一种集成电路检测设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种集成电路检测设备，包括机体，机体顶面设置有检测台，检测台上方设置有吸附组件，吸附组件通过位移装置与机体连接，吸附组件包括安装盘，安装盘上设置有多个第一吸盘单元和多个第二吸盘单元，各第一吸盘单元均通过第一软管与第一真空泵连接，各第二吸盘单元均通过第二软管与第二真空泵连接，安装盘上还设置有检测装置。本实用新型专利技术的多个第一吸盘单元和多个第二吸盘单元同时对集成电路进行吸附，并且第一吸盘单元和第二吸盘单元通过不同真空泵抽真空，实现了各吸盘单元的冗余设置，降低了集成电路发生掉落或者没有吸起情况的几率。起情况的几率。起情况的几率。

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路检测设备


[0001]本技术属于集成电路制造
，尤其涉及一种集成电路检测设备。

技术介绍

[0002]集成电路成品通常需要进行测试，之后按照测试结果使用分选机对集成电路进行分选，分选机转移集成电路时通过真空吸头将集成电路吸起，在转移过程中存在着集成电路掉落或者没有吸起来的情况。以上情况可通过测量真空吸头内部真空度进行检测，但在检测过程中因检测台材质影响很容易发生误报警的情况，导致分选机频繁停机。同时当集成电路发生掉落或者没有吸起情况时，集成电路容易在检测台上发生堆叠，而集成电路叠料难以检测，导致漏测的成品未测试的产品混放到一起无法分辨，最终只能进行重新测试，对于有锡球和引脚的产品还会造成外观受损，导致芯片报废。

技术实现思路

[0003]本技术目的在于提供一种集成电路检测设备,以解决对集成电路测试过程中，无法及时检测集成电路从分选机上掉落或者没有吸起的情况，致使集成电路在检测台上堆叠，造成集成电路发生漏测和损坏的技术问题。
[0004]为实现上述目的，本技术的集成电路检测设备的具体技术方案如下：
[0005]一种集成电路检测设备，包括机体，所述机体顶面设置有检测台，所述检测台上方设置有吸附组件，所述吸附组件通过位移装置与所述机体连接，所述吸附组件包括安装盘，所述安装盘上设置有多个第一吸盘单元和多个第二吸盘单元，各所述第一吸盘单元均通过第一软管与所述第一真空泵连接，各所述第二吸盘单元均通过第二软管与所述第二真空泵连接，所述安装盘上还设置有检测装置。
[0006]优选的，各所述第一吸盘单元和各所述第二吸盘单元环绕所述安装盘的轴心线设置。
[0007]优选的，所述第一吸盘单元的数量与所述第二吸盘单元的数量相等，所述第一吸盘单元与所述第二吸盘单元交错设置。
[0008]优选的，所述第一吸盘单元和所述第二吸盘单元均包括真空管，所述真空管的轴心线与所述安装盘的轴心线平行，所述真空管的顶端设置有快速接头，所述第一吸盘单元的所述真空管与所述第一软管连接，所述第二吸盘单元的所述真空管与所述第二软管连接，所述真空管的底端设置有吸附件。
[0009]优选的，所述吸附件包括连接套，所述连接套上设置有吸盘，所述吸盘的内侧与所述真空管连通。
[0010]优选的，所述吸盘的内侧设置有多个密封环，各所述密封环的圆心均与所述吸盘的圆心重合。
[0011]优选的，所述真空管贯穿所述安装盘，所述真空管的外周面上设有螺纹，所述真空管上螺纹连接有两个螺母，两个所述螺母分别与所述安装盘的两侧抵靠。
[0012]优选的，所述安装盘上开设有滑槽，所述真空管穿过所述滑槽。
[0013]优选的，所述滑槽沿所述安装盘的径向分布。
[0014]优选的，所述检测装置位于所述安装盘的圆心处，所述检测装置为测距传感器或接近开关。
[0015]本技术的集成电路检测设备具有以下优点：
[0016]1、多个第一吸盘单元和多个第二吸盘单元同时对集成电路进行吸附，并且第一吸盘单元和第二吸盘单元通过不同真空泵抽真空，实现了各吸盘单元的冗余设置，降低了集成电路发生掉落或者没有吸起情况的几率；
[0017]2、吸附单元在安装盘上的位置可根据集成电路尺寸进行调节，使检测设备可以吸附多种集成电路，提高检测设备的实用性；
[0018]3、吸盘上设置多个密封环，使吸盘吸附时与集成电路之间可形成多个独立的真空腔，提高了对集成电路吸附的牢固度。
附图说明
[0019]图1为本技术的集成电路检测设备的结构示意图；
[0020]图2为本技术的吸附组件的主视图；
[0021]图3为本技术的吸附组件的俯视图；
[0022]图4为本技术的吸附组件的剖视图；
[0023]图5为本技术的真空管与吸附件的连接结构示意图；
[0024]图中标记说明：1、机体；2、检测台；3、位移装置；4、螺母；5、安装盘；6、第一真空泵；7、第一软管；8、第二软管；9、检测装置；10、真空管；11、第二真空泵；12、吸盘；13、滑槽；14、快速接头；15、连接套；16、密封环。
具体实施方式
[0025]为了更好地了解本技术的目的、结构及功能，下面结合附图，对本技术一种集成电路检测设备做进一步详细的描述。
[0026]如图1
‑
2所示，一种集成电路检测设备，包括机体1，机体1顶面设置有检测台2，检测台2上方设置有吸附组件，吸附组件通过位移装置3与机体1连接，吸附组件包括安装盘5，安装盘5上设置有三个第一吸盘单元和三个第二吸盘单元，各第一吸盘单元均通过第一软管7与第一真空泵6连接，各第二吸盘单元均通过第二软管8与第二真空泵11连接，各第一吸盘单元和各第二吸盘单元环绕安装盘5的轴心线均匀设置，且第一吸盘单元与第二吸盘单元交错设置，使第一吸盘单元和第二吸盘单元均均匀分布在安装盘5上，使第一吸盘单元和第二吸盘单元吸附集成电路时，使集成电路受力均匀，提高吸附的牢固度，安装盘5的圆心处还设置有测距传感器或接近开关。
[0027]该集成电路检测设备在使用时，三个第一吸盘单元和三个第二吸盘单元中至少一个第一吸盘单元和一个第二吸盘单元吸附在集成电路上，通过多个吸盘单元同时吸附集成电路，使其中一个或多个没有吸附成功或者脱落时，其余吸盘单元可实现对集成电路的吸附固定，降低了集成电路发生掉落或者没有被吸起的几率，同时第一吸盘单元和第二吸盘单元分别通过第一真空泵6和第二真空泵11抽真空，实现了吸盘单元之间的冗余设置，进一
步降低了集成电路发生掉落或者没有被吸起的几率，当所有吸盘单元均失效，集成电路发生掉落或者没有被成功吸起时，测距传感器或者接近开关通过检测集成电路与安装盘5之间的距离，可及时检测到集成电路掉落或者没有被吸起的情况，通过直接检测集成电路的位置信息，可大大降低检测错误发生误报警的几率。
[0028]如图5所示，第一吸盘单元和第二吸盘单元均包括真空管10，真空管10的轴心线与安装盘5的轴心线平行，真空管10的顶端设置有快速接头14，第一吸盘单元的真空管10与第一软管7连接，第二吸盘单元的真空管10与第二软管8连接，真空管10的底端设置有连接套15，连接套15上设置有吸盘12，吸盘12的内侧与真空管10连通，吸盘12的内侧设置有两个密封环16，各密封环16的圆心均与吸盘12的圆心重合。
[0029]快速接头14用于连接真空管10与软管，真空泵运行将真空管10内的空气抽出，使真空管10内部产生负压形成吸力，连接套15用于将吸盘12安装在真空管10上，吸盘12与集成电路之间贴合形成密封，通过真空管10产生的吸力将集成电路吸住，同时吸盘12与集成电路贴合的面上设置有多个同心的密封环16，使吸盘12与集成电路之间形成多个独立的真空腔室，当其中一个真空腔室发生漏气时，其余腔室也可保持真空度，进而保持吸力，防止吸盘12与集成电路之间发生脱离。
[0030]如图3...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成电路检测设备，包括机体(1)，所述机体(1)顶面设置有检测台(2)，所述检测台(2)上方设置有吸附组件，所述吸附组件通过位移装置(3)与所述机体(1)连接，其特征在于：所述吸附组件包括安装盘(5)，所述安装盘(5)上设置有多个第一吸盘单元和多个第二吸盘单元，各所述第一吸盘单元均通过第一软管(7)与第一真空泵(6)连接，各所述第二吸盘单元均通过第二软管(8)与第二真空泵(11)连接，所述安装盘(5)上还设置有检测装置(9)。2.根据权利要求1所述的集成电路检测设备，其特征在于，各所述第一吸盘单元和各所述第二吸盘单元环绕所述安装盘(5)的轴心线设置。3.根据权利要求2所述的集成电路检测设备，其特征在于，所述第一吸盘单元的数量与所述第二吸盘单元的数量相等，所述第一吸盘单元与所述第二吸盘单元交错设置。4.根据权利要求3所述的集成电路检测设备，其特征在于，所述第一吸盘单元和所述第二吸盘单元均包括真空管(10)，所述真空管(10)的轴心线与所述安装盘(5)的轴心线平行，所述真空管(10)的顶端设置有快速接头(14)，所述第一吸盘单元的所述真空管(10)与所述第一软管(7)连接，所述第二吸盘单元的所述真空管(...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵坤鹏，杨征，
申请(专利权)人：无锡伟测半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：