【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池的制造方法及其制造系统
[0001]本专利技术涉及太阳能电池领域，尤其涉及一种太阳能电池的制造方法及其制造系统。
技术介绍
[0002]太阳能电池也称为光伏电池，是利用光伏效应将太阳能辐射直接转化为电能的发电技术，其具有资源充足、清洁、安全、使用寿命长等优点，被认为是最具有前景的可再生能源技术之一。
[0003]目前太阳能电池中的硅异质结电池具有低温制备、工艺步骤简单、温度系数优越、产品稳定性好等优点，有望成为光伏行业的主流技术之一。该硅异质结电池包括：单晶硅基片，位于单晶硅基片正面和背面的本征层，正面本征层上的N型掺杂层，背面本征层上的P型掺杂层，位于N型掺杂层上的导电透明层和P型掺杂层上的导电透明层。
[0004]然而，目前用于制备硅异质结电池的现有系统占地面积大且成本高昂，这是因为将系统分解成若干段反应室并要求自动化设备将基片分配到基片载体上，然后再处理之后将基片收集回去。
技术实现思路
[0005]本专利技术提供一种基片处理系统及其方法，该方法能够避免翻转基片，以减少太阳...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池的制造系统，其特征在于，包括：运输腔，所述运输腔内设有纵向形状的传输轨道，所述纵向形状的传输轨道具有位于所述传输轨道两侧的第一侧和第二侧；可移动框架并且具有框架开口；薄膜粘附到可移动框架并且具有多个薄膜开口，框架开口暴露多个薄膜开口，每个薄膜开口暴露附接至薄膜的对应基片。2.根据权利要求1所述的制造系统，其特征在于，所述制造系统还包括前薄膜站；所述前薄膜站具有位于所述传输轨道的第一侧上的第一电极，并且第二电极位于所述传输轨道的第二侧上，所述第一电极和所述第二电极被配置为朝向所述传输轨道移动以形成容纳所述基片的封闭空间。3.根据权利要求2所述的制造系统，其特征在于，所述前薄膜站被配置为在基片的第一表面上形成前薄膜层。4.根据权利要求2所述的制造系统，其特征在于，所述制造系统还包括背薄膜站；所述背薄膜站具有位于所述传输轨道的所述第二侧上的第一电极，以及位于所述传输轨道的所述第一侧上的第二电极，所述背薄膜站的所述第一电极和所述背薄膜站的所述第二电极被配置为朝向所述传输轨道移动以形成容纳所述基片的封闭空间。5.根据权利要求4所述的制造系统，其特征在于，所述背薄膜站被配置为在所述基片的背表面上形成背薄膜层。6.根据权利要求5所述的制造系统，其特征在于，所述前薄膜站被配置成在所述背薄膜站形成所述背薄膜层之前形成所述前薄膜层。7.根据权利要求5所述的制造系统，其特征在于，所述背薄膜站被配置为在所述前薄膜站形成所述前薄膜层之前形成所述背薄膜层。8.根据权利要求5所述的制造系统，其特征在于，所述制造系统还包括制备站和制绒站；其中，所述制备站和所述制绒站都被布置在所述前薄膜站和所述背薄膜站之前，并且所述制绒站被配置为在所述基片的前表面和后表面上提供纹理化处理。9.根据权利要求5所述的制造系统，其特征在于，所述制造系统还包括磁控溅射站，所述磁控溅射站被配置成在所述基片由所述前薄膜站和所述背薄膜站处理之后处理所述基片。10.根据权利要求9所述的制造系统，其特征在于，所述磁控溅射站包括第一磁控溅射设备和第二磁控溅射设备。11.根据权利要求10所述的制造系统，其特征在于，第一磁控溅射设备被配置为面对基片的第一表面，并且被配置为在基片的第一表面上形成前导电层。12.根据权利要求11所述的制造系统，其特征在于，所述第二磁控溅射设备被配置为面对所述基片的背表面，并且被配置为在所述基片的所述背表面上形成背导电层。13.根据权利要求1所述的制造系统，其特征在于，所述制造系统还包括隔离栅站，该隔离栅站配置用于分别在相邻基片之间的薄膜的第一表面和后表面上布置隔离栅格器件。14.根据权利要求8所述的制造系统，其特征在于，所述制绒站包括干蚀刻设备。15.根据权利要求14所述的制造系统，其特征在于，所述制绒站位于准备站和前/背薄
膜站之间。16.根据权利要求13所述的制造系统，其特征在于，所述隔离栅格器件的材料包括导体材料和/或胶带材料。17.根据权利要求9所述的制造系统，其特征在于，所述制造系统还包括冲压站，所述冲压站被配置为在相邻基片之间形成穿过所述薄膜的通孔。18.根据权利要求17所述的制造系统，其特征在于，所述制造系统还包括位于所述冲压站之后的汇流条连接站，所述汇流条连接站被配置成在所述通孔中形成电导体，使得在一个基片的前表面上的导电线与相邻基片的后表面上的导电线电连接。19.根据权利要求12所述的制造系统，其特征在于，所述制造系统还包括激光器器件，所述激光器器件被配置为去除前导电层的一部分和背导电层的在相邻基片之间的部分。20.根据权利要求4所述的制造系统，其特征在于，所述制造系统还包括位于准备站后面的装载站，并且在所述前薄膜站和所述背薄膜站之前。21.根据权利要求9所述的制造系统，其特征在于，所述制造系统还包括位于所述前薄膜站和所述背薄膜站之后并且在所述磁控管溅射站之前的缓冲腔。22.根据权利要求8所述的制造系统，其特征在于，所述制造系统还包括位于制绒站后面并且位于所述前薄膜站和所述背薄膜站之前的预热站。23.根据权利要求17所述的制造系统，其特征在于，该制造系统还包括位于磁控溅射站之后和所述冲压站之前的卸载站。24.根据权利要求1所述的制造系统，其特征在于，所述薄膜包括聚酰亚胺，聚酯或聚丙烯。25.根据权利要求1所述的制造系统，其特征在于，薄膜开口周围的薄膜的仅一部分具有粘合剂性质。26.根据权利要求1所述的制造系统，其特征在于，所述薄膜包括两个平面件，所述平面件中的一个或每个具有粘合剂表面，其中所述平面件经由所述粘合剂表面的最后一部分彼此附接，其中所述两个平面件中的一个的所述薄膜开口与所述两个平面件中的另一个的所述薄膜开口一一对应。27.根据权利要求26所述的制造系统，其特征在于，所述基片被夹持在所述薄膜的两个平面件的相应部分之间。28.一种太阳能电池的制造方法，所述方法包括：提供多个基片，所述多个基片包括第一基片，所述第一基片粘附到薄膜，所述薄膜上的薄膜开口暴露所述第一基片的一部分；将所述薄膜附接到可移动框架；以及沿着传输轨道在运输腔中运输所述框架。29.根据权利要求28所述的制造方法，其特征在于，所述框架被输送到第一位置，在所述第一位置，所述第一基片的相对表面分别面对前薄膜站的第一电极和第二电极，所述相对表面包括前表面和后表面；其中所述方法还包括：将所述第一电极和所述第二电极朝向所述框架移动以形成容纳所述第一基片的封闭空间；以及在所述第一基片的所述前表面上形成前薄膜层。30.根据权利要求29所述的制造方法，其特征在于，将所述框架运输到第二位置，在所
述第二位置，所述第一基片的相对表面分别面对背薄膜站的第一电极和第二电极；将...
【专利技术属性】
技术研发人员：雷仲礼，
申请(专利权)人：德鸿半导体设备浙江有限公司，
类型：发明
国别省市：
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