下载一种硅片制造用清洗装置的技术资料

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本实用新型公开了一种硅片制造用清洗装置,包括箱体,所述箱体的内腔下端设置有支撑过滤组件,所述箱体的左右两侧均设置有液压推杆,所述箱体的顶部设置有清洗机构,所述清洗机构包括空心横板,所述液压推杆的顶部动力伸缩端与空心横板相固接,所述空心横板的...
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