【技术实现步骤摘要】
弹压装置、装片机
[0001]本申请及芯片封装的装片工艺,具体涉及一种弹压装置、装片机。
技术介绍
[0002]装片,又称DA(DieAttach)或DB(Die Bond),目的为将磨划切割好的芯片固定在框架上以便后续的工序作业。装片的作用包括:1使芯片和封装体之间产生牢靠的物理性连接,2在芯片或封装体之间产生传导性或绝缘性连接,3提供热量的传导及对内部应力的缓冲吸收。目前,实现装片工艺的设备称为装片机,装片的精度取决于芯片弹压装置,如图1所示,是现有技术中的一种弹压装置,其利用前端为弧形的弹性件对芯片进行压合,在上下压合的过程中,弹性件的弧形端所压合的位置随压合高度左右移动,也就是能够实现X轴和Y轴的精度调节,且调节范围较小。同时,由于该结构为一体结构,其弹性件的弹力固定的,因此无法针对不同产品做出调节。
[0003]故而,现有技术的缺陷在于:调节精度不高,以及不能适用于不同产品。
技术实现思路
[0004]本申请的目的在于克服现有技术的不足,提供一种弹压装置、装片机,解决现有技术中弹压装置调节精度不 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种弹压装置,其特征在于,包括:支撑部;固定于支撑部上的弹压单元;所述弹压单元包括安装座、连接部、压合部、活动轴以及调节部;所述安装座固定在所述支撑部上;所述连接部与安装座转动连接,连接部一端安装所述活动轴,所述活动轴垂直于连接部的转动面,活动轴可沿其轴向来回移动;所述压合部连接在活动轴的一端;所述调节部作用于连接部并提供弹力,使得连接部在弹力用下相对于安装座朝下,为所述压合部提供压合力,所述调节部的弹力强度可调。2.根据权利要求1所述的弹压装置,其特征在于,还包括一固定部,与所述支撑部固定连接,用于将弹压装置固定在装片机上。3.根据权利要求1所述的弹压装置,其特征在于,所述连接部通过一安装轴与所述安装座转动连接。4.根据权利要求1所述的弹压装置,其特征在于,所述调节部包括套筒、弹簧和螺栓;所述套筒连接在连接部上,弹簧位于套筒内并固定,螺栓穿过所述安装座与所述弹簧连接,通过调节螺栓改变所...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐银森,林毛毛,徐智浩,
申请(专利权)人:四川遂宁市利普芯微电子有限公司,
类型:新型
国别省市:
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