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描述了具有压电驱动器（１０４）的结构的微机电系统。各个驱动器包括由主体（２００）支撑的压电岛。该压电岛部分地通过下述步骤形成：在压电材料厚层内形成切口（１４５），将该切割的压电层（１０７）附着到具有蚀刻特征的所述主体（２００），以及将该压电...该专利属于富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司授权不得商用。
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描述了具有压电驱动器（１０４）的结构的微机电系统。各个驱动器包括由主体（２００）支撑的压电岛。该压电岛部分地通过下述步骤形成：在压电材料厚层内形成切口（１４５），将该切割的压电层（１０７）附着到具有蚀刻特征的所述主体（２００），以及将该压电...