检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术的检查装置(10)具有多个第1柱塞(110)、和将多个第1柱塞(110)中的至少一部分柱塞彼此电连接的连接部。检查装置(10)还具有：第1销板(130)，其具有供多个第1柱塞(110)插入的多个第1贯穿孔(132)；和第1导电图案(134)，其设在第1销板(130)，并将至少一部分第1柱塞(110)彼此电连接。1柱塞(110)彼此电连接。1柱塞(110)彼此电连接。

【技术实现步骤摘要】
检查装置


[0001]本专利技术涉及检查装置。

技术介绍

[0002]开发出各种检查装置，其用于检测集成电路(IC)等电子装置的特性。如专利文献1所述，检查装置具有多个柱塞(plunger)。专利文献1中，各柱塞具有顶端接触件、和与顶端接触件连接的柱状部。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2014－25737号公报

技术实现思路

[0006]如专利文献1所述，检查装置有时具有多个柱塞。在该情况下，有时通过对各个柱塞经由各自的电气路径供给电位，而使多个柱塞的电位均衡化。但是在使用这种电气路径的情况下，检查装置的构造变得复杂。
[0007]本专利技术的目的的一例为，通过简单构造来使多个柱塞的电位均衡化。本专利技术的其他目的根据本说明书的记载而变得明晰。
[0008]本专利技术的一个方式为检查装置，其具有：
[0009]多个柱塞；和
[0010]连接部，其使所述多个柱塞中的至少一部分柱塞彼此电连接。
[0011]专利技术效果
[0012]根据本专利技术的上述方式，能够通过简单构造而使多个柱塞的电位均衡化。
附图说明
[0013]图1是实施方式的检查装置的俯视图。
[0014]图2是图1的A－A
′
剖视图。
[0015]图3是详细表示实施方式的检查装置的立体剖视图。
[0016]图4是用于详细说明第1柱塞以及第1销板的剖视图。
>[0017]图5是用于说明实施方式的第1柱塞的制造方法的剖视图。
[0018]附图标记说明
[0019]10检查装置
[0020]100第1弹性体
[0021]102孔
[0022]104导电膜
[0023]110第1柱塞
[0024]112第1顶端接触件
[0025]114第1柱状部
[0026]116第1承托部
[0027]116a第1晶种层
[0028]116b第1镀覆层
[0029]120第2柱塞
[0030]122第2顶端接触件
[0031]124第2柱状部
[0032]126第2承托部
[0033]130第1销板
[0034]132第1贯穿孔
[0035]134第1导电图案
[0036]140第2销板
[0037]142第2贯穿孔
[0038]150框架
[0039]152开口
[0040]600A金属基材
[0041]602A凹部
[0042]610第1保护膜
[0043]612第1开口
[0044]620第2保护膜
[0045]622第2开口
[0046]Z铅垂方向
[0047]Z1法线方向
具体实施方式
[0048]以下，使用附图来说明本专利技术的实施方式。此外，在所有附图中，对同样的构成要素标注同样的附图标记，并适当省略说明。
[0049]本说明书中，关于“第1”、“第2”、“第3”等序数词，只要没有特别说明，则仅是为了区别具有同样名称的构成而标注的，并非意味着顺序和重要度等的构成的特定特征。
[0050](实施方式1)
[0051]图1是实施方式1的检查装置10的俯视图。图2是图1的A－A
′
剖视图。图3是详细表示实施方式1的检查装置10的立体剖视图。
[0052]图1中，关于表示铅垂方向Z的标黑点白圈，从纸面的里侧朝向近前的方向是铅垂方向Z的上方向，且从纸面的近前朝向里侧的的方向是铅垂方向Z的下方向。在图2以及图3中，由表示铅垂方向Z的箭头所示的方向是铅垂方向Z的上方向。另外，由表示铅垂方向Z的箭头所示的方向的相反方向是铅垂方向Z的下方向。
[0053]如图1以及图2所示，检查装置10具有多个第1弹性体100以及框架150。如图3所示，检查装置10还具有多个第1柱塞110、多个第2柱塞120、第1销板130以及第2销板140。各第1柱塞110具有第1顶端接触件112、第1柱状部114以及第1承托部116。各第2柱塞120具有第2
顶端接触件122、第2柱状部124以及第2承托部126。第1弹性体100中的后述的孔102的周围等的第1弹性体100的至少一部分、后述的导电膜104、各第1柱塞110和各第2柱塞120作为探针而发挥作用。通过孔102的周围等的第1弹性体100的至少一部分而对各第1柱塞110和各第2柱塞120在铅垂方向Z上施力。此外，在图1以及图2中，没有图示图3所示的孔102、导电膜104、第1柱塞110、第2柱塞120、第1销板130以及第2销板140。
[0054]首先，使用图1以及图2来说明多个第1弹性体100以及框架150。
[0055]框架150例如由金属构成。框架150划分出以格子状配置的多个开口152。在多个开口152的各自中分别设有多个第1弹性体100。由此，各第1弹性体100由开口152的内缘支承。第1柱塞110位于第1弹性体的铅垂方向Z的下方向，能够被朝向铅垂方向Z的下方向施力。该情况下，与各第1弹性体100没有由开口152的内缘支承的情况相比较，例如在检查装置10进行检查时，即使在开口152的深度方向、即铅垂方向Z上对第1柱塞110施加力，也能够抑制各第1弹性体100在平面方向、即与铅垂方向Z垂直的方向上的扩展。但检查装置10也可以不具有框架150。
[0056]各第1弹性体100具有片形状。在一例中，第1弹性体100由具有弹性的高分子材料，例如硅、聚酰亚胺等树脂、丁苯橡胶(SBR)等橡胶等构成。
[0057]如图2所示，第1弹性体100具有：埋入至框架150的开口152内的部分(位于开口152内的部分)；从框架150的开口152的上侧开放端露出的部分；和从框架150的开口152的下侧开口端露出的部分。第1弹性体100中的从开口152的上侧开口端露出的部分的图内的左右方向上的宽度大于开口152的上侧开口端的图内的左右方向上的宽度。因此，能够抑制第1弹性体100中的从开口152的上侧开口端露出的部分经由开口152向框架150的下方脱落。第1弹性体100中的从开口152的下侧开口端露出的部分的图内的左右方向上的宽度大于开口152的下侧开口端的图内的左右方向上的宽度。因此，能够抑制第1弹性体100中的从开口152的下侧开口端露出的部分经由开口152向框架150的上方脱离。此外，第1弹性体100也可以不具有从框架150的开口152的上侧开放端露出的部分、和从框架150的开口152的下侧开口端露出的部分。或者，第1弹性体100可以仅具有从框架150的开口152的上侧开放端露出的部分、和从框架150的开口152的下侧开口端露出的部分的一个部分。另外，第1弹性体100中的从开口152的开口端露出的部分的图内的左右方向上的宽度也可以为开口152的开口端的图内的左右方向上的宽度本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检查装置，其特征在于，具有：多个柱塞；和连接部，其使所述多个柱塞中的至少一部分柱塞彼此电连接。2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，还具有：销板，其具有供所述多个柱塞插入的多个贯穿孔；导电图案，其设在所述销板，将所述至少一部分柱塞彼此电连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：星野智久，
申请(专利权)人：株式会社友华，
类型：发明
国别省市：