复合故障机制的临界面积的确定方法技术

公开了一种基于独立和依存复合故障机制两者计算临界面积的方法。通过对复合机制中的各个简单故障机制产生由第三维ｚ轴上的值代表在点ｘ，ｙ的各单一故障机制的临界缺陷尺寸的多边区域构成的图，计算该临界面积。为了识别相交的子区域，这些图被重叠并且各图的各个区域的平面（即，顶面）被投影到ｘ，ｙ面上。各子区域内的主导故障机制基于预定Ｂｏｏｌｅａｎ式的解被识别，并且，为了获得复合故障机制的总临界面积，所有的子区域的临界面积被累加。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的实施例一般涉及计算临界面积，特别是涉及计算复合故障机制(compound fault mechanism )的临界面积(critical area )。
技术介绍
敏感度的度量。它是每点上的临界缺陷尺寸和缺陷密度函数的函数。 具体而言，DefectDensity函数是在芯片上出现特定尺寸r的随机缺陷的概率的度 量。它与设计无关并由制造过程确定。CriticalDefectSize函数是会导 致电气故障的以给定点(x，y)为中心的缺陷的最小尺寸。该函数与设 计有关。临界面积可基于缺陷导致芯片中的电气故障的特定方式(即， 基于由缺陷导致的故障机制的类型)被测量。示例性的简单的故障机 制包含开路(即，导线破断)、短路、接触和通路阻塞。当故障依赖于两种或更多种独立或依存故障的出现时，出现复合 故障机制。包含两种或更多种独立故障的复合故障机制包含，例如，开 路以及接触(open with contact)，，、没有接触的开路和开路和接 触。开路以及接触是缺陷导致导线破断或通路阻塞的复合故障机 制。没有接触的开路是缺陷导致导线破断而没有通路阻塞的复合故 障机制。开路和接触是缺陷同时导致导线破断与通路阻塞的复合故 障机制。 一般可通过对简单的故障机制使用与、或和非关系算子构成 这些复合故障机制。依赖于两种或更多种依存故障的出现的复合故障机制包含，例如，诸如双重短路，，的n级(n-level)故障机制。双重 短路是缺陷必须在两个不同设计水平上接触两个电气上截然不同的 特征才能导致失效的故障机制。基于Voronoi的技术已被用于基于设计计算简单的缺陷机制的临 界面积(例如，如在2000年3月28日授权给Papadopoulou等的美 国专利No. 6044208、在2001年1月23日授权给Papadopoulou等的 美国专利No. 6178539、在2001年6月19日授权给Papadopoulou等 的美国专利No. 6247853、在2001年11月13日授权给Papadopoulou 等的美国专利No. 6317859所述，在此包含这些美国专利作为参考)。 基于Voronoi的技术还被用于计算包含独立故障机制的复合故障机制 (例如，如Allen等的美国专利申请公开No. 2005/0240839所述，在 此也包含该专利作为参考)。但是，用于计算包含独立故障机制的复 合故障机制的基于Voronoi的技术相当复杂。另外，由于这些故障机 制一般不能仅通过使用Boolean (布尔)关系表达为其它已知的简单 的故障机制的构成，因此这些现有技术不能被用于基于诸如双重短路 故障机制的n级故障机制计算临界面积。因此，为了改进成品率预测，在本领域中需要一种改进的基于 Voronoi的技术，不管复合故障机制是独立的还是依存，该基于 Voronoi的技术都可以更有效地计算和检测其总临界面积。
技术实现思路
鉴于上述情况，这里公开计算和检测复合故障机制的总临界面积 以改进集成电路设计的成品率预测的改进的基于Voronoi的方法的实 施例。本专利技术的实施例包括提供集成电路的设计(即，电路布局)，该积的信息。与本专利技术的本实施例相关的复合故障机制可包含独立的多 个简单的故障机制(例如，短路、开路、接触、通路阻塞等)。可产生多个图以代表复合故障机制中的简单的故障机制(即，一个图与在复合故障机制内包含的各个简单故障机制对应)，并且这些 图中的每一个可被分成多个区域。例如，可产生与各个简单故障机制对应的Voronoi图，使得图内的各个区域包含具有代表临界缺陷尺寸 的第三维z轴的多边形。为了识别代表这些图的区域之间的交集的子区域，这些图一旦产 生就可被重叠。基于在给定子区域中相交的各图的多边区域内的z轴值，该给定 子区域的主导(dominant)故障机制可从在该子区域内映射的各故障 机制之中被确定。特别地，各子区域的主导故障机制可基于要在故障 机制之中应用的预定关系算子(例如，要在第一和第二故障机制之间 应用的与(AND)、或(OR)或者非(NOT)关系算子)被确定。例如，如果关系算子包含或，那么主导故障机制可包含与各子区 域内的各区域中的沿z轴最低的一个对应的该故障机制。作为替代方 案，如果关系算子包含与，那么主导故障机制可包含与各子区域内的 各区域中的沿z轴最高的一个对应的该故障机制。各子区域的主导故障机制一旦被确定就可然后被用于确定与各子 区域相关的临界面积，并且，为了计算复合故障机制的总临界面积， 各子区域的临界面积可被累加。该方法的另一实施例还包括提供集成电路的设计(即，电路布局)，临界面积的信息。与本专利技术的本实施例相关的复合故障机制可包含依 赖于缺陷条件的短路、开路、通路阻塞和/或接触。如同上述实施例那样，对于在复合故障机制内包含的简单故障机制中的每一个，可产生单独的图。各个图可被分为多个区域(例如， 包含多个第一区域并代表第一故障机制的第一图、包含多个第二区域并代表第二故障机制的第二图，等等)。例如，可产生与简单故障机 制中的每一个对应的Voronoi图，使得各图内的各个区域包含具有代 表临界缺陷尺寸的第三维z轴的多边形。为了标识代表各图的区域之间的交集的子区域，这些图一旦产生就可被重叠。然后，基于在给定子区域中相交的各图的多边区域内的Z轴值以 及在电路布局中包含的附加设计信息(例如，关于在各故障机制中涉息)，可从在该子^内:射的各:障机-制中确一定4L定子区域的丄 导故障机制。即，为了确定给定子区域中的主导故障机制，基于在电路设计中包含的信息确定条件(conditional)。基于这些条件，要在故障机制 之间应用的至少一个关系算子被确定，并且该关系算子被用于确定主 导故障机制。具体而言，缺陷条件(例如，缺陷是否接触相同或不同网络上的 形状)被确定，并且产生替代条件式(例如，Boolean式)以指示给 定子区域内的沿z轴的相交区域中的哪一个应与主导故障机制对应。替代式中的一个的施加依赖于以前识别的缺陷条件。各子区域的主导故障机制一旦被确定就可然后被用于确定与各子 区域相关的临界面积，并且，为了计算复合故障机制的总临界面积， 各子区域的临界面积可被累加。在本实施例中，双重短路可被认为依存复合故障机制。双重短路不同级别上的短路(例如，第一级接触、第二级接触、第一级短路和 第二级短路)。产生多个图的过程可包含产生与第一级接触对应并包含多个第一 区域的第一图、与第二级接触对应并包含多个第二区域的第二图、与 第一级短路对应并包含多个第三区域的第三图和与第二级短路对应并 包含多个第四区域的第四图。可以根据第 一级接触和第二级接触机制识别缺陷是接触相同的网 络还是接触不同的网络的条件(即，缺陷条件)。然后可以形成第一替代式，该第一替代式规定，如果根据第一级 接触和第二级接触机制缺陷接触不同的网络，那么具有该性能的任何给定子区域内的主导故障机制将是与给定子区域中的第一区域和第二 区域中的沿Z轴较高的一个对应的故障机制。可以形成第二替代式， 该第二替代式规定，如果根据第一级接触和第二级接触机制缺陷接触 相同的网络，那么任何给定子区域的主导故障机制包含与以下两者中较低的一个对应的故障机制给定子区域中的第一区域和第四区域中 的沿z轴较本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种集成电路设计中的复合故障机制的临界面积的确定方法，所述方法包括：产生多个图，其中，各个图代表所述复合故障机制内的多个故障机制中的一个并被分为多个区域；为了识别代表所述多个图的所述多个区域之间的交集的子区域，重叠所述多个图 ；确定所述子区域中的每一个中的主导故障机制，其中，所述主导故障机制是所述故障机制中的一个；和基于所述子区域中的每一个中的所述主导故障机制计算所述临界面积。

【技术特征摘要】
US 2006-8-2 11/461,8051.一种集成电路设计中的复合故障机制的临界面积的确定方法，所述方法包括产生多个图，其中，各个图代表所述复合故障机制内的多个故障机制中的一个并被分为多个区域；为了识别代表所述多个图的所述多个区域之间的交集的子区域，重叠所述多个图；确定所述子区域中的每一个中的主导故障机制，其中，所述主导故障机制是所述故障机制中的一个；和基于所述子区域中的每一个中的所述主导故障机制计算所述临界面积。2. 根据权利要求l的方法，其中，所述产生所述多个图包含产生 Voronoi图，使得所述多个区域中的每一个包含具有代表临界缺陷尺 寸的第三维z轴的多边形。3. 根据权利要求2的方法，其中，所述确定所述主导故障机制包 含基于要在所述故障机制之间应用的关系算子确定所述主导故障机 制。4. 根据权利要求3的方法，其中，如果所述关系算子包含或，那 么所述主导故障机制包含与各子区域内的所述区域中的沿所述z轴最 低的一个对应的故障机制，并且，如果所述关系算子包含与，那么所 述主导故障机制包含与各子区域内的所述区域中的沿所述z轴最高的 一个对应的故障机制。5. 根据权利要求l的方法，其中，所述多个故障机制包含开路、 短路、接触和通路阻塞中的至少一个，并且所述故障机制中的每一个 是独立的。6. —种集成电路设计中的复合故障机制的临界面积的确定方法， 所述方法包括产生多个图，其中，各个图代表所述复合故障机制内的多个故障 机制中的 一个并被分为多个区域；为了识别代表所述多个图的所述多个区域之间的交集的子区域， 重叠所述多个图；确定所述子区域中的每一个中的主导故障机制，其中，所述主导 故障机制是所述故障机制中的一个并基于所述设计内的信息；和基于所述子区域中的每一个中的所述主导故障机制计算所述临界 面积。7. 根据权利要求6的方法，其中，所述产生所述多个图包含产生 Voronoi图，使得所述多...

【专利技术属性】
技术研发人员：默文YM谭，罗伯特J艾伦，莎拉C布拉希，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]