测试结构和测试方法技术

本发明专利技术提供一种测试结构及测试方法，测试结构包括：多条射频链路，各所述射频链路均包括多个焊点以及位于相邻焊点之间与焊点相连接的传输线；不同所述射频链路中至少一处对应的所述传输线的长度不同。对测试结构中的各射频链路进行阻抗测试，以得到各射频链路的阻抗

【技术实现步骤摘要】
测试结构和测试方法


[0001]本专利技术涉及集成电路
，特别是涉及一种测试结构和测试方法。

技术介绍

[0002]目前以SiP(System In a Package，系统级封装)为代表的新型高密度封装技术来封装射频器件，通常会出现在一个BGA(Ball Grid Array，球栅阵列)封装中存在多条射频链路的现象，并且每个射频链路上存在多个焊点与传输线相互交错串联的现象。由于射频链路上传输线与焊点交错分布且电长度非常短，这就导致很难从射频链路中识别定位出焊点与传输线，如何实现射频器件BGA封装中射频链路焊点与传输线的准确定位，进而指导生产厂商如何准确定位失效位置，是射频高密度封装器件应用领域如互连可靠性、信号完整性等方面研究时需要关注的重要难点问题。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本专利技术设计了一种测试结构和测试方法，能够从射频链路中识别定位出焊点与传输线，进而指导生产厂商如何准确定位失效位置。
[0004]本专利技术设计了一种测试结构，所述测试结构包括：多条射频链路，各所述射频链路均包括多个焊点以及位于相邻焊点之间与焊点相连接的传输线；不同所述射频链路中至少一处对应的所述传输线的长度不同。
[0005]本专利技术提供的测试结构中，由于不同射频链路中至少一处对应的传输线的长度不同，在不同射频链路的同一端同时施加阻抗测试信号时，得到的阻抗
‑
时间变化曲线会因传输线长度的差异而产生不同，从而根据阻抗
‑
时间曲线就可以识别出长度不同的传输线，进而识别出各射频链路中的焊点和传输线，进而为失效点的准确定位提供依据。
[0006]在其中一个实施例中，各所述射频链路中的所述焊点的数量相同，各所述射频链路中的所述传输线的数量相同；各所述射频链路中的所述焊点一一对应设置，各所述射频链路中的所述传输线一一对应设置。
[0007]在其中一个实施例中，所述传输线包括微带线。
[0008]在其中一个实施例中，所述测试结构包括焊球阵列封装结构。
[0009]在其中一个实施例中，至少一条所述射频链路中具有失效点。
[0010]由于本申请的测试结构中不同射频链路中，至少一处对应的传输线的长度不同，可以根据阻抗
‑
时间曲线识别出长度不同的传输线，从而识别出各射频链路中的焊点和传输线，如果此时有射频链路中存在失效点，由于焊点和传输线已经识别出来，就可以实现对失效点的精确定位，准确分析器件失效位置，满足新型射频器件研制以及应用可靠性研究需求。
[0011]本专利技术还提供了一种测试方法，所述方法包括：
[0012]提供如前所述的测试结构；
[0013]对所述测试结构中的各所述射频链路进行阻抗测试，以得到各所述射频链路的阻
抗
‑
时间曲线；
[0014]基于所述阻抗
‑
时间曲线识别出各所述射频链路中的所述焊点及所述传输线。
[0015]本专利技术的测试方法中采用的测试结构中，由于不同射频链路中至少一处对应的传输线的长度不同，在不同射频链路的同一端同时施加阻抗测试信号时，得到的阻抗
‑
时间变化曲线会因传输线长度的差异而产生不同，从而根据阻抗
‑
时间曲线就可以识别出长度不同的传输线，进而识别出各射频链路中的焊点和传输线，进而为失效点的准确定位提供依据。
[0016]在其中一个实施例中，所述对所述测试结构中的各所述射频链路进行阻抗测试，以得到各所述射频链路的阻抗
‑
时间曲线，包括：
[0017]对各所述射频链路同时进行阻抗测试；
[0018]于同一时间
‑
阻抗值坐标系中得到各所述射频链路的所述阻抗
‑
时间曲线。
[0019]在其中一个实施例中，至少一条所述射频链路中具有失效点；基于所述阻抗
‑
时间曲线识别出各所述射频链路中的所述焊点及所述传输线之后，还包括：基于识别结果对所述失效点进行精确定位。
[0020]由于本申请的测试方法使用的测试结构中，不同射频链路中至少一处对应的传输线的长度不同，可以根据阻抗
‑
时间曲线就可以识别出长度不同的传输线，从而识别出各射频链路中的焊点和传输线，如果此时有射频链路中存在失效点，由于焊点和传输线已经识别出来，就可以实现对失效点的精确定位，准确分析器件失效位置，满足新型射频器件研制以及应用可靠性研究需求。
[0021]在其中一个实施例中，所述阻抗
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时间曲线中，阻抗值偏离额定阻抗值的点为所述失效点。
[0022]在其中一个实施例中，所述阻抗
‑
时间曲线中，阻抗值为0的点或阻抗值为无穷大的点为失效点。
附图说明
[0023]图1是本专利技术一个实施例中测试结构的示意图。
[0024]图2是本专利技术一个实施例中测试方法的步骤流程图。
[0025]图3是图2中的测试方法中S12的步骤流程图。
[0026]图4是图1中的测试结构中不同射频链路的阻抗
‑
时间曲线。
[0027]附图标记说明：
[0028]1、第一射频链路；11、12、13、14、15、16、17、18、21、22、23、24、25、26、27、28、焊点；2、第二射频链路；31、传输线。
具体实施方式
[0029]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似改进，因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0030]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、
“
厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0031]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0032]在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测试结构，其特征在于，所述测试结构包括：多条射频链路，各所述射频链路均包括多个焊点以及位于相邻焊点之间与焊点相连接的传输线；不同所述射频链路中至少一处对应的所述传输线的长度不同。2.根据权利要求1所述的测试结构，其特征在于，各所述射频链路中的所述焊点的数量相同，各所述射频链路中的所述传输线的数量相同；各所述射频链路中的所述焊点一一对应设置，各所述射频链路中的所述传输线一一对应设置。3.根据权利要求1所述的测试结构，其特征在于，所述传输线包括微带线。4.根据权利要求1所述的测试结构，其特征在于，所述测试结构包括焊球阵列封装结构。5.根据权利要求1所述的测试结构，其特征在于，至少一条所述射频链路中具有失效点。6.一种测试方法，其特征在于，所述方法包括：提供如权利要求1至5中任一项所述的测试结构；对所述测试结构中的各所述射频链路进行阻抗测试，以得到各所述射频链路的阻抗
‑
时间曲线；基于所述阻抗
‑
时间曲线识别出各...

【专利技术属性】
技术研发人员：王磊，肖慧，方文啸，邵伟恒，黄权，李键坷，刘加豪，来萍，路国光，黄云，
申请(专利权)人：中国电子产品可靠性与环境试验研究所工业和信息化部电子第五研究所中国赛宝实验室，
类型：发明
国别省市：