一种基于平行平板传输线微波大气压等离子源制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于平行平板传输线微波大气压等离子源，涉及等离子源反应装置技术领域，包括发生装置，上FR4板和下FR4板之间设有垫片，馈电处与微波源连接，再将气体由上FR4板和下FR4板的两侧处注入，打开微波源开关，微波能量在聚集在发生装置缝隙处，此处电场强度将达到最高，调节微波源的输出功率，当其到达某一值时，缝隙处的电场强度击穿附近的气体，产生等离子体，微波等离子体更能增加气体分子的激发、电离、和离解过程，激发的亚态原子多，其对气体的电离和离解程度比其它类型的等离子体高出一个数量级，产出的等离子体密度大，电离度高，能量大，活性强，更易于发生或引发相关物理、化学反应。化学反应。化学反应。

【技术实现步骤摘要】
一种基于平行平板传输线微波大气压等离子源


[0001]本技术涉及等离子源反应装置
，具体为一种基于平行平板传输线微波大气压等离子源。

技术介绍

[0002]低温等离子体源在灭菌、材料加工制造、伤口愈合、新光源等领域有广泛的应用。微波诱导大气压等离子体源(M
‑
APP)具有能量效率高、电离度高、粒子活性高、寿命长、易于控制等优点。因此微波等离子体源具有广阔的应用前景。
[0003]介质阻挡放电(DBD)因其避免了放电极的直接接触，使电子不能达到电极，保护电子被湮灭，从而提高等离子体放电均匀性，而被广泛应用在等离子装置设计中。目前大部分DBD装置基于直流、低频和射频激发，而直流、低频和射频激发的等离子体存在放电不均匀，电离程度低，不易控制等缺点。
[0004]针对上述问题，本技术提供了一种基于平行平板传输线微波大气压等离子源。

技术实现思路

[0005]本本技术的目的在于提供一种基于平行平板传输线微波大气压等离子源，具备了体积小，质量轻，工作频带宽，放电间隙可调，激发等离子体温度低，制造工艺简单的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于平行平板传输线微波大气压等离子源，包括发生装置(1)，其特征在于：所述发生装置(1)包括上FR4板(2)和设置在上FR4板(2)底端的下FR4板(3)，上FR4板(2)和下FR4板(3)之间设有垫片(4)，且上FR4板(2)和下FR4板(3)的前端设有放电电极(5)。2.根据权利要求1所述的一种基于平行平板传输线微波大气压等离子源，其特征在于：所述上FR4板(2)和下FR4板(3)的两侧均呈翼状结构的构件。3.根据权利要求1所述的一种基于平行平板传输线微波大气压等离子源，其特征在于：所述垫片(4)的长宽分别为20mm*8mm。4.根据权利要求1所述的一种基于平行平板传输线微波大气压等离子源，其特征在于：所述下FR4板(3)包括设置在下FR4板(3)顶端中部的铜带(31)和开设在铜带(31)两侧的安装槽(32)，安装槽(32)和调节器(33)均设有四组，垫片(4)滑动连接在安装槽(32)的内部，且调节...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴丽，朱铧丞，杨阳，黄卡玛，
申请(专利权)人：四川大学，
类型：新型
国别省市：