具有用于保持基板的吸附面的工作台；设置在所述工作台的吸附面上的多个吸附口；以及通过排气通路与所述吸附口连接的减压单元，其特征在于， 包括检测所述排气通路的压力的压力检测单元， 在所述工作台的除设置所述吸附口的位置以外的区域形成有在所述工作台的吸附面和该工作台的侧面都开放的多个泄漏槽。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2004-1-16 009021/20041.一种基板吸附装置，包括具有用于保持基板的吸附面的工作台；设置在所述工作台的吸附面上的多个吸附口；以及通过排气通路与所述吸附口连接的减压单元，其特征在于，包括检测所述排气通路的压力的压力检测单元，在所述工作台的除设置所述吸附口的位置以外的区域形成有在所述工作台的吸附面和该工作台的侧面都开放的多个泄漏槽。2.如权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，在所述排气通路上与所述多个吸附口中的每个吸附口对应地设有所述压力检测单元。3.如权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，在所述排气通路上与所述多个吸附口中的每个吸附口对应地设有所述压力检测单元、以及根据该压力检测单元检测出的压...
【专利技术属性】
技术研发人员：三宅秀知，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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