一种硅片制造用清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片制造用清洗装置，包括箱体，所述箱体的内腔下端设置有支撑过滤组件，所述箱体的左右两侧均设置有液压推杆，所述箱体的顶部设置有清洗机构，所述清洗机构包括空心横板，所述液压推杆的顶部动力伸缩端与空心横板相固接，所述空心横板的底部均匀固接有清洗板，所述清洗板的左右两侧壁均设置有柔性刷毛，所述空心横板的底部均匀开设有排水孔，且排水孔与柔性刷毛一一相对应，所述空心横板的右侧设置有进水管，所述箱体的左右两侧均设置有限位机构，所述箱体的左侧壁底部设置有排水管，本实用新型专利技术结构设计合理，便于对多组硅片同时进行清洗，提高清洗效率，且清洗彻底充分，减少灰尘脏污的遗漏残留。减少灰尘脏污的遗漏残留。减少灰尘脏污的遗漏残留。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片制造用清洗装置


[0001]本技术涉及硅片制造
，具体涉及一种硅片制造用清洗装置。

技术介绍

[0002]硅是极为常见的一种元素，然而它极少以单质的形式在自然界出现，而是以复杂的硅酸盐或二氧化硅的形式，广泛存在于岩石、砂砾、尘土之中，硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力，以硅片形成的微电子技术广泛运用于航空、航天、工业、农业和国防等领域。
[0003]目前在硅片制造加工过程中，其表面容易附着一些灰尘脏污，常用的处理方法多采用人工擦拭清洗，这样容易有灰尘脏污被遗漏，容易清洗不充分，且清洗效率不高，为此，我们提出一种硅片制造用清洗装置。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服现有技术中存在的上述问题，提供一种硅片制造用清洗装置，便于对多组硅片同时进行清洗，提高清洗效率，且清洗彻底充分，减少灰尘脏污的遗漏残留。
[0005]为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本技术是通过以下技术方案实现：
[0006]一种硅片制造用清洗装置，包括箱体，所述箱体的内腔下端设置有支撑过滤组件，所述箱体的左右两侧均设置有液压推杆，所述箱体的顶部设置有清洗机构，所述箱体的左右两侧均设置有限位机构，所述箱体的左侧壁底部设置有排水管。
[0007]优选地，上述用于硅片制造用清洗装置中，所述支撑过滤组件包括支撑横板，所述支撑横板的左右两端均卡接有槽座，所述槽座远离与支撑横板的一端与箱体相固接，所述支撑横板的顶部均匀开设有圆弧卡槽，所述圆弧卡槽的内腔左右两侧壁均设置有弹性塞垫，所述支撑横板的顶部左右两侧均设置有螺纹柱，且螺纹柱的底部活动贯穿支撑横板的底部与槽座的内腔底部相固接，所述螺纹柱上螺纹连接有六角法兰面锁紧螺母，通过六角法兰面锁紧螺母与螺纹柱的螺纹连接配合，便于对支撑横板在槽座上卡接后进一步的限位固定，且便于拆装。
[0008]优选地，上述用于硅片制造用清洗装置中，所述支撑横板的底部设置有盒体，所述盒体的内腔底部设置有承载过滤网，所述承载过滤网的顶部左右两侧均固接有横向L形板，所述横向L形板活动套接在螺纹柱上，且横向L形板位于支撑横板的底部，便于对支撑横板在槽座上限位的同时，也对横向L形板进行限位固定。
[0009]优选地，上述用于硅片制造用清洗装置中，所述清洗机构包括空心横板，所述液压推杆的顶部动力伸缩端与空心横板相固接，所述空心横板的底部均匀固接有清洗板，所述清洗板的左右两侧壁均设置有柔性刷毛，所述空心横板的底部均匀开设有排水孔，且排水孔与柔性刷毛一一相对应，所述空心横板的右侧设置有进水管，且进水管的右侧输入端通过导管与外部输水设备相连通，便于向空心横板中输送硅片清洗液。
[0010]优选地，上述用于硅片制造用清洗装置中，所述限位机构包括气缸，所述气缸的动力伸缩端伸入箱体的内腔，所述气缸伸入箱体内腔的动力伸缩端固接有纵向条板，所述纵向条板贴近箱体内腔中心处的一侧壁自前向后等间距设置有弹性限位垫，便于纵向条板对硅片限位时的柔性防护。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0012]本技术结构设计合理，一方面通过将多组硅片竖直插在支撑横板顶部均匀开设的圆弧卡槽中，然后在圆弧卡槽中通过弹性塞垫进行硅片左右两侧的阻尼限位，再通过气缸的伸缩调节带动纵向条板上的弹性限位垫对硅片前后两侧进行压紧，便于对多组硅片清洗前的限位；另一方面通过空心横板中充满清洗液，清洗液通过排水孔向柔性刷毛上输送，通过液压推杆的伸缩调节带动多组清洗板进行上下来回移动，通过相邻两组清洗板之间的两组柔性刷毛作用在一组硅片的左右两侧上，从而便于对多组硅片同时进行清洗，提高清洗效率，且清洗彻底充分，减少灰尘脏污的遗漏残留。
[0013]当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1为本技术的使用状态结构示意图一；
[0016]图2为本技术的使用状态结构示意图二；
[0017]图3为本技术的使用状态结构示意图三；
[0018]图4为本技术的支撑过滤组件的结构示意图；
[0019]图5为本技术的螺纹柱与槽座的连接状态示意图；
[0020]图6为本技术的圆弧卡槽的结构示意图；
[0021]图7为本技术的清洗机构的结构示意图；
[0022]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0023]1‑
箱体，2
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支撑过滤组件，201
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螺纹柱，202
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盒体，203
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承载过滤网，204
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圆弧卡槽，205
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弹性塞垫，206
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横向L形板，207
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六角法兰面锁紧螺母，208
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槽座，209
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支撑横板，3
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液压推杆，4
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清洗机构，401
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空心横板，402
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清洗板，403
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柔性刷毛，404
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排水孔，405
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进水管，5
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限位机构，501
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弹性限位垫，502
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纵向条板，503
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气缸，6
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排水管。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]请参阅图1
‑
7所示，一种硅片制造用清洗装置，包括箱体1，箱体1的内腔下端设置有支撑过滤组件2，支撑过滤组件2包括支撑横板209，支撑横板209的左右两端均卡接有槽
座208，槽座208远离与支撑横板209的一端与箱体1相固接，支撑横板209的顶部均匀开设有圆弧卡槽204，圆弧卡槽204的内腔左右两侧壁均设置有弹性塞垫205，支撑横板209的顶部左右两侧均设置有螺纹柱201，且螺纹柱201的底部活动贯穿支撑横板209的底部与槽座208的内腔底部相固接，螺纹柱201上螺纹连接有六角法兰面锁紧螺母207，通过六角法兰面锁紧螺母207与螺纹柱201的螺纹连接配合，便于对支撑横板209在槽座208上卡接后进一步的限位固定，且便于拆装，支撑横板209的底部设置有盒体202，盒体202的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片制造用清洗装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的内腔下端设置有支撑过滤组件(2)，所述箱体(1)的左右两侧均设置有液压推杆(3)，所述箱体(1)的顶部设置有清洗机构(4)，所述箱体(1)的左右两侧均设置有限位机构(5)，所述箱体(1)的左侧壁底部设置有排水管(6)。2.根据权利要求1所述的一种硅片制造用清洗装置，其特征在于：所述支撑过滤组件(2)包括支撑横板(209)，所述支撑横板(209)的左右两端均卡接有槽座(208)，所述槽座(208)远离与支撑横板(209)的一端与箱体(1)相固接，所述支撑横板(209)的顶部均匀开设有圆弧卡槽(204)，所述圆弧卡槽(204)的内腔左右两侧壁均设置有弹性塞垫(205)，所述支撑横板(209)的顶部左右两侧均设置有螺纹柱(201)，且螺纹柱(201)的底部活动贯穿支撑横板(209)的底部与槽座(208)的内腔底部相固接，所述螺纹柱(201)上螺纹连接有六角法兰面锁紧螺母(207)。3.根据权利要求2所述的一种硅片制造用清洗装置，其特征在于：所述支撑横板(209)的底部设置有盒体(202)，所述盒体(202)的内腔底部设置有承载过滤网(...

【专利技术属性】
技术研发人员：童祖春，
申请(专利权)人：上海芯尚电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：