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本实用新型公开了一种基于平行平板传输线微波大气压等离子源，涉及等离子源反应装置技术领域，包括发生装置，上FR4板和下FR4板之间设有垫片，馈电处与微波源连接，再将气体由上FR4板和下FR4板的两侧处注入，打开微波源开关，微波能量在聚集在发生...
该专利属于四川大学所有，仅供学习研究参考，未经过四川大学授权不得商用。

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