具有压电块的微机电装置的制作方法制造方法及图纸

描述了具有压电驱动器（１０４）的结构的微机电系统。各个驱动器包括由主体（２００）支撑的压电岛。该压电岛部分地通过下述步骤形成：在压电材料厚层内形成切口（１４５），将该切割的压电层（１０７）附着到具有蚀刻特征的所述主体（２００），以及将该压电层研磨至小于切口（１４０）深度的厚度。导电材料（１５８、２１０）可以形成于压电层上以形成电极（１０６、１１２）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及形成用于微机电装置的压电驱动器。
技术介绍
在受到机械应力时，压电材料可以产生电或电极性。备选地，对压电材料施加电压可以导致逆压电性，即，压电材料在被施加电压时机械形变。逆压电性可以导致压电材料内极高的弯曲力。产生电和逆压电性这两个性能都被约束以用于电子和机械装置，例如诸如驱动器和传感器的换能器。包括驱动器和传感器的组合的多个换能器可以组合在一起成为微机电系统(MEMS)。MEMS通常具有使用常规半导体工艺技术形成于半导体衬底内的机械结构。MEMS可包括单个结构或多个结构。MEMS具有电学元件，其中电学信号激励各个电学元件，或者由MEMS各个结构内的驱动产生。MEMS的一个实施包括主体，该主体内形成有腔体，以及形成于该主体外表面上的压电驱动器。压电驱动器具有一层压电材料，例如陶瓷，以及用于传输电压的元件，例如电极。压电驱动器的电极可以对压电材料施加电压，或者传输当压电材料变形时产生的电压。具有压电驱动器的一种类型的MEMS为微流体喷射装置。驱动器可包括压电材料，该压电材料可以被电极驱动，导致压电材料朝装置的腔体变形。这种变形的驱动器对腔体施加压力，导致腔体内的流体例本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微机电装置，包括：具有多个腔体的主体；由所述主体支撑的多个压电岛，其中各个所述压电岛具有第一表面、与所述第一表面相对的第二表面、以及与所述第一和第二表面相交的第三平面表面；以及在所述第一表面上的导电材料以及在所述 压电岛第二表面上的导电材料，其中至少一个所述多个压电岛置为基本上毗邻所述多个腔体的相应腔体，其中至少一个所述压电岛具有在所述第三表面上的导电材料，所述第三表面上的导电材料电学接触在第一和第二表面上的导电材料。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2004-10-15 10/967,0731.一种微机电装置，包括具有多个腔体的主体；由所述主体支撑的多个压电岛，其中各个所述压电岛具有第一表面、与所述第一表面相对的第二表面、以及与所述第一和第二表面相交的第三平面表面；以及在所述第一表面上的导电材料以及在所述压电岛第二表面上的导电材料，其中至少一个所述多个压电岛置为基本上毗邻所述多个腔体的相应腔体，其中至少一个所述压电岛具有在所述第三表面上的导电材料，所述第三表面上的导电材料电学接触在第一和第二表面上的导电材料。2.权利要求1所述的装置，其中所述压电岛具有角度约为90度的拐角。3.权利要求1所述的装置，其中所述至少一个压电岛的第一表面毗邻所述主体且所述第一表面上的导电材料提供第一电极；以及所述压电岛的第二表面支撑导电材料的两个部分，其中第一部分提供第二电极，第二部分通过所述第三表面上的导电材料而电学连接到所述第一电极。4.权利要求3所述的装置，其中所述第一部分与第二部分不电学接触。5.权利要求1所述的装置，其中所述主体支撑覆盖所述多个腔体的隔膜；所述压电岛由所述隔膜支撑；所述主体具有介于所述多个腔体的各个腔体之间的壁；以及所述隔膜具有与所述多个腔体相对的表面，该表面基本上没有与壁基本上对准的压痕。6.权利要求1所述的装置，其中各个压电岛具有与其他压电岛电学隔离的至少一个电极。7.权利要求1所述的装置，其中各个压电岛与其他压电岛物理隔离。8.权利要求1所述的装置，其中所述多个腔体具有尺寸基本上均匀的腔体且所述多个腔体的腔体具有第一宽度；以及所述压电岛具有大于腔体的所述第一宽度的第二宽度。9.权利要求8所述的装置，其中所述压电岛的第一表面毗邻所述主体；以及所述压电岛的第二表面上的导电材料具有小于压电岛第二宽度的第三宽度。10.权利要求1所述的装置，其中所述多个腔体的各个腔体敞开至外部环境以喷射流体。11.权利要求1所述的装置，还包括至少100个压电岛，分别具有约25至200微米之间的宽度，其中所述压电岛的厚度差异约等于或小于2微米。12.权利要求1所述的装置，还包括所述导电材料和所述主体之间的粘合剂。13.权利要求1所述的装置，其中所述第三表面基本上垂直于所述第一和第二表面。14.权利要求1所述的装置，其中所述第一、第二和第三表面基本上是平面的。15.一种微机电装置，包括具有多个腔体的主体；提供多个换能器的换能器层，各个换能器置为基本上毗邻所述多个腔体的相应腔体，各个换能器包括由所述主体支撑的压电岛，其中所述压电岛由第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面界定，所述第一和第二表面基本上是平面的，且所述第一表面基本上平行于第二表面；以及所述换能器层和所述主体之间的结合层。16.权利要求15所述的装置，其中所述主体具有平面表面，以及所述换能器层在所述主体的平面表面上。17.权利要求16所述的装置，其中第一压电岛不直接接触第二压电岛，以及各个压电岛具有基本上平面的第三表面和基本上平面的第四表面，其中所述第三和第四表面垂直于所述主体的平面表面。18.一种形成具有压电换能器的装置的方法，包括在压电材料主体的第一表面内形成第一凹形，所述第一凹形具有第一深度和壁...

【专利技术属性】
技术研发人员：安德列亚斯拜布尔，约翰A希金森，
申请(专利权)人：富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]