检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术的检查装置(10)具有多个第1柱塞(110)、和将多个第1柱塞(110)中的至少一部分柱塞彼此电连接的连接部。检查装置(10)还具有：第1销板(130)，其具有供多个第1柱塞(110)插入的多个第1贯穿孔(132)；和第1导电图案(134)，其设在第1销板(130)，并将至少一部分第1柱塞(110)彼此电连接。1柱塞(110)彼此电连接。1柱塞(110)彼此电连接。

【技术实现步骤摘要】
检查装置


[0001]本专利技术涉及检查装置。

技术介绍

[0002]开发出各种检查装置，其用于检测集成电路(IC)等电子装置的特性。如专利文献1所述，检查装置具有多个柱塞(plunger)。专利文献1中，各柱塞具有顶端接触件、和与顶端接触件连接的柱状部。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2014－25737号公报

技术实现思路

[0006]如专利文献1所述，检查装置有时具有多个柱塞。在该情况下，有时通过对各个柱塞经由各自的电气路径供给电位，而使多个柱塞的电位均衡化。但是在使用这种电气路径的情况下，检查装置的构造变得复杂。
[0007]本专利技术的目的的一例为，通过简单构造来使多个柱塞的电位均衡化。本专利技术的其他目的根据本说明书的记载而变得明晰。
[0008]本专利技术的一个方式为检查装置，其具有：
[0009]多个柱塞；和
[0010]连接部，其使所述多个柱塞中的至少一部分柱塞彼此电连接。
[0011]专利技术效果本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检查装置，其特征在于，具有：多个柱塞；和连接部，其使所述多个柱塞中的至少一部分柱塞彼此电连接。2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，还具有：销板，其具有供所述多个柱塞插入的多个贯穿孔；导电图案，其设在所述销板，将所述至少一部分柱塞彼此电连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：星野智久，
申请(专利权)人：株式会社友华，
类型：发明
国别省市：