一种载板传输机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种PVD载板传输机构，包括机架和用于为载板提供向上的力的磁性悬浮组件，所述机架在载板的两侧边部的位置设有传动组件，所述传动组件与载板的两侧边部接触带动载板传输，所述磁性悬浮组件设置于载板的下方。本实用新型专利技术的目的在于提供一种PVD载板传输机构，PVD载板的下方采用了悬浮磁铁组件以提供向上的悬浮力，从而减少传动组件的使用，简化载板传输机构的结构。简化载板传输机构的结构。简化载板传输机构的结构。

【技术实现步骤摘要】
一种载板传输机构


[0001]本技术涉及一种载板传输机构。

技术介绍

[0002]PVD全称为物理气相沉积，其溅射技术是制备薄膜材料的重要方法之一。太能能电池片生产过程中，PVD载板是PVD设备的重要部件，负责传送硅片进入PVD设备进行沉积，由于现有的PVD设备直接将PVD载板置于传动组件上，通过载板边框底面与传动组件之间的滑动摩擦力实现载板传动，会造成PVD载板底面划痕，产生金属粉尘。当制程腔内粉尘达到一定程度时，会降低电池片转化率及生产效率，甚至造成相关制程工艺失败；引起PVD载板使用寿命降低，相应提高了生产成本和维护成本。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种载板传输机构，PVD载板的下方采用了悬浮磁铁组件以提升向上的悬浮力，从而减少传动组件的使用，简化载板传输机构的结构。
[0004]本技术的目的通过如下技术方案实现：
[0005]本技术提供一种载板传输机构，其特征在于：包括机架和用于为载板提供向上的力的磁性悬浮组件，所述机架在载板的两侧边部的位置设有传动组件，所述传动组件与载板的两侧边部接触带动载板传输，所述磁性悬浮组件位于载板下方。
[0006]进一步的，所述磁性悬浮组件包括位于载板下方的随动磁铁和位于随动磁铁下方的悬浮磁铁，载板传输方向的下方设有安装座，所述悬浮磁铁设置于安装座上方，所述悬浮磁铁与随动磁铁同极相对。
[0007]进一步的，所述安装座具有向上方延伸的侧边，在所述侧边朝向随动磁铁的一侧设置纠偏磁铁，所述纠偏磁铁与所述随动磁铁同极相对。
[0008]进一步的，所述纠偏磁铁为相对于随动磁铁所在平面对称设置的两组磁铁。
[0009]进一步的，所述传动组件与载板接触的位置上具有导向槽，载板通过导向槽与传动组件接触。
[0010]进一步的，所述导向槽的截面为C型，所述传动组件位于导向槽之中。
[0011]较之现有技术而言，本技术的优点在于：
[0012](1)本技术在PVD载板的下方增设磁性悬浮组件如磁铁，通过磁铁同极相斥的原理，在PVD载板输送过程中提供必要的向上的支撑力，可取消部分载板下方的传动组件，简化设备传送结构，避免载板底部摩擦，提高载板使用寿命，降低生产成本和维护成本。
[0013](2)本技术在PVD载板的沿着传输方向的两侧边部设计导向槽，导向槽可设计为截面C型的结构，底部可以承接传动组件摩擦产生的粉尘，且不易沉积于制程腔体内，避免制程工艺失败，提高电池片转化率及提高生产效率，减少维护时间。
附图说明
[0014]图1是本技术的结构示意图。
[0015]标号说明：1、制程腔体，2、载板，3、传动组件，4、随动磁铁，5、悬浮磁铁，6、安装座，7、纠偏磁铁，8、导向槽，9、磁流体。
具体实施方式
[0016]下面结合说明书附图和实施例对本
技术实现思路
进行详细说明：
[0017]如图1所示为本技术提供的一种载板传输机构的实施例示意图。
[0018]一种载板传输机构，它包括机架和用于为载板2提供向上的力的磁性悬浮组件，所述机架在载板2的两侧边部的位置设有传动组件3，所述传动组件3与载板2的两侧边部接触带动载板2传输，所述磁性悬浮组件位于载板2下方。所述机架是载板传输机构的框架的总称，
[0019]现有技术中的PVD载板输送机构，通常是将载板2直接置于传动组件3上，载板2底面与多个传动组件3接触，依靠载板2和传动组件3之间的滑动摩擦力，实现载板2的传动。这样的方法容易造成载板2底面划痕，且由于摩擦产生金属粉尘,当制程腔体1内粉尘达到一定程度时，会降低电池片转化率及生产效率，甚至造成相关制程工艺失败，也会导致载板2使用寿命降低，使生产成本和维护成本提高。
[0020]跟现有技术相比，本技术提供的实施方式是在载板2的下方用磁性悬浮组件给载板2提供向上悬浮的力，可取消部分载板2下方的传动组件3，简化设备传送结构，避免载板2底部跟传动组件3的摩擦，提高载板2使用寿命，降低生产成本和维护成本。
[0021]本技术中提及的磁铁，可以是永生磁铁，也可以是间接产生磁场的电磁元件。
[0022]在图1的实施方式中，所述磁性悬浮组件使用的是磁铁，具体的，包括位于载板2下方的随动磁铁4和位于随动磁铁4下方的悬浮磁铁5，所述随动磁铁4是沿着载板2传输方向设置的，可以是连续的或不连续的磁铁组，跟随载板2一起运动。所述随动磁铁可以通过一个螺栓或采取其他的方式固定在载板2下方，所述悬浮磁铁5固定设置在安装座6的上方，安装座6是固定安装在制程腔体1的下部内表面的，所述悬浮磁铁5与随动磁铁4同极相对，由于磁铁的同极相斥，因而产生向上的力。
[0023]在另一种实施方式中，所述随动磁铁4可以是多组，对称设置在悬浮磁铁5所在平面的两侧，多组随动磁铁4共同为载板2提供向上的合力。
[0024]由于载板2是被传动组件3带动传向前的，在传输的过程中不可避免地会出现偏离的情况，为了改善载板2传输偏离的情况，可以将安装座6设计成具有向上方延伸的侧边，例如图1中的截面为U型的设计。在安装座6所述侧边朝向随动磁铁4的一侧设置纠偏磁铁7，安装座的6两侧边可设置相对于随动磁铁4所在平面对称的两组纠偏磁铁7，两组纠偏磁铁7与所述随动磁铁4同极相对。同样由于同极相斥的力，将载板2保持在整个传动方向的中间，改善偏离的情况。
[0025]进一步的，所述传动组件3与载板2接触的位置上具有导向槽8，载板2通过导向槽8与传动组件3接触。导向槽8的设计起到支撑载板2以及一定的限位作用。
[0026]进一步的，所述导向槽8的截面优选为C型，所述传动组件3位于导向槽8之中。如此导向槽8便可以承接载板2两侧底部与传动组件3摩擦产生的粉尘，且粉尘被留在导向槽8
内，而不易沉积于制程腔体1内，避免对制程工艺产生影响，提高电池片转化率及提高生产效率，减少维护时间。
[0027]本技术中的传输组件3可以使用传动辊、传送带、电机驱动等方式。
[0028]以上所述仅为本技术中优选实施例，并非因此限制本技术的专利范围。
[0029]显然，本领域的技术人员可以对技术进行各种改动和变型而不脱离本技术的精神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变型在内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种载板传输机构，其特征在于：它包括机架和用于为载板提供向上的力的磁性悬浮组件，所述机架在载板的两侧边部的位置设有传动组件，所述传动组件与载板的两侧边部接触带动载板传输，所述磁性悬浮组件设置于载板的下方。2.根据权利要求1所述的一种载板传输机构，其特征在于：所述磁性悬浮组件包括设置于载板下方的随动磁铁和位于随动磁铁下方的悬浮磁铁，载板传输方向的下方设有安装座，所述悬浮磁铁设置于安装座上方，所述悬浮磁铁与随动磁铁同极相对。3.根据权利要求2所述的一种载板传输机构，其特征在于：所述安装座具...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪鹏玉，张建德，郭礼贤，
申请(专利权)人：福建金石能源有限公司，
类型：新型
国别省市：