WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置制造方法及图纸

WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置，属于X射线聚焦镜内壁非接触检测技术领域。该检测装置用于保证大批量镜片内壁的检测精度，确保大尺寸超薄镜片低变形的同时提高检测效率。所述主动吊装装置通过支架支撑，用于吊起镜筒，所述测量装置用于侧面镜筒的圆度误差和轮廓误差，测量装置安装在高精度气浮主轴上，由高精度气浮主轴带动其旋转测量，所述高精度气浮主轴安装在XY平移台上，所述XY平移台安装在支架上。本发明专利技术针对现有的通用测量仪器无法对WolterI型X射线聚焦镜内壁的面形精度进行直接检测，可实现镜片内壁轴向和圆周方向的轮廓测量，保证了检测过程中镜片的低变形、高精度，提高了检测效率，达到了降本增效的效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置


[0001]本专利技术属于X射线聚焦镜内壁非接触检测
，具体涉及一种WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置。

技术介绍

[0002]为研究观测黑洞、中子星等天体的高能辐射新现象，以美国为首的多个国家和地区的天文台和空间中心已向太空发射十余颗X射线天文卫星。1952年德国物理学家Hans Wolter设计满足阿贝正弦条件的掠入射的三种Wolter型X射线聚焦望远镜，称为Wolter I II III型聚焦望远镜。Wolter
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型X射线望远镜由抛物面内反射镜和双曲面内反射镜构成，其优点是可多层嵌套，有利于弱源观测，也是目前X射线望远镜最常见的一种类型。中国预计2026年发射的下一代旗舰级X射线天文卫星—增强型X射线时变与偏振探测(eXTP)空间天文台。eXTP计划配置4种有效载荷，其中能谱测量X射线聚焦望远镜阵列(Spectroscopic Focusing Array,SFA)和偏振测量X射线聚焦望远镜阵列(Polarimetry Focusing Array,P本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置，其特征在于：包括支架(1)、测量装置(3)、高精度气浮主轴(4)、XY平移台(5)及主动吊装装置(6)；所述主动吊装装置(6)通过支架(1)支撑，用于吊起镜筒(2)，所述测量装置(3)用于侧面镜筒(2)的圆度误差和轮廓误差，测量装置(3)安装在高精度气浮主轴(4)上，由高精度气浮主轴(4)带动其旋转测量，所述高精度气浮主轴(4)安装在XY平移台(5)上，所述XY平移台(5)安装在支架(1)上。2.根据权利要求1所述的WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置，其特征在于：所述测量装置(3)包括圆度误差测量机构(31)、轮廓误差测量机构(32)、升降导轨(33)及精密调平调心工作台(34)；所述圆度误差测量机构(31)和轮廓误差测量机构(32)均设置在镜筒(2)内，且均安装在升降导轨(33)的滑块上，所述升降导轨(33)安装在精密调平调心工作台(34)上，所述精密调平调心工作台(34)安装在高精度气浮主轴(4)上。3.根据权利要求2所述的WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置，其特征在于：所述圆度误差测量机构(31)包括球形反射镜(311)及激光自准直仪(312)；所述球形反射镜(311)安装在升降导轨(33)的滑块上，为使球形反射镜(311)位于垂直Z轴的回转中心，在滑块上开设安装球形反射镜(311)的竖向通槽，所述激光自准直仪(312)的光束从下方入射到球形反射镜(311)上，然后反射的光线回到激光自准直仪(312)。4.根据权利要求2所述的WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置，其特征在于：所述轮廓误差测量机构(32)包括长距离干涉测头(321)、平面反射镜(322)、聚焦型短距离干涉测头(323)及X位移台(324)；所述长距离干涉测头(321)设置在垂直Z轴的回转中心附近，并安装在升降导轨(33)的滑块上，长距离干涉测头(321)发出的光束对准平面反射镜(322)用于测量两者之间的距离，所述平面反射镜(322)上安装聚焦型短距离干涉测头(323)用于测量与镜筒(2)表面的距离；平面反射镜(322)通过X位移台(324)控制其径向位置。5.根据权利要求4所述的WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：王波，廖秋岩，李铎，丁飞，薛家岱，乔政，吴言功，杨彦佶，陈勇，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：