一种激光划刻方法和一种太阳能电池技术

本申请提供一种激光划刻方法和太阳能电池，在衬底上具有第一电极层以及位于第一电极层上的光电转换层，第一电极层具有第一激光划刻槽，之后对光电转换层进行激光划刻，得到第二激光划刻槽，第二激光划刻槽用于之后形成子电极之间的电极接触，实现多个子电极之间的串联。第二激光划刻槽靠近第一激光划刻槽的第一侧壁与第二激光划刻槽的底部构成钝角，这样之后在光电转换层上形成第二电极层时，由于第二激光划刻槽的第一侧壁与第二激光划刻槽的底部构成钝角，使得第二电极层能够均匀覆盖第一侧壁和第二激光划刻槽的底部，不会出现第二电极层在第一侧壁和第二激光划刻槽的底部不连续的情况，不会出现多个子电池之间出现断路的问题。问题。问题。

【技术实现步骤摘要】
一种激光划刻方法和一种太阳能电池


[0001]本专利技术涉及半导体领域，特别涉及一种激光划刻方法和一种太阳能电池。

技术介绍

[0002]当前层叠结构的半导体器件发展迅速，例如层叠结构的太阳能电池可以应用在实际生活中。
[0003]为了提升在实际生活中太阳能电池的应用性能，针对大面积的太阳能电极，可以进行激光划刻，以实现将大面积的太阳能电池分为多个串联的子电池。
[0004]但是现有的激光划刻会导致形成的激光划刻槽不能满足需求，进而导致多个子电池之间出现断路。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本申请的目的在于提供一种激光划刻方法和太阳能电池，能够解决激光划刻导致形成的激光划刻槽不能满足需求，导致多个子电池之间出现断路的问题。
[0006]本申请实施例提供了一种激光划刻方法，包括：提供衬底，所述衬底上具有第一电极层以及位于第一电极层上的光电转换层，所述第一电极层具有第一激光划刻槽；对所述光电转换层进行激光划刻，得到第二激光划刻槽；所述第二激光划刻槽靠近所述第一激光划刻槽的第一侧壁与所述第二激光划刻槽的底部构成钝角。
[0007]可选地，对所述光电转换层进行激光划刻，得到第二激光划刻槽包括：在靠近所述第一激光划刻槽的区域对所述光电转换层进行激光划刻时，所述光电转换层与激光形成钝角，得到所述第二激光划刻槽。
[0008]可选地，所述激光的中心波长根据所述光电转换层的材料进行确定。
[0009]可选地，还包括：在所述光电转换层上形成第二电极层，所述第二电极层至少覆盖所述第二激光划刻槽的第一侧壁和底部。
[0010]可选地，还包括：对靠近所述第二激光划刻槽的区域所述第二电极层进行激光划刻，得到第三激光划刻槽，所述第三激光划刻槽的深度为所述光电转换层的厚度和所述第二电极层的厚度之和。
[0011]可选地，所述第一激光划刻槽的深度为所述第一电极层的厚度，所述第二激光划刻槽的深度为所述光电转换层的厚度。
[0012]可选地，所述光电转换层为有机光电转换层、铜铟镓硒光电转成层、碲化镉光电转换层或钙钛矿光电转换层。
[0013]可选地，所述第一侧壁与所述第二激光划刻槽的底部构成钝角的角度小于150
°
。
[0014]本申请实施例还提供一种太阳能电池，包括：
衬底，所述衬底上具有第一电极层以及位于第一电极层上的光电转换层，所述第一电极层具有第一激光划刻槽；所述光电转换层具有第二激光划刻槽；所述第二激光划刻槽靠近所述第一激光划刻槽的第一侧壁与所述第二激光划刻槽的底部构成钝角。
[0015]可选地，还包括：所述光电转换层上形成有第二电极层，所述第二电极层至少覆盖所述第二激光划刻槽的第一侧壁和底部；所述第二电极层具有第三激光划刻槽，所述第三激光划刻槽靠近所述第二激光划刻槽，远离所述第一激光划刻槽。
[0016]本申请实施例提供了一种激光划刻方法，提供衬底，在衬底上具有第一电极层以及位于第一电极层上的光电转换层，第一电极层具有第一激光划刻槽，第一激光划刻槽用于将大面积的太阳能电池切割为多个子电池，之后对光电转换层进行激光划刻，得到第二激光划刻槽，第二激光划刻槽用于之后形成子电极之间的电极接触，实现多个子电极之间的串联。第二激光划刻槽靠近第一激光划刻槽的第一侧壁与第二激光划刻槽的底部构成钝角，这样之后在光电转换层上形成第二电极层时，由于第二激光划刻槽的第一侧壁与第二激光划刻槽的底部构成钝角，使得第二电极层能够均匀覆盖第一侧壁和第二激光划刻槽的底部，不会出现第二电极层在第一侧壁和第二激光划刻槽的底部不连续的情况，不会出现多个子电池之间出现断路的问题。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0018]图1示出了现有技术中一种激光划刻得到的太阳能电池的剖面示意图；图2示出了现有技术中另一种激光划刻得到的太阳能电池的剖面示意图；图3示出了现有技术中又一种激光划刻得到的太阳能电池的剖面示意图；图4示出了本申请实施例一种激光划刻方法的流程示意图；图5
‑
图8示出了本申请实施例一种激光划刻得到的太阳能电池的剖面示意图。
具体实施方式
[0019]为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。
[0020]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请，但是本申请还可以采用其它不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似推广，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。
[0021]其次，本申请结合示意图进行详细描述，在详述本申请实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本申请保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。
[0022]正如
技术介绍
中所述，为了提升在实际生活中太阳能电池的应用性能，针对大面积的太阳能电极，可以进行激光划刻，以实现将大面积的太阳能电池分为多个串联的子电池。
[0023]具体的过程如下：参考图1所示，为现有技术中一种激光划刻得到的太阳能电池的剖面示意图。现有技术中太阳能电池100包括衬底110，第一电极层120、光电转换层130和第二电极层140，其中，衬底110，第一电极层120、光电转换层130和第二电极层140是层叠设置。
[0024]第一电极层120中具有第一激光划刻沟槽121，第一激光划刻槽121用于将第一电极层120分为多个区域，以将大面积的太阳能电池切割为多个子电池。图1中示出了第一激光划刻沟槽121将太阳能电池分为2个区域，第一区域101和第二区域102，第一区域上形成第一子电池，第二区域上形成第二子电池。
[0025]在第一激光划刻槽121附近具有第二激光划刻槽131，第二激光划刻槽131的侧壁和底部覆盖有第二电极层140，以便将第一区域的第二电极层140与第二区域的第一电极层120进行连接，实现第一区域的第一子电池与第二区域的第二子电池的串联。
[0026]在第二激光划刻槽131附近具有第三激光划刻槽141，第三激光划刻槽用于将第二电极层分为多个区域，以避免由于第一区域101的第二电极层和第二区域102的第二电极层连接，进而导致的第一子电池和第二子电池的短路。
[0027]但是在现有的利用激光划刻得到的第二激光划刻槽上形成第二电极层时，经常会出现第二电极层不连续的情况，导致第一区域的第二电极层140与第二区域的第一电极层120无法连接，第一区域的第一子电池与第二区域的第二子电池无法串联，两个子电池之间出现断路的问题。
[0028]经专利技术人研究发现，现有的利用激光划刻本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光划刻方法，其特征在于，包括：提供衬底，所述衬底上具有第一电极层以及位于第一电极层上的光电转换层，所述第一电极层具有第一激光划刻槽；对所述光电转换层进行激光划刻，得到第二激光划刻槽；所述第二激光划刻槽靠近所述第一激光划刻槽的第一侧壁与所述第二激光划刻槽的底部构成钝角。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，对所述光电转换层进行激光划刻，得到第二激光划刻槽包括：在靠近所述第一激光划刻槽的区域对所述光电转换层进行激光划刻时，所述光电转换层与激光形成钝角，得到所述第二激光划刻槽。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述激光的中心波长根据所述光电转换层的材料进行确定。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：在所述光电转换层上形成第二电极层，所述第二电极层至少覆盖所述第二激光划刻槽的第一侧壁和底部。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，还包括：对靠近所述第二激光划刻槽的区域所述第二电极层进行激光划刻，得到第三激光划刻槽，所述第三激光划刻槽的深度为所述光电转换层的厚度和所述第二电极层的厚度之和。6.根据权利要求1
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5任意一项...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖平，李新连，赵志国，赵东明，张赟，夏渊，秦校军，李梦洁，丁坤，
申请(专利权)人：华能新能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：