一种用于晶圆生产的固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于晶圆生产的固定装置，包括平移装置，所述平移装置的右侧固定连接有驱动装置，所述平移装置的左右两侧内壁均固定连接有活动轴承，所述活动轴承的内部固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外部螺纹连接有螺纹块，所述螺纹块的顶部固定连接有固定齿条，所述固定齿条的外部活动连接有移动装置，所述移动装置的右侧固定连接有伺服电机，所述移动装置的左右两侧内壁均固定连接有安装轴承。该用于晶圆生产的固定装置，驱动装置带动螺纹块左右移动，起到带动整体机构移动，完成调节相对距离的任务，伺服电机带动移动装置在固定齿条上移动，起到调整装夹高度的作用，放置平台对晶圆进行有效固定，保证工作能够正常进行。进行。进行。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆生产的固定装置


[0001]本技术涉及固定装置


技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨、抛光、切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
[0003]在科技不断进步的今天，晶圆生产至关重要，在晶圆生产过程中夹持装置对整体加工起到决定性的作用，但现有晶圆生产的固定装置存在着夹持不够稳定，和移动不够方便，导致晶圆生产的固定装置不方便使用，降低了晶圆生产的固定装置的使用效率和使用效果，故而提出一种用于晶圆生产的固定装置来解决上述所提出的问题。

技术实现思路

[0004]本技术针对现有技术中存在的技术问题，提供一种用于晶圆生产的固定装置，解决了夹持不够稳定，和移动不够方便，导致晶圆生产的固定装置不方便使用问题。
[0005]本技术解决上述技术问题的技术方案如下：一种用于晶圆生产的固定装置，包括平移装置，所述平移装置的右侧固定连接有驱动装置，所述平移装置的左右两侧内壁均固定连接有活动轴承，所述活动轴承的内部固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外部螺纹连接有螺纹块，所述螺纹块的顶部固定连接有固定齿条，所述固定齿条的外部活动连接有移动装置，所述移动装置的右侧固定连接有伺服电机，所述移动装置的左右两侧内壁均固定连接有安装轴承，所述安装轴承的内部固定连接有连接杆，所述连接杆的外部固定连接有驱动齿轮，所述移动装置的左侧固定连接有放置平台。
[0006]在上述技术方案的基础上，本技术还可以做如下改进。
[0007]进一步，所述平移装置的外部固定连接有操作平台，所述放置平台的顶部固定连接有夹紧装置。
[0008]进一步，所述夹紧装置的底部固定连接有环形弹簧，所述环形弹簧的内部活动连接有连接拉杆。
[0009]进一步，所述连接拉杆的顶部固定连接有拉动手柄，所述连接拉杆的底部固定连接有夹持头。
[0010]进一步，所述操作平台的正面铰接有活动门，所述放置平台的顶部固定连接有保护海绵。
[0011]进一步，所述螺纹块的内部开设有与螺纹杆外部螺纹相适配的螺纹孔，所述螺纹块通过螺纹孔与螺纹杆螺纹连接。
[0012]进一步，所述驱动齿轮与固定齿条啮合，所述夹持头的底部固定连接有保护片。
[0013]与现有技术相比，本申请的技术方案具有以下有益技术效果：
[0014]该用于晶圆生产的固定装置，驱动装置带动螺纹块左右移动，起到带动整体机构
移动，完成调节相对距离的任务，伺服电机带动移动装置在固定齿条上移动，起到调整装夹高度的作用，放置平台对晶圆进行有效固定，保证工作能够正常进行，整体结构简单，使用方便。
附图说明
[0015]图1本技术结构剖视图；
[0016]图2本技术结构正视图；
[0017]图3本技术结构图1A处局部放大图。
[0018]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0019]1操作平台、2平移装置、201驱动装置、202活动轴承、203螺纹杆、204螺纹块、3固定齿条、301移动装置、302伺服电机、303安装轴承、304连接杆、305驱动齿轮、4放置平台、5夹紧装置、501环形弹簧、502连接拉杆、503拉动手柄、504夹持头、6活动门。
具体实施方式
[0020]以下结合附图对本技术的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本技术，并非用于限定本技术的范围。
[0021]请参阅图1
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3，本实施例中的一种用于晶圆生产的固定装置，包括平移装置2，平移装置2的外部固定连接有操作平台1，操作平台1有工作平台和支撑座组成，支撑座的数量为两组，每组支撑座的数量为两个，且支撑座底部固定连接有减震垫，平移装置2的右侧固定安装有驱动装置201，平移装置2的左右两侧内壁均固定安装有活动轴承202，活动轴承202的内部固定连接有与驱动装置201的输出轴固定连接的螺纹杆203，平移装置2的右侧开设有安装孔，螺纹杆203通过安装孔贯穿并延伸至平移装置2的右侧并与驱动装置201的输出轴固定连接，螺纹杆203的外部螺纹连接有螺纹块204，平移装置2的顶部开设有滑动孔，螺纹块204通过滑动孔贯穿并延伸至平移装置2的顶部，平移装置2的内底壁开设有滑动槽，螺纹块204的底部固定连接有滑动块，且滑动块与滑动槽滑动连接，螺纹块204的内部开设有与螺纹杆203外部螺纹相适配的螺纹孔，螺纹块204通过螺纹孔与螺纹杆203螺纹连接，螺纹块204的顶部固定连接有固定齿条3，固定齿条3的外部活动连接有移动装置301，移动装置301的右侧固定安装有伺服电机302，移动装置301的左右两侧内壁均固定安装有安装轴承303，安装轴承303的内部固定连接有于伺服电机302的输出轴固定连接的连接杆304，移动装置301的右侧开设有连接孔，连接杆304通过连接孔贯穿并延伸至移动装置301的右侧并与伺服电机302的输出轴固定连接，连接杆304的外部固定安装有驱动齿轮305，移动装置301的左侧固定连接有放置平台4，放置平台4的顶部固定连接有数量为四个的夹紧装置5，夹紧装置5的底部均固定连接有环形弹簧501，环形弹簧501的内部活动连接有连接拉杆502，连接拉杆502的顶部固定连接有拉动手柄503，连接拉杆502的底部固定连接有夹持头504，夹持头504的底部固定连接有保护片，保护片为橡胶海绵垫，驱动齿轮305与固定齿条3啮合，操作平台1的正面铰接有活动门6，放置平台4的顶部固定连接有保护海绵。
[0022]上述实施例的工作原理为：
[0023]1)、操作平台1对整体结构进行有效支撑，保证装置能够正常使用，并对平移装置2进行固定安装，驱动装置201起到对装置的移动提供充足的动力，并保证整体结构正常运
行，起到带动螺纹杆203在活动轴承202的内部转动，从而带动螺纹块204左右移动，完成调节相对距离的作用；
[0024]2)、固定齿条3起到为升降装置提供必要的条件，伺服电机302起到为移动装置301提供动力输出，从而带动连接杆304在安装轴承303的内部转动，并带动驱动齿轮305在固定齿条3上移动啮合，为调节高度提供了必要保证条件，使整体能够正常运行；
[0025]3)、放置平台4起到方便对晶圆固定放置，使后续工作能够正常进行，当需要放置晶圆时，拉伸拉动手柄503带动连接拉杆502在夹紧装置5的底部移动，起到抬起夹持头504的目的，晶圆放置后，缓慢松开拉动手柄503，由于环形弹簧501回弹，对晶圆进行有效夹紧，使整体工作正常运行，装置整体简单，操作方便，能够解决现有晶圆生产的固定装置存在着夹持不够稳定，和移动不够方便，导致晶圆生产的固定装置不方便使用，降低了晶圆生产的固定装置的使用效率和使用效果的问题。
[0026]以上所述仅为本技术的较佳实施例，并不用以限制本技术，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆生产的固定装置，其特征在于，包括平移装置(2)，所述平移装置(2)的右侧固定连接有驱动装置(201)，所述平移装置(2)的左右两侧内壁均固定连接有活动轴承(202)，所述活动轴承(202)的内部固定连接有螺纹杆(203)，所述螺纹杆(203)的外部螺纹连接有螺纹块(204)，所述螺纹块(204)的顶部固定连接有固定齿条(3)，所述固定齿条(3)的外部活动连接有移动装置(301)，所述移动装置(301)的右侧固定连接有伺服电机(302)，所述移动装置(301)的左右两侧内壁均固定连接有安装轴承(303)，所述安装轴承(303)的内部固定连接有连接杆(304)，所述连接杆(304)的外部固定连接有驱动齿轮(305)，所述移动装置(301)的左侧固定连接有放置平台(4)。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆生产的固定装置，其特征在于，所述平移装置(2)的外部固定连接有操作平台(1)，所述放置平台(4)的顶部固定连接有夹紧装置(5)。3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：万东操，王红霞，王占彪，何迎，杨金广，赵有能，
申请(专利权)人：万东操，
类型：新型
国别省市：