具有多重导线结构的螺旋电感元件制造技术

技术编号:3182046 阅读:224 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种具有多重导线结构的螺旋电感元件,其包括:一多匝的第一螺旋导线及至少一单匝的第二螺旋导线。第一螺旋导线设置于位于一基底上的一绝缘层内,其中第一螺旋导线的最外匝及最内匝导线部分别具有一第一端及一第二端,且其中一端连接至一接地端。第二螺旋导线设置于绝缘层内且平行第一螺旋导线,其中第二螺旋导线与连接至接地端的该匝导线部并接,以形成多重导线结构。本发明专利技术所述的具有多重导线的螺旋电感元件,可降低导体损失而改善电感品质因素,同时维持可用的频率范围。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术有关于一种半导体集成电路,特别是有关于一种具有多重导线结构的芯片内建电感元件(on-chip inductor)。
技术介绍
许多数字及模拟部件及电路已成功地运用于半导体集成电路。上述部件包含了被动元件,例如电阻、电容或电感等。典型的半导体集成电路包含一硅基底。一层以上的介电层设置于基底上,且一层以上的金属层设置于介电层中。这些金属层可通过已知的半导体制程技术而形成芯片内建部件,例如芯片内建电感元件。传统上,芯片内建电感形成于基底上且运用于射频频带(radio frequency band)集成电路设计。请参照图1A及图1B,其中图1A绘示出一已知具有平面螺旋结构的芯片内建电感元件平面示意图,而图1B则绘示出沿图1A中1B-1B’线的剖面示意图。芯片内建电感元件形成于一基底100上方的介电层104中,其包括一螺旋导线103及一内连线结构。螺旋导线103嵌入于介电层104中。内连线结构包括嵌入于一介电层102中的导电插塞105及109及一连接部107与嵌入于介电层104中的信号输出/输入部111。介电层102设置于介电层104与基底100之间,而螺旋导线103通过导电插塞本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有多重导线结构的螺旋电感元件,其特征在于,包括:一绝缘层,设置于一基底上;一第一螺旋导线,其为多匝的,设置于该绝缘层内,其中该第一螺旋导线的最外匝导线部分及最内匝导线部分别具有一第一端及一第二端,且其中一端连接至一接地 端;以及一第二螺旋导线,其为单匝的,设置于该绝缘层内且平行该第一螺旋导线,其中该第二螺旋导线电性并联于该第一螺旋导线的该第一端及该第二端中接地的一端所连接的该匝导线部;其中,该第一螺旋导线具有外侧和内侧,该第一端及该第二端中 接地的一端和该第二螺旋导线分别位于不同侧。

【技术特征摘要】
1.一种具有多重导线结构的螺旋电感元件,其特征在于,包括一绝缘层,设置于一基底上;一第一螺旋导线,其为多匝的,设置于该绝缘层内,其中该第一螺旋导线的最外匝导线部分及最内匝导线部分别具有一第一端及一第二端,且其中一端连接至一接地端;以及一第二螺旋导线,其为单匝的,设置于该绝缘层内且平行该第一螺旋导线,其中该第二螺旋导线电性并联于该第一螺旋导线的该第一端及该第二端中接地的一端所连接的该匝导线部;其中,该第一螺旋导线具有外侧和内侧,该第一端及该第二端中接地的一端和该第二螺旋导线分别位于不同侧。2.根据权利要求1所述的具有多重导线结构的螺旋电感元件,其特征在于,该第一端连接至该接地端且该第一螺旋导线围绕该第二螺旋导线。3.根据权利要求1所述的具有多重导线结构的螺旋电感元件,其特征在于,该第二端连接至该接地端且该第二螺旋导线围绕该第一螺旋导线。4.根据权利要求1所述的具有多重导线结构的螺旋电感元件,其特征在于,该第一端耦接至该第二螺旋导线的一对应端,或该第二端耦接至该第二螺旋导线的一对应端。5.根据权利要求1所述的具有多重导线结构的螺旋电感元件,其特征在于,该第一螺旋导线及该第二螺旋导线的外形为圆形、矩形、六边形、八边形或多边形。6.一种具有多重导线结构的螺旋电感元件,其特征在于,包括一绝缘层,设置于一基底上;一第一螺旋导线,其为多匝的,设...

【专利技术属性】
技术研发人员:李胜源
申请(专利权)人:威盛电子股份有限公司
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

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