以往，在半导体晶片的缺陷（裂纹或异物等）的检查中，当用照相机拍摄透过半导体晶片的红外光、并用该摄像图像进行检查时，由于从被检查物的外侧泄漏出来的光的原因，照相机产生光晕，结果不能检查被检查体的周边部分。本发明专利技术用红外光源（３）照射被检查体（１），用红外线照相机（６）拍摄透过了被检查体（１）的光，并进行被检查体的检查。通过采用距被检查体的周围有微小量的间隙（１０）的掩模机构（８），便可以检查被检查物的周边部分。另外，通过采用多组支撑被检查体（１）的机构可以分别退避的构成的部件，并使其交替退避，就可以检查全部。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及拍摄像半导体晶片那样的板状、且透过红外光的被检查体的图像，并从该图像检查缺陷的图像检查方法以及图像检查装置的改良。
技术介绍
有检查半导体晶片和液晶面板等板状的透明或半透明体的缺陷(裂纹或异物的附着)的装置。在本专利技术的说明中，虽然为了说明的方便，对半导体晶片的情况进行说明，但本专利技术的应用对象不限于半导体晶片(也有叫做单元的情况)。例如在专利文献1中公开了将红外线照射在作为被检查体的半导体晶体上，从而检查出半导体晶片的裂纹的检查装置。在专利文献1的图1中，图示了透过红外光的被检查体1、保持被检查体1的微动台2、向被检查体1照射红外光12的红外光源10、以紧贴红外光源10的方式设置的漫射器11、从漫射器11射出的红外线12。透过了被检查体1的红外线32，被安装了红外线透镜14的红外线照相机15检测出来，并在输入红外线照相机的影像信号的监控器16上作为图像被显示出来。其次，对专利文献1所公开的装置的动作进行说明。从红外光源10射出的红外线被漫射器11均匀化，并从被检查体1的背面照射它。在此，被检查体1由微动台2从两侧(从下方)保持。照射的红外线透过被检查体1的表面，并由红外线透镜14将该透过的红外线收入红外线照相机15，监控器16以能够用目视确认的影像展示。在此，如果被检查体1设为例如实施图案加工等之前的半导体晶片，由于裂纹和其他部分的红外线的透过状态不同，因此便可以很容易地检查出裂纹。在专利文献1所公开的装置中，对于被检查体1，用从其背面向表面透过的透过光进行检查。但是，由于单元的周边部分被微动台2遮蔽了透过光，因此存在该部分不能使透过光透过，而不能进行检查的问题。可是，半导体晶片的缺陷具有容易发生在其周边部分的性质，另外，为了提高半导体晶片的合格率，希望对检查半导体晶片的周边部分也进行检查。专利文献1特开平8-220008号公报以往的图像检查方法以及图像检查装置如以上那样，是被检查体的周边部分被夹持被检查体的装置遮蔽的构成，因此存在如下的问题，即，当用透过光检查时，由于透过光不能透过被遮蔽的部分，故出现不能进行检查的部分。但是，不限于半导体晶片，为了到其周边为止全都利用，希望对被检查体的周边也进行检查。
技术实现思路
本专利技术是为了解决所述问题而研制成的，其目的在于得到可以检查到被检查体的端部为止的所有的部分的图像检查方法以及图像检查装置。本专利技术的图像检查方法是包括如下步骤的检查方法，即由第一支撑机构支撑透过红外光的板状的被检查体的步骤；从所述被检查体的一面照射红外光的步骤；在所述被检查体的周围设置遮蔽所述红外光的掩模机构的步骤；由设置在所述被检查体的另一面的红外线照相机，拍摄透过了所述被检查体的没有被所述第一支撑机构覆盖的部分的红外光的步骤；在由第二支撑机构支撑所述被检查体之后，使所述第一支撑机构退避到不会遮蔽所述被检查体的位置上的步骤；由设置在所述被检查体的另一面的红外线照相机，拍摄透过了所述被检查体的没有被所述第二支撑机构覆盖的部分的红外光的步骤。另外，本专利技术的图像检查装置是具备如下部分的装置，即 从透过红外光的板状的被检查体的一面照射红外光的红外光源，设置在所述被检查体的另一面，将透过了所述被检查体的红外光图像化的红外线照相机；在与所述被检查体的板面大致相同的面内，以与所述被检查体的板的端面之间具有规定的间隙的方式配置、遮蔽所述红外光的掩模机构；具有支撑所述被检查物的支撑机构，和使该支撑机构退避到不会覆盖所述被检查体的板面的位置上的退避机构的被检查体保持机构。专利技术的效果根据本专利技术的图像检查方法以及图像检查装置，由于支撑被检查体晶片的多个保持台中的几个相互交替地退避，因此不会妨碍半导体晶片的周边部分的检查。另外，通过设置距半导体晶片的周围有规定的间隙的掩模机构，不会使照相机发生光晕，周边部分也可以进行稳定的检查。通过将红外光漫射体用作光漫射板，除了容易防止光的光晕之外，也可以进行红外光源的保护。附图说明图1是展示本专利技术的实施方式1的图像检查装置的构成的剖面图。图2是说明图1的装置的动作的说明图。图3是说明图1的装置的构成的细微部分的图。图4是图3的侧视图。图5是展示实施方式2的图像检查装置的构成的剖面图。图6是用于说明实施方式3的图像检查装置的图。图7是展示实施方式3的图像检查装置的细微部分的图。图8是展示实施方式4的图像检查装置的构成的剖面图。图9是展示实施方式5的图像检查装置的构成的剖面图。图10是展示实施方式6的图像检查装置的构成的剖面图。图11是展示实施方式7的图像检查装置的细微部分的结构的图。标号说明1半导体晶片 2 保持台3红外光源 4 红外光漫射体5红外光透镜 6 红外线照相机7监控器 8 掩模9相对于红外光透明的玻璃板 10间隙16 从红外光漫射体射出的红外光17 透过了半导体晶片的红外光18 通过了间隙的红外光 80无反射掩模80a 尖锐端面 80b 倾斜部81 光圈机构式掩模 97掩模的旋转轴98 反射光 99说明辅助线具体实施方式实施方式1图1是展示本专利技术的实施方式1的构成图。在图中，相对于透过红外光的半导体晶片1(被检查体)，在其下侧设有保持半导体晶片1的保持台2(称为被检查体保持机构)。在此，对半导体晶片1是四边形的情况进行说明。在半导体晶片1的下方配置红外光源3，在红外光源3的上部设置使红外光漫射的红外光漫射体4的板。在此，所谓的红外光漫射体4，说的是具有使红外光均匀地漫射的功能的、例如半透明或毛玻璃状的玻璃板那样的部件。为了进行说明，从红外光漫射体4射出的红外光标以标号16。透过了半导体晶片1的红外光设为标号17。在半导体晶片1的上方，配置安装了红外光透镜5的、对红外光感光的照相机6(以下，记做红外线照相机或红外光照相机)。红外线照相机6摄影的影像信号被显示在监控器7上，检查员目视后检查出缺陷。或者由图未示的图像处理机构自动检查出缺陷。在与半导体晶片1的高度大致相同高度上，设有遮挡从半导体晶片1的外侧泄漏的红外光的掩模8(称为掩模机构)。图2是说明保持台(被检查体保持机构)2的基本结构和动作的图。保持台2，如图2a、图2b、图2c所示，由4个支撑机构2a～2d构成，具有利用图未示的滑动机构(称为退避机构)沿着与半导体晶片1的面大致平行的方向可以退避到不覆盖各个半导体晶片1的板面的位置上的结构。即，图2a是展示没有退避的状态的图，图2b是展示支撑台2b和2d退避的状态的图，图2c是展示支撑台2a和2c退避的状态的图。其次，对动作进行说明。从红外光源3射出的红外光被红外光漫射体4均匀化，被均匀化的红外光16从半导体晶片1的背面(面向图，从下方)照射它。在此，半导体晶片1在由图未示的定位机构相对于红外线照相机6的位置相对地定位后，如图2b所示，由支撑台2a、2c(称为第一支撑机构)保持对角部分。支撑台2b、2d退避到不与半导体晶片1重叠的位置。照射的红外光16向表面透过。该透过的红外光17由红外光透镜5收入红外线照相机6，监控器7以能够用目视确认的图像展示，人看着图像进行裂纹的检查。当然，也可以不用监控器7，而用图未示的图像检查软件等自动地进行检查。其次，如图2a所示那样让支撑台2b、2d返回到原来的位置，然后在本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种图像检查方法，其特征在于，包括：由第１支撑机构大致水平地支撑具有透过红外光线的性质的板状的被检查体的步骤；从所述被检查体的一面照射红外光线的步骤；在与所述被检查体的板面大致相同的面内，在所述被检查体的外侧的周围设 置遮蔽所述红外光线的掩模机构的步骤；由设置在所述被检查体的另一面的红外线照相机，拍摄透过了所述被检查体的没有被所述第１支撑机构覆盖的部分的红外光线而得到图像，同时检查该图像的步骤；当在与所述第１支撑机构的位置不同的位置上由第 ２支撑机构支撑所述被检查体之后，使所述第１支撑机构退避到不会遮蔽所述被检查体的位置上的步骤；以及由所述红外线照相机，拍摄透过了所述被检查体的没有被所述第２支撑机构覆盖的部分的红外光线而得到图像，同时检查该图像的步骤。
【技术特征摘要】
JP 2006-5-8 2006-1292181.一种图像检查方法，其特征在于，包括由第1支撑机构大致水平地支撑具有透过红外光线的性质的板状的被检查体的步骤；从所述被检查体的一面照射红外光线的步骤；在与所述被检查体的板面大致相同的面内，在所述被检查体的外侧的周围设置遮蔽所述红外光线的掩模机构的步骤；由设置在所述被检查体的另一面的红外线照相机，拍摄透过了所述被检查体的没有被所述第1支撑机构覆盖的部分的红外光线而得到图像，同时检查该图像的步骤；当在与所述第1支撑机构的位置不同的位置上由第2支撑机构支撑所述被检查体之后，使所述第1支撑机构退避到不会遮蔽所述被检查体的位置上的步骤；以及由所述红外线照相机，拍摄透过了所述被检查体的没有被所述第2支撑机构覆盖的部分的红外光线而得到图像，同时检查该图像的步骤。2.一种图像检查装置，其特征在于，具备从具有透过红外光线的性质且被大致水平地设置的板状的被检查体的一面照射红外光线的红外光源；设置在所述被检查体的另一面，拍摄透过了所述被检查体的红外光线而将其图像化的红外线照相机；在与所述被检查体的板面大致相同的面内，在所述被检查体的外侧，以与所述板状的被检查体的端面之间具有规定间隙的方式配置，遮蔽所述红外光线的掩模机构；以及具有支撑所述被检查体的支撑机构的被检查体保持机构。3.如权利要求2所述的图像检查装置，其特征在于，所述被检查体保持机构具有支撑所述被检查体...
【专利技术属性】
技术研发人员：西野裕久，小原隆雄，宇野真彦，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。