【技术实现步骤摘要】
本专利技术一般地涉及制造执行系统，更具体地说，涉及用于在制造环境 中使用处理顺序变量来实现产品随机化和分析的方法、系统和计算机程序产品。
技术介绍
在制造环境中，产品在通过工艺线时被分组成批次。例如，在半导体制造工厂中，载体将300毫米晶片传输到工艺线中的每个工艺设备。每个 批次可以被容纳在前开式晶片盒(front-opening unified pod， FOUP)中， 并且晶片在FOUP内具有固定的槽位。在处理过程中，出现导致位于特定 槽位的晶片成品率变化的情况是很常见的。 一个实例涉及两腔(chamber) 式工具。如果笫一腔出现故障，则奇数槽中的晶片的成品率往往低于偶数 槽中的晶片的成品率。如果不使用随机化工具，则从工艺线开始到结束的 槽位保持不变。因此，槽位与工具腔的自动相关使得很难(如果不是不可 能)区分工艺线中的许多多腔式工具以1更检测出现故障的腔。一种当前的随机化方法是使用映射器来物理地随机化或搅乱工艺线中 给定点处的FOUP中的晶片。通过此方式，可以将槽信号的原因确定为在 工艺线中的两个随机化步骤(取决于随机化的频率)之间。但是，此方法 并非没...
【技术保护点】
一种用于在制造环境中实现产品随机化和分析的方法，所述方法包括： 使用在多个批次中选择每个产品的随机化技术，在工艺设备处处理所述批次的产品，所述处理根据工艺配方来执行； 为所述工艺配方中的每个操作生成操作标识记录，所述生成包括针对每个操作将与随机选择的产品关联的槽标识符映射到处理变量标识符、处理工具以及所述操作； 使用槽标识符为所述多个批次中的每个批次的产品载体定义槽分组； 通过分析每个所述槽分组的历史成品率来确定产品成品率模式；以及 通过从与所述多个批次对应的所述操作标识记录分析产品成品率，来确定所述工艺配方中每个操作的一个或多个产品成品率模式的出现频率。
【技术特征摘要】
US 2007-1-30 11/668,7311.一种用于在制造环境中实现产品随机化和分析的方法，所述方法包括使用在多个批次中选择每个产品的随机化技术，在工艺设备处处理所述批次的产品，所述处理根据工艺配方来执行；为所述工艺配方中的每个操作生成操作标识记录，所述生成包括针对每个操作将与随机选择的产品关联的槽标识符映射到处理变量标识符、处理工具以及所述操作；使用槽标识符为所述多个批次中的每个批次的产品载体定义槽分组；通过分析每个所述槽分组的历史成品率来确定产品成品率模式；以及通过从与所述多个批次对应的所述操作标识记录分析产品成品率，来确定所述工艺配方中每个操作的一个或多个产品成品率模式的出现频率。2. 根据权利要求l的方法，其中使用槽标识符的连续有序列表来定义 所述槽分组，其中所定义的槽分组包括以下项中的至少一项对应于所述产品载体中的第 一个物理槽的槽标识符；对应于所述产品载体中的最后一个物理槽的槽标识符；前分组和后分组，其中所述前分组表示与位于所述产品载体的上半部分的槽对应的槽标识符，而所述后分组表示与位于所述产品载体的下半部分的槽对应的槽标识符；奇数分组和偶数分组，其中所述奇数分组表示所述产品载体的奇数编号的槽标识符，而所述偶数分组表示所述产品载体的偶数编号的槽标识符; 与所述连续有序列表中的每个第三个槽标识符对应的每个第三个槽；以及与所述连续有序列表中的每个第四个槽标识符对应的每个第四个槽。3. 根据权利要求l的方法，还包括图形地显示所述产品成品率模式，所述产品成品率模式反映了与操作、 工具、产品载体以及产品中的至少一项相关的潜在问题；其中确定模式的出现频率包括将针对每个操作的产品成品率分析的结 果与每个所述成品率模式相比较。4. 根据权利要求l的方法，其中所述随机化技术是逻辑的。5. 根据权利要求l的方法，其中所述随机化技术是物理的；其中进一 步地，每个随机选择的产品的处理顺序变量等于所述槽标识符。6. 根据权利要求l的方法，其中所述随机化技术是逻辑和物理的组合； 其中当4吏用逻辑的随机化技术时，所述处理顺序变量指定了产品的处理顺 序；以及当使用物理的随机化技术时，所述产品的处理顺序变量等于所述槽标 识符。7. 根据权利要求l的方法，其中所述处理顺序变量指定了产品的处理...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋云升，CW隆，BJ劳林斯，J赖斯，SM西安弗拉尼，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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