一种用于芯片制造的固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及芯片制造用装置技术领域，具体是指一种用于芯片制造的固定装置。包括固定台本体，固定台本体顶部设有放置槽，放置槽的两侧均设有两个固定柱，固定柱的顶部转动连接有固定板，固定柱靠近放置槽的一侧设有两个支撑柱，支撑柱顶部设有调节杆，调节杆顶部与固定板底部端面活动连接，放置槽底部中间开设有通槽，通槽内设有抽气泵二，抽气泵二顶部连接有吸盘，抽气泵二底部连接有排气管二，排气管二贯通连接有集尘室，集尘室设置在通槽底部，集尘室一侧贯通连接有通风管，通风管上连接有抽气泵一，通风管的另一端设置在放置槽的一侧。该实用新型专利技术使用简单方便，除尘效果好。除尘效果好。除尘效果好。

【技术实现步骤摘要】
一种用于芯片制造的固定装置


[0001]本技术涉及芯片制造用装置
，具体是指一种用于芯片制造的固定装置。

技术介绍

[0002]常见的芯片生产用固定装置固定不稳，容易造成芯片脱落造成芯片的损坏。

技术实现思路

[0003]本技术针对上述问题提供了一种用于芯片制造的固定装置。
[0004]本技术所采用的技术方案为：一种用于芯片制造的固定装置，其特征在于：包括固定台本体，所述固定台本体顶部设有放置槽，所述放置槽的两侧均设有两个固定柱，所述固定柱的顶部转动连接有固定板，所述固定柱靠近放置槽的一侧设有两个支撑柱，所述支撑柱顶部设有调节杆，所述调节杆顶部与固定板底部端面活动连接，所述放置槽底部中间开设有通槽，所述通槽内设有抽气泵二，所述抽气泵二顶部连接有吸盘，所述抽气泵二底部连接有排气管二，所述排气管二贯通连接有集尘室，所述集尘室设置在通槽底部，所述集尘室一侧贯通连接有通风管，所述通风管上连接有抽气泵一，所述通风管的另一端设置在放置槽的一侧。
[0005]所述固定板两端均设有旋转杆，所述旋转杆穿设于固定柱内。
[0006]所述调节杆包括杆一、杆二和杆三，所述杆一的底部与支撑柱顶部端面活动连接，所述杆一顶部活动连接有杆二，所述杆二与固定板的底部端面活动连接，所述杆三铰接在杆一与杆二的连接处，所述杆三为两个固定端相连的伸缩杆，所述伸缩杆的固定端底部固定连接有升降筒，所述升降筒底部与放置槽底部固定连接。
[0007]所述通槽底部设有单向防尘网二，所述排气管二贯穿单向防尘网二。
>[0008]所述通风管的一端设有排气管一，所述排气管一贯通连接通风管与集尘室。
[0009]所述通风管一端设有单向防尘网一，所述单向防尘网一上设有供排气管一穿设的孔，所述通风管靠近放置槽的一端端口设有多个通风孔。
[0010]所述固定板的底部设有橡胶垫一，所述吸盘顶部设有橡胶垫二。
[0011]所述集尘室内设有导流板，所述导流板设置在排气管一的一侧。
[0012]本技术的有益效果：
[0013]本技术整体结构简单。一种用于芯片制造的固定装置，通过调节杆之间的配合实现固定板的旋转，从而实现将芯片固定在放置槽。
[0014]通过吸盘将芯片吸住固定，通过抽气泵一和抽气泵二实现无死角的将灰尘抽走，通过集尘室将灰尘收集便于集中清理，通过导流板防止排气管一之间排出的风互相影响导致影响除尘效果。
[0015]通过橡胶垫一起到缓冲和保护芯片的作用，防止压坏芯片，通过橡胶垫二起到密封作用，防止吸盘吸芯片时漏气导致芯片松动。
附图说明
[0016]图1为本技术一种用于芯片制造的固定装置的整体结构示意图。
[0017]图2为本技术一种用于芯片制造的固定装置的俯视图。
[0018]图3为本技术一种用于芯片制造的固定装置的杆三连接结构示意图。
[0019](1、固定台本体；2、固定柱；3、固定板；3.1、橡胶垫一；4、支撑柱；4.1、调节杆；4.11、杆一；4.12、杆二；4.13、杆三；4.2、升降筒；5、通风管；5.1、抽气泵一；5.2、排气管一；5.3、单向防尘网一；5.4、通风孔，6、导流板；7、吸盘；7.1、橡胶垫二；7.2、抽气泵二；7.3、排气管二；7.4、单向防尘网二；8、集尘室；9、放置槽)
具体实施方式
[0020]下面结合附图对本技术作进一步说明。
[0021]为了解决常见的芯片生产用固定装置固定不稳，容易造成芯片脱落造成芯片的损坏的问题，本技术提供一种如图所示的一种用于芯片制造的固定装置，其特征在于：包括固定台本体1，所述固定台本体1顶部设有放置槽9，所述放置槽9的两侧均设有两个固定柱2，所述固定柱2的顶部转动连接有固定板3，所述固定板3靠近放置槽9的一侧设有两个支撑柱4，所述支撑柱4顶部设有调节杆4.1，所述调节杆4.1顶部与固定板3底部端面活动连接，所述放置槽9底部中间开设有通槽，所述通槽内设有抽气泵二7.2，所述抽气泵二7.2顶部连接有吸盘7，所述抽气泵二7.2底部连接有排气管二7.3，所述排气管二7.3贯通连接有集尘室8，所述集尘室8设置在通槽底部，所述集尘室8一侧贯通连接有通风管5，所述通风管5上连接有抽气泵一5.1，所述通风管5的另一端设置在放置槽9的一侧。
[0022]本技术中所述固定板3两端均设有旋转杆，所述旋转杆穿设于固定柱2内。
[0023]本技术中所述调节杆4.1包括杆一4.11、杆二4.12和杆三4.13，所述杆一4.11的底部与支撑柱4顶部端面活动连接，所述杆一4.11顶部活动连接有杆二4.12，所述杆二4.12与固定板3的底部端面活动连接，所述杆三4.13铰接在杆一4.11与杆二4.12的连接处，所述杆三4.13为两个固定端相连的伸缩杆，所述伸缩杆的固定端底部固定连接有升降筒4.2，所述升降筒4.2底部与放置槽9底部固定连接，便于防止杆三4.13发生移动。
[0024]本技术中所述通槽底部设有单向防尘网二7.4，所述排气管二7.3贯穿单向防尘网二7.4。
[0025]本技术中所述通风管5的一端设有排气管一5.2，所述排气管一5.2贯通连接通风管5与集尘室8。
[0026]本技术中所述通风管5一端设有单向防尘网一5.3，所述单向防尘网一5.3上设有供排气管一5.2穿设的孔，所述通风管5靠近放置槽9的一端端口设有多个通风孔5.4。
[0027]本技术中所述固定板3的底部设有橡胶垫一3.1，所述吸盘7顶部设有橡胶垫二7.1。
[0028]本技术中所述集尘室8内设有导流板6，所述导流板6设置在排气管一5.2的一侧。
[0029]本实施列的一种用于芯片制造的固定装置，通过调节杆4.1之间的配合实现固定板3的旋转，从而实现将芯片固定在放置槽9。通过吸盘7将芯片吸住固定，通过抽气泵一5.1和抽气泵二7.2实现无死角的将灰尘抽走，通过集尘室8将灰尘收集便于集中清理，通过导
流板6防止排气管一5.2之间排出的风互相影响导致影响除尘效果。通过单向防尘网一5.3和单向防尘网二7.4防止进入到集尘室8内的灰尘重新回到通风管5，引起灰尘回流。通过橡胶垫一3.1起到缓冲和保护芯片的作用，防止压坏芯片，通过橡胶垫二7.1起到密封作用，防止吸盘7吸芯片时漏气导致芯片松动。
[0030]使用时，将启动抽气泵一5.1和抽气泵二7.2将灰尘清除并带入集尘室8，将无尘芯片放置在放置槽9内，通过启动杆三4.13使其缩短从而推动杆一4.11与杆二4.12之间发生活动实现固定板3的下降，从而使橡胶垫一3.1压在芯片上，之后即可进行芯片的制备工艺工作，制备结束后通过杆三4.13的伸长使杆一4.11与杆二4.12之间发生反向活动从而实现固定板3的升起，即可取出芯片，将集尘室8内的灰尘取出即可，单向防尘网一5.3和单向防尘网二7.4可防止由于灰尘质量轻容易乱飞，再将其吹走后又飞回来的情况。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于芯片制造的固定装置，其特征在于：包括固定台本体(1)，所述固定台本体(1)顶部设有放置槽(9)，所述放置槽(9)的两侧均设有两个固定柱(2)，所述固定柱(2)的顶部转动连接有固定板(3)，所述固定板(3)靠近放置槽(9)的一侧设有两个支撑柱(4)，所述支撑柱(4)顶部设有调节杆(4.1)，所述调节杆(4.1)顶部与固定板(3)底部端面活动连接，所述放置槽(9)底部中间开设有通槽，所述通槽内设有抽气泵二(7.2)，所述抽气泵二(7.2)顶部连接有吸盘(7)，所述抽气泵二(7.2)底部连接有排气管二(7.3)，所述排气管二(7.3)贯通连接有集尘室(8)，所述集尘室(8)设置在通槽底部，所述集尘室(8)一侧贯通连接有通风管(5)，所述通风管(5)上连接有抽气泵一(5.1)，所述通风管(5)的另一端设置在放置槽(9)的一侧。2.根据权利要求1所述的一种用于芯片制造的固定装置，其特征在于：所述固定板(3)两端均设有旋转杆，所述旋转杆穿设于固定柱(2)内。3.根据权利要求1所述的一种用于芯片制造的固定装置，其特征在于：所述调节杆(4.1)包括杆一(4.11)、杆二(4.12)和杆三(4.13)，所述杆一(4.11)的底部与支撑柱(4)顶部端面活动连接，所述杆一(4.11)顶部活动连接有杆二(4.12)，所述杆二(4....

【专利技术属性】
技术研发人员：李玉溪，
申请(专利权)人：非扬芯片研发控股深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：